专利名称：子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种子孔径拼接干涉测量大口径光学表面及深度非球面的拼接
机构偏置误差修正的装置。
技术背景 子孔径拼接干涉测量是大口径及深度非球面测量的重要技术手段之一，也是目前 世界各国广泛认同的技术方式。 采用子孔径干涉拼接法测量大口径及深度非球面时，影响测量精度的主要因素 为非球面拼接测量中调整误差影响分析存在的理论问题；拼接定位机构的空间定位偏置 误差对拼接干涉测量影响的表现形式的量化分析；因此，采用合适的数学手段进行系统误 差的修正是最终实现高精度测量的主要因素。
目前，解决子孔径拼接干涉测量系统误差修正方法主要有以下几种 第一种是大多数研究人员与机构所采用的三方向调整误差校准技术。三方向调整
误差主要指被测件的安置误差，分别指两方向的倾斜误差和沿轴向的离焦误差。该技术的
基本原理是通过校准三方向调整误差而使子孔径间重叠区相位不匹配度最小化，该方法适
用于平面和加工精度较高的球面，但不适于非球面。 第二种是美国QED公司提出的互锁补偿器(interlocked compensator)的方法， 它在原有误差修正方法的基础上进一步修正了参考波前误差，使其开发的SSI拼接测量系 统能够测量口径200mm以内的平面、球面和适度偏离量的非球面。误差拟合框架定义了两 组拟合方程，被称为自由补偿器和互锁补偿器。其中，自由补偿器是一组相位调整方程，对 每个子孔径其系数不同，而互锁补偿器对每个子孔径则必须具有相同的系数，小的随机定 位系统误差也可以描述成互锁补偿器。该仪器可以测量数值孔径等于1的半球面。 从现有的大口径非球面拼接检测手段看，部分解决了非球面测量问题，但由于没 有对测量的系统误差具体表现形式进行量化分析，没有真正解决系统误差修正问题，这使 得深度大口径非球面精确测量仍然处在停滞不前的状况。
发明内容 本实用新型的目的是针对子孔径拼接干涉测量中，现有技术中的不足之处，提供 一种系统误差修正装置，以使子孔径重叠区两次测量值精确拟合，进而实现采用子孔径拼 接干涉测量法精确测量非球面。 本实用新型提供了一种拼接机构偏置误差修正装置，该装置通过分析拼接测量机
构的偏置误差在测量中的作用表面形式，利用坐标变换及求解多元线性回归方程的等数学
手段，将拼接机构的偏置误差进行修正，以实现子孔径间重叠区相位精确拟合。 针对现有谐波分析中同步及噪声情况下谐波测量的不足，提供一种数模混合谐波
分析仪。 上述的目的通过以下的技术方案实现
3[0012] 子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，其组成包括花岗岩基座，所述 的花岗岩基座连接水平平台和垂直平台，所述的水平平台和垂直平台连接在空气装置上， 所述的水平平台内有一狭槽，所述的狭槽中连接了一个空气轴承杆，所述的空气轴承杆连 接发动机和编码器，所述的空气轴承杆连接空气轴承，所述的空气轴承连接干涉仪，所述的 干涉仪机架连接升降平台(Z平台)，所述的升降平台用三个扁平的空气轴承连接在垂直平 台上，所述的升降平台内有陶瓷管，所述的陶瓷管连接两个空气轴承，抑制平移和旋转相对 于水平平台的移动。 所述的子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，所述的横向平移平台由 三个空气轴承连接到硬壳上，抑制升降平台的平移和旋转相对横向平移平台的运动。 所述的子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，所述的升降平台与垂直 平台用两个轴承连接，使两个平台之间的相对运动最小化。 本实用新型的有益效果 1.本实用新型充分考虑了拼接机构的运动基准对拼接测量的影响，利用理论分析 的方法，得到了机构运动的运动自由度与偏置误差的函数关系。 2.本实用新型获得了偏置误差的作用表现形式，因此可以界定拼接测量机构的各 部分对拼接测量的影响程度，能定量分析拼接机构的系统误差。 3.本实用新型的测量评定基准采用学生氏t分布统计法对系统的拼接精度进行 评定，克服了常用比较法的不确定性，同时克服了现有统计分布法按正态分布确定置信系 数k，但k值与置信概率有固定关系，不能反映子样标准差的可靠性对置信概率的影响的问 题。 工作中，使用的测量装置包括干涉仪(菲索型干涉仪)、作为干涉仪附件的标准球 面或平面透镜、被测非球面、电控精密定位驱动机构及其计算机控制系统。标准平面透镜 或球面透镜放在干涉仪和被测非球面之间，通过计算机控制电控旋转平移定位拼接装置， 根据被测表面轮廓形状进行平移和旋转，目的让干涉仪出射波面法线与被测区域法线近似 重合，从而使干涉仪出射的参考球面波前的曲率中心与所测区域的顶点曲率中心重合，这 样入射到被测区域的光线就能够近似地沿原路返回。