专利名称：电子轰击样品加热架的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空设备领域，特别是样品加热架。
背景技术：
超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开 发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，经常需 要对样品进行加热或冷却的温度控制，目前加热和冷却一体的装置， 且在大气侧进行真空环境内操作的设备尚且空白。 发明内容
本实用新型的目的是克服上述不足问题，提供一种电子轰击样品 加热架，结构简单，加热冷却方便，操作简便。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是电子轰击样品 加热架，台体一面绝缘固定有样品架， 一面固定有冷却装置，样品架 内台体上装有加热丝，加热丝接通电极，冷却装置通过铜导体连接压 板。
所述样品架安装在绝缘台上，样品架上装有样品压板。 所述导体为铜导体。
所述样品架为三面开有定位槽的板框式样品架。 所述冷却装置为冷却头固定装在台体上，冷却头管路连通冷却源。
本实用新型通过对加热丝导入电流，可使加热丝放出热电子，加 热丝的发热本身就可以通过热辐射实现对样品的加热，热辐射可以对
样品加热到600摄氏度，在样品架上加正电压后，热电子被加速到样 品架上，实现对样品架的轰击，以到达1300摄氏度的更高温度。样 品架还备有液氮存储罐，液氮存储罐储备液氮后实现低温，再通过铜 导体将低温传导到样品加上，可实现负200摄氏度的低温。所有部件 都是金属或陶瓷构成，可耐高温烘烤，便于实现超高真空。

图l是本实用新型结构示意图。
图2是本实有新型主视图。
图中1台体；2管路；3冷却头；4压板；5铜导体；6电极； 7加热丝；8绝缘台；9样品架；10热电偶；具体实施方式
如图1、 2所示的电子轰击样品加热架，台体1 一面通过绝缘台 8固定安装三面开有定位槽的板框式样品架9，样品架上装有压板4， 另一面固定有冷却装置的冷却头3，冷却头通过管路2连通冷却源一 —氮源，样品架9内台体上装有加热丝7——鸭丝，加热丝7接通电 极6，冷却头3通过铜导体5连接压板4，压板上连接热电偶10检测温度。
使用时被加热的样品通过压板被固定在样品架上，加热时通过电 极向钨丝通电流，使钨丝发热并产生热电子，热辐射会对被加热样品进行初步加热，通过电极使得被加热的样品处于正电位，钨丝放出的 热电子被加速到样品上，实现电子轰击加热。
冷却时外部的液氮通过管路导入到低温冷却头部，通过铜导体使 得样品也被冷却，样品的温度通过热电偶来测量，绝缘台起到电的绝 缘作用，但是对热不起绝缘作用。本实用新型可以完成对样品从负
200至1300摄氏度的温度控制。
权利要求1、电子轰击样品加热架，其特征是台体一面绝缘固定有样品架，一面固定有冷却装置，样品架内台体上装有加热丝，加热丝接通电极，冷却装置通过导体连接压板。
2、 根据权利要求1所述的电子轰击样品加热架，其特征是样 品架安装在绝缘台上，样品架上装有样品压板。
3、 根据权利要求l所述的电子轰击样品加热架，其特征是导 体为铜导体。
4、 根据权利要求1所述的电子轰击样品加热架，其特征是样 品架为三面开有定位槽的板框式样品架。
5、 根据权利要求l所述的电子轰击样品加热架，其特征是冷 却装置为冷却头固定装在台体上，冷却头管路连通冷却源。
专利摘要本实用新型涉及真空设备。电子轰击样品加热架，台体一面绝缘固定有样品架，一面固定有冷却装置，样品架内台体上装有加热丝，加热丝接通电极，冷却装置通过铜导体连接压板。本实用新型通过对加热丝导入电流，可使加热丝放出热电子，加热丝的发热本身就可以通过热辐射实现对样品的加热，热辐射可以对样品加热到600摄氏度，在样品架上加正电压后，热电子被加速到样品架上，实现对样品架的轰击，以到达1300摄氏度的更高温度。样品架还备有液氮存储罐，液氮存储罐储备液氮后实现低温，再通过铜导体将低温传导到样品加上，可实现负200摄氏度的低温。
文档编号G01N1/36GK201355325SQ200920011038
公开日2009年12月2日 申请日期2009年2月27日 优先权日2009年2月27日
发明者郭方准 申请人:大连齐维科技发展有限公司