专利名称:用于夹持电子部件并在调准夹具的电子部件接收容积的下方延伸的弹性单元的制作方法
技术领域:
本发明涉及一种用于调准电子部件的调准夹具。并且,本发明涉及一种载体。除此以外,本发明还涉及一种使用该载体的方法。
背景技术:
集成电路通常制造在半导体晶片上。集成电路具有多种用途并且可见于通用电气 装置中。根据制造它们的目的,在将集成电路与诸如电阻器、电容和感应器之类的其它电子 部件装配在一起之前,对它们进行封装、标记和测试。例如,在给定的温度、压力、倾角和不 同的加速类型下对MEMS(微电子机械系统)部件进行测试。由此,完整的对电子部件的加工 可划分为纯制造过程和修整电子部件的接触区域(contactpatterns)后的过程。存在三类 处理电子部件的机器处理单一电子部件的所谓“重力式测试分选机(Gravity handler)” 和“捡置式测试分选机(Pick&Place handler) ”以及处理所谓电子部件支板(strip)的“支 板测试分选机”。US 2003/0017629A1公开了一种用于在测试操作期间支承单一电子装置的设备, 其包括主体和支承构件,其中,所述支承构件由不导电的高电阻率的材料制成并包括多 个凹部,每个所述凹部均适于接收单独的单一装置。本文还公开了一种用于测试这种装置 的方法,其中这些装置在整个测试过程中被承载在包括一个或多个环境控制腔的支承构件 上。US 2006/0154386A1公开了一种被提供用于调准放置在载体上的多个半导体装置 的设备和方法。使用时调准导件邻近各个装置安置,并设置成使得这些调准导件对应于每 个半导体装置的预期调准位置。为了调准,通过定位装置来保持半导体装置,该定位装置 包括多个保持件,每个保持件均被构造成产生力来保持半导体装置。还设置有致动器,其可 操成移动该定位装置和保持件,以抵靠调准导件偏压半导体装置,从而利用所述调准导件 为半导体装置进行定向,直到将它们调准。US 7,156,680B2公开了一种插件和设有该插件的电子部件处理设备。为了 提供能够可拆卸地附连至插件本体的导芯和能够可拆卸地附连有导芯的插件本体,US 7,156, 680B2提供了一种能够以可拆卸的方式附连至插件本体的导芯,其包括支承部分, 该支承部分能够支承区域阵列型电子部件的外部端子面,以使该区域阵列型电子部件的外 部端子面裸露于插口的连接端子的方向;钩接收件,该钩接收件能够与设置于插件本体的 钩部以可松开的方式接合;和插件本体,该插件本体能够与导芯以可拆卸的方式附连,该插 件本体包括电子部件引导部分,该电子部件引导部分包括附连导芯的导芯附连插口 ;以 及电子部件入口,该电子部件入口与导芯附连插口相连,从而可将电子部件引导至附连于 导芯附连插口的导芯;和钩部,该钩部能够与设置于导芯的钩接收件以可松开的方式接合。US 5,596,229A公开了一种芯片载体结构,其用于容纳具有电子接触垫的芯片载体,该芯片载体结构具有用于芯片载体的定位结构和配置成形成容纳所述芯片载体的相配 结构的有槽结构,该有槽结构的槽与芯片载体的间隔件对准,以便提供从相配的定位结构 和有槽结构的外部到内部的通往间隔件的电气和机械接入。
发明内容
需要一种能够以有效的方式调准电子部件的系统。为了实现上述目的,提供了一种用于调准电子部件的调准夹具、一种包括多个调 准夹具的载体、以及一种使用载体的方法。根据本发明的示例性实施方式,提供了一种用于调准电子部件的调准夹具,其中, 该调准夹具包括接收器(其可指代用以接收和容纳某物的装置),该接收器适于(具体来说 是用于)接收电子部件并包括第一邻接(具体来说是接触)部(具体来说是部分)和第二 邻接部,第一邻接部经由弹性(具体来说是可伸缩的、回弹性的或有弹力的)单元(具体 来说是用来执行一种特定功能的一件设备或一组设备)安装(具体来说是安装于调准夹具 的支承板或框架结构),其中,第一邻接部和第二邻接部界定出将电子部件接收在接收器中 的电子部件接收容积(具体来说是用于容置电子部件的空间),弹性单元(部分或完全地) 在电子部件接收容积的底侧的下方延伸;并且弹性单元适于提供用于将电子部件夹持在第 一邻接部与第二邻接部之间的夹持力。根据本发明的另一示例性实施方式,提供一种用于调准多个电子部件的载体,其 中该载体包括多个具有上述特征的调准夹具。根据本发明的再一示例性实施方式,提供了一种使用具有上述特征的载体的方 法,其中,该方法包括-致动夹持机构以在所述接收器中露出大于待接收的所述电子部件(具体来说是 模制件)的开口;_将所述电子部件定位(具体来说是放置)在所述接收器中的所述开口中(具体 来说是在露出开口之后);-致动所述夹持机构以缩小所述开口的尺寸,使得在所述载体的所述接收器内调 准所述电子部件(具体来说是在定位之后)。