专利名称：一种使用cr电路测试集成电路内部电容的方法
技术领域：
本发明属集成电路测试技术领域，具体涉及一种使用CR电路测试集成电路内部电容的方法。
背景技术：
在集成电路测试中，电容的测试一直是一个难题。首先，电容本身都比较小，测试精度要求高，而且往往要求芯片工作在一定的频率下进行测试。比较常见的办法是利用RC电路两端电流和电压有相位差，通过Fourier变换(从频域转换到时域)的方法来求出该电容.这种方法需要通过复杂的变换和多次求平均数来确保其测试精度，所带来的缺陷就是测试时间较长，而且测试的重复性不好。

发明内容
本发明的目的在于提出一种测试时间短、测试重复性好的集成电路内部电容的测试方法。
本发明提出的集成电路内部电容的测试方法，是在测试输入输出端之间搭载一个由电阻R1和电容C0组成的CR电路，R0为测试用接口电阻，先测试未加待测电容Cx时的电压—时间曲线，再测试并联上待测电容Cx后的电压—时间曲线，见图2所示。
由Voh1＝α·(Voh-Vol)，这里α取0.632，得到To＝(R0+R1)·C0 (1)Tx＝(R0+R1)·(C0+Cx)(2)整理后得 Cx＝(Tx-T0)/(R0+R1) (3)其中Voh0为输出波形的最大值，Voh1为对应α为0.632时输出波形值，Vol为初始电压值(为零)，To、Tx分别为接入待测电容前后的电压—时间曲线上对应于Voh1的时间。
本发明方法测试电路简单，而测试精度完全符合测试要求。


图1为本发明的测试电路原理图。
图2为测试电容的电压—时间曲线图。其中，点划线为没有加待测电容时的电压—时间曲线，实线为加了待测电容后的电压—时间曲线。
图中标号R0为测试用接口电阻，R1为测试线路上的电阻，C0为寄生电容，Cx为待测电容。
具体实施例方式
实施例1，CR电路可以直接搭载在测试板上，可取电阻R0＝50欧姆，R1＝1000欧姆。在其输入端加一个(例如周期为1微秒，Vih＝0.4V，Vil＝0V的)方波信号，在测试系统上运行测试程序，通过公式C0＝T0/(R0+R1)，可以计算出寄生电容C0的值。
在CR电路中并联上待测试电容Cx，在测试系统上运行测试程序，测得Tx(例如Tx＝142nS)，通过Cx＝(Tx-T0)/(R0+R1)计算出待测电容Cx等于56pF。
CR电路还可以集成到测试系统内部的电路板上去(包括标准电容)，使之成为集成电路测试系统的一个测试选件。测试步骤同前所述。
CR电路还可以接到精度较高的，有I/O通道的示波器上，测试步骤同前所述。
权利要求
1.一种利用CR电路测试集成电路内部电容的方法，其特征在于在测试输入输出端之间搭载一个由电阻R1和电容C0组成的CR电路，先测试得未加待测电容Cx时的电压-时间曲线，再测试获得并联待测电容Cx后的电压-时间曲线，并由下式计算获得CxCx＝(Tx-T0)/(R0+R1)(3)这里To＝(R0+R1)·C0(1)
2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于CR电路直接搭载在测试板上。
3.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于CR电路集成在测试系统内部的电路板上，成为集成电路测试系统的一个测试选件。
全文摘要
本发明为一种利用CR电路测试集成电路内部电容的方法。具体是在测试输入输出端之间搭载一个由电阻R1和电容C0组成的CR电路，分别测试并联待测电容Cx前、后的电压—时间曲线，然后由式Cx＝(Tx－T0)/(R0+R1)计算得电容Cx值。本发明方法测试电路简单，测试精度符合测试要求。
文档编号G01R31/28GK1542457SQ20031010850
公开日2004年11月3日 申请日期2003年11月7日 优先权日2003年11月7日
发明者浜岛明, 刘旸 申请人:爱德万测试(苏州)有限公司上海分公司, 爱德万测试(苏州)有限公司上海分公