干涉仪在此光学表面区域进行干涉 测量，得到一个子孔径，然后根据被测表面轮廓，控制平移旋转定位拼接机构进行平移或旋 转，到达下一个待测区域，即第二个子孔径，得到第二个子孔径的测量值，两子孔径间有重 叠区，重叠区大小由面型决定，这样就得到待拼接的两子孔径。理论上，在重叠区域内两次 检测得到的波前相位值应该是一样的，也即两次检测相位数据位于同一个面，而实际检测 过程中，因为移动和旋转导致的倾斜、平移等误差，同一区域两次测量得到的相位值不同， 两个面并不重合。通过分析拼接机构偏置误差在子孔径干涉测量中的作用表现形式可知， 偏置误差使被测非球面各阶波前分量都发生了变化。应用坐标变换，使两孔径坐标统一起 来，再通过修正三阶系统像差，使两孔径重叠区相位精确拟合，从而完成两子孔径的拼接。

附图1是本实用新型内部结构示意图。 附图2是本实用新型干涉仪支架示意图。
具体实施方式
实施例1 : 子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，其组成包括花岗岩基座l，所 述的花岗岩基座1连接水平平台2和垂直平台3，所述的水平平台2和垂直平台3连接在空 气装置4上，所述的水平平台2内有一狭槽，所述的狭槽中连接了一个空气轴承杆5，所述 的空气轴承杆5连接发动机和编码器，所述的空气轴承杆5连接空气轴承6，所述的空气轴 承6连接干涉仪7，所述的干涉仪机架连接升降平台8 (Z平台)，所述的升降平台8用三个 扁平的空气轴承连接在垂直平台9上，所述的升降平台8内有陶瓷管IO，所述的陶瓷管10 连接两个空气轴承，抑制平移和旋转相对于水平平台的移动。 实施例2 : 实施例1所述的子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，其特征是所
述的横向平移平台12由三个空气轴承6连接到硬壳11上，抑制升降平台8的平移和旋转
相对横向平移平台的运动。
实施例3 : 实施例1所述的子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，所述的升降平
台与垂直平台用两个轴承连接，使两个平台之间的相对运动最小化。
实施例4 : 实施例3所述的子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，所述的升降平 台和垂直平台附加了发动机和重量补偿装置。
权利要求一种子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，其组成包括花岗岩基座，其特征是所述的花岗岩基座连接水平平台和垂直平台，所述的水平平台和垂直平台连接在空气装置上，所述的水平平台内有一狭槽，所述的狭槽中连接了一个空气轴承杆，所述的空气轴承杆连接发动机和编码器，所述的空气轴承杆连接空气轴承，所述的空气轴承连接干涉仪，所述的干涉仪机架连接升降平台，所述的升降平台用三个扁平的空气轴承连接在垂直平台上，所述的升降平台内有陶瓷管，所述的陶瓷管连接两个空气轴承，抑制平移和旋转相对于水平平台的移动。
2. 根据权利要求1所述的子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，其特征是所述的横向平移平台由三个空气轴承连接到硬壳上，抑制升降平台的平移和旋转相对横向平移平台的运动。
3. 根据权利要求1或2所述的子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，其特征是所述的升降平台与垂直平台用两个轴承连接，使两个平台之间的相对运动最小化。
专利摘要子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正的装置，子孔径拼接干涉测量是大口径及深度非球面测量的重要技术手段之一，本装置，其组成包括花岗岩基座(1)，所述的基座(1)连接水平平台(2)和垂直平台(3)，所述的两个平台连接在空气装置(4)上，所述的水平平台内有一狭槽，狭槽中连接了一个空气轴承杆(5)，所述的空气轴承杆连接发动机和编码器，所述的空气轴承杆连接空气轴承(6)，连接干涉仪(7)，所述的干涉仪机架连接升降平台(8)(Z平台)，所述的升降平台连接在垂直平台(9)上，所述的升降平台内有陶瓷管(10)，陶瓷管连接空气轴承，本实用新型用于非球面机构偏置误差修正与非球面的拼接测量。
文档编号G01B11/24GK201497488SQ200920100520
公开日2010年6月2日 申请日期2009年7月31日 优先权日2009年7月31日
发明者乔玉晶 申请人:哈尔滨理工大学