专利名称：悬臂式探针的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种悬臂式探针。
背景技术：
随着IC技术的发展，芯片PAD尺寸也在不断减小，相应的用于测试开发的探针卡 设计也面临着更新的挑战。由于PAD尺寸的不断减小，相应的探针卡针尖直径也在不断减 小，由于探针卡直径的减小带来了很多工程应用障碍与瓶颈，比如针尖缩小导致探针卡对 针困难以及误对针现象。悬臂式探针卡的结构如

图1所示，其中包括补强板2以及上面的电子元件1，补强 板2下方连接设置有印刷电路板3和陶瓷环4，陶瓷环4下面有胶5以及悬臂式探针6。现 有的悬臂式探针如图2所示，包括悬臂8以及悬臂末端连接的针尖7。由于针尖直径的缩小，在光学镜头下，针尖的反光面积就会减小，从而使得针尖比 原先更不容易在光学镜头下被辨别。为了使得直径缩小后的针尖容易在光学镜头下分辨， 通常的做法是提高照射到针尖的光强，以增加针尖所反射的光通量。但是，由于针尖一般是 金属材质，因此强光照射之后会在各个方向发生反射，这样即使在光学镜头上看到了针尖， 针尖所成的像也是边缘不清晰的一个像。这样，在对针的时候就很容易发生对针不准或者 误对针的情况，从而降低了对针的效率。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种悬臂式探针，能够采用简单易行的结 构，提高探针卡对针效率以及防止误对针的发生。为解决上述技术问题，本实用新型悬臂式探针的技术方案是，所述悬臂式探针上 由针尖向后的悬臂外表面涂布有一层抗反射层。本实用新型通过在探针上涂布抗反射层，保证了对针时只有针尖出现在光头镜头 中，提高探针卡对针效率以及防止误对针的发生。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明图1为探针卡的结构示意图；图2为现有的悬臂式探针结构示意图；图3为本实用新型悬臂式探针的结构示意图。图中附图标记为，1.电子元件；2.补强板；3.印刷电路板；4.陶瓷环；5.胶；6.悬 臂式探针；7.针尖；8.悬臂。
具体实施方式
本实用新型公开了一种上述提高悬臂式探针卡对针效率的方法所采用的悬臂式探针，如图3所示，所述悬臂式探针上由针尖向后的悬臂外表面涂布有一层抗反射层。所述探针涂布抗反射层的位置为整个针尖与悬臂。探针台通过光学镜头定位探针针尖，目的是记录针尖位置以及针尖高度到相应的 品种参数。在现有技术中，由于芯片PAD尺寸的不断减小，相应的探针卡针尖直径也不断减 小，针尖直径的缩小导致在光学镜头下寻找目标减小，探针台会报警针尖不清晰。为此探 针台会自动调整焦距试图使针尖在光头镜头下变大以达到探针台默认的标准，在这种情况 下，悬臂也会出现在光学镜头下，并且亮度足以使光头镜头误判而不能正确找到针尖位置。而本实用新型中，如图3所示，在针尖及悬臂处涂上抗光反射涂层，目的是使光头 镜头自动对焦时不会被悬臂干扰，在镜头中只出现目标探针针尖的图形。因此，本实用新型通过在探针上涂布抗反射层，保证了对针时只有针尖出现在光 头镜头中，提高探针卡对针效率以及防止误对针的发生。
权利要求一种悬臂式探针，其特征在于，所述悬臂式探针上由针尖向后的悬臂外表面涂布有一层抗反射层。
2.根据权利要求1所述的悬臂式探针，其特征在于，所述探针涂布抗反射层的位置为 整个针尖与悬臂区域。
专利摘要本实用新型公开了一种悬臂式探针，所述悬臂式探针上由针尖向后的悬臂外表面涂布有一层抗反射层。本实用新型通过在探针上涂布抗反射层，保证了对针时只有针尖出现在光头镜头中，提高探针卡对针效率以及防止误对针的发生。
文档编号G01R31/28GK201732107SQ20092021485
公开日2011年2月2日 申请日期2009年12月24日 优先权日2009年12月24日
发明者宋鋆鋆 申请人:上海华虹Nec电子有限公司