专利名称：一种三分量光电混合集成加速度地震检波器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种三分量光电混合集成加速度地震检波器，适用于地球物理勘探及加速度传感器技术领域。
背景技术：
目前，地震勘探技术多采用一维、二维勘探，这种技术的地震测线覆盖面不够以及隐蔽断层显示不出或错误成象，使得不能准确和精细地解释正确的断层组合并且采用此方法仅可提供简单的断层组合，而实际地壳的复杂性只能用三维地震数据来理解。因此，一、二维勘探已经无法适应精细描述复杂地质构造。
三维地震勘探技术通过分析获取的三维地层信息，实现对裂缝，薄层等复杂油藏详细描述和精确圈定，是各国进行精细勘探、提高油气产量而大力发展的关键技术。三分量地震加速度检波作为三维地震勘探中地震信息的拾取技术，其先进程度决定了地震数据采集的精度和质量，直接影响后续解释处理过程，是三维地震勘探技术的核心，对于提高三分量地震勘探精度，提高油气产量；实现高分辨率、高精度的精细勘探具有重要的科学意义和社会价值。因此迫切需要一种检测灵敏度高、性能稳定、适合大批量生产的新型检波器。发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种三分量光电混合集成加速度地震检波器。该检波器具有测试频带宽、检测灵敏度高、保真度好、抗电磁干扰、集成芯片采用半导体平面工艺制作。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是 一种三分量光电混合集成加速度地震检波器包括三分量简谐振子、外围激光器、光电转换系统和信号处理系统，采用三分量简谐振子与外围激光器、光电转换系统和信号处理系统相连接构成三分量光电混合集成加速度地震检波器。
所述三分量简谐振子由三个M-Z干涉芯片组成。
本实用新型的优点
1、由于采用了光波导马赫曾德干涉检测系统和光学集成技术，从而提高了三分量加速度地震检波器的检测灵敏度，测量频带宽、减小了体积、提高了使用稳定性，并能在强电磁干扰的环境下稳定工作。
2、集成芯片采用半导体平面工艺制作，适合大批量生产、成本低、体积小 的特点。

图1是本实用新型一种三分量光电混合集成加速度地震检波器的结构示意图。
具体实施方式
下面将对照附图进一步说明本实用新型 在图1中，本实用新型一种三分量光电混合集成加速度地震检波器包括三
分量简谐振子6、外围激光器l、光电转换系统7和信号处理系统8，采用三分
量简谐振子与外围激光器、光电转换系统和信号处理系统相连接构成。
在图1中，M-Z干涉芯片(2、 3、 5)组成的三维简谐振子6固定在基座4 上。外围激光器1发出的光分三路分别输入M-Z干涉芯片(2、 3、 5)，当基座 4受任意方向加速度作用时，M-Z干涉芯片(2、 3、 5)分别感应加速度的x、 y、 z三方向的分量a、 、"z。根据LiNb03晶体的光弹效应，三向加速度变化 被转化为光相位变化。由M-Z干涉芯片(2、 3、 5)将光相位变化转化为光强 变化，采用光电转换系统7将光强信号转换为电信号，然后采用信号处理系统8 对所测出的加速度电信号进行DSP技术处理，得到所测加速度与输出电压的关 系，完成加速度的检测。输出Vx、输出Vy和输出Vz分别为x、 y、 z三方向的电 .压输出。
权利要求1、一种三分量光电混合集成加速度地震检波器包括三分量简谐振子(6)、外围激光器(1)、光电转换系统(7)和信号处理系统(8)，其特征在于，采用三分量简谐振子(6)与外围激光器(1)、光电转换系统(7)和信号处理系统(8)相连接构成；所述三分量简谐振子(6)由M-Z干涉芯片(2、3、5)组成。
专利摘要本实用新型一种三分量光电混合集成加速度地震检波器适用于地球物理勘探及加速度传感器技术领域。它包括三分量简谐振子、外围激光器、光电转换系统和信号处理系统，采用三分量简谐振子与外围激光器、光电转换系统和信号处理系统相连接构成。所述三分量简谐振子由三个M-Z干涉芯片组成。本实用新型的优点，检测灵敏度高、测量频带宽、体积小、并能在强电磁干扰的环境下稳定工作。适合大批量生产、成本低。
文档编号G01P15/18GK201417314SQ20092008178
公开日2010年3月3日 申请日期2009年6月13日 优先权日2009年6月13日
发明者唐东林, 峰 郭 申请人:西南石油大学