术语“调准夹具”可具体指代用于在加工或处理过程中支承实体结构的装置。“实 体结构”在本文中可具体指代在加工或处理的过程中在任一阶段对其进行操作的材料、材 料块或电子部件。术语“调准”可具体表示将某物进行排列或校直。例如,可将电子部件与固定的邻 接部调准。术语“电子部件”可具体表示适于被安装在诸如印刷电路板之类的电子支承基片 上的任意部件。这种电子部件还可通过通常称之为“处理机”的处理机器进行处理。电子 部件的示例是电子芯片,即封装的印模(die)或裸露的未封装印模。术语“接收器”可具体指代用以接收和容纳某物的装置,或者更为具体地指代用于 电子部件的容器。术语“邻接部”可具体表示接触部分,即接收器的直接邻接电子部件的部分。术语“第一邻接部和第二邻接部界定出在接收器中接收电子部件的电子部件接收容积”可以指的是位于第一邻接部与第二邻接部之间的三维空间部分。更具体地说,术语 “电子器件接收容积”可以指的是位于接收器的第一邻接部、第二邻接部和底座支承部之间 的空间。该电子器件接收容积可以是可将电子部件定位在接收器中的位置。术语“载体”可具体表示一种用于承载的容器或一种承载装置。载体可以是条状 构件,其适于将多个电子部件承载在载体的接收器中。这种载体可结合处理机使用,从而允 许利用载体来处理电子装置,以便随后实施对电子部件的测试(例如功能测试)。术语“夹持”可具体表示将载体设计成可使部件合拢从而保持或压紧电子部件。可 以合拢到一起的部件可以是第一邻接部和第二邻接部。该夹持可以是弹性的。术语“弹性 的”可具体表示可施加具体为可伸缩的、回弹性的力或弹簧力,诸如胡克力。术语“在电子部件接收容积的底侧的下方延伸的弹性单元”可具体表示在调准夹 具的俯视平面图中在将电子部件接收在电子部件接收容积中的操作状态下弹性单元被电 子部件部分或完全覆盖住。这并不排除将弹性单元的一部分调准成与电子部件接收容积处 于同一高度或者甚至是高于该电子部件接收容积。在一种实施方式中,第一邻接部、第二邻接部和底部支承部可为可界定能够可将 容置电子部件接收在其中的电子部件接收容积划定界限,其中,弹性单元的至少一部分可 在弹性部件接收容积的底侧下方延伸。通过将弹性单元设置在弹性单元接收容积的下方, 可将调准夹具所需的空间保持得较小。对于比一般平均电子部件大的电子部件而言,节约 节省调准夹具的主平面中的空间是有用的有利的。由于弹性单元的对于针对大尺寸大的电 子部件的弹性单元的变形量是偏移会较大的,因此得出结论,与将弹性单元仅设置在电子 部件接收容积的旁边的结构布置相比,通过将弹性单元设置在电子部件接收容积下方可节 省非常大的(例如达到八倍的)空间。将板簧(诸如多迂曲形的弹簧或片簧)用作弹性单 元,可获得允许以非常紧凑的方式形成调准夹具的基本上平坦的结构。在一种实施方式中,可提供用于调准多个部件的载体,其中,该载体包括多个调准 夹具。这多个调准夹具可被设置成矩阵的形式(即成行和列设置)并且可固定地安装在 一起以形成载体。该载体可具有与单个调准夹具相似的特性,但是可应用于多个电子部件 上,即,可特别是以成整体形成的方式同时承载多个电子部件。可通过载体的调准夹具在接 收器中以限定的方式调准电子部件。由此,该载体适于允许调准多个电子部件。根据本发明的示例性实施方式,可提供一种使用该载体的方法,其中,可将电子部 件放置在载体的暂时扩大的接收器中,之后可通过夹持机构将电子部件以弹性方式夹持在 尺寸缩小的接收器并在其中调准该电子部件。接收器的扩大尺寸到夹持尺寸的转变能够以 自作用的方式发生。在下文中,将描述调准夹具的其它示例性实施方式。但是,这些实施方式同样适用 于所述载体和所述方法。调准夹具可包括形成于第一邻接部处的可致动结构,其中该可致动结构可由对应 的致动结构(处理装置等)致动,以便操纵接收器。可致动结构可以是例如凹部、突起等,其 可由通过致动结构控制的任意适当的施力机制(例如施加机械力、电力、磁力等)来致动。 致动结构可以被对应地构造(例如形状和/或尺寸确定)成可致动结构,并且可以例如是 突起或任意其它施力元件,它们可通过任意适合的施力机制(例如施加机械力、电力、磁力 等)来致动该可致动结构,从而以预期的方式来控制该接收器(例如用于暂时扩大或缩小接收器的开口)。可致动结构(具体地,可致动孔、可致动销或可致动臂)可适于被致动,进而致动 弹性单元。可致动结构可被设置在接收器的旁边(具体来说是设置在接收器的边界区域的 旁边)。可致动结构和第一邻接部可形成刚性构件。可以从将要接收电子部件的一侧触及 (由通过处理机的控制器控制的致动元件)可致动结构。弹性单元(具体来说是一个或两个弹簧元件)可从接收器的一个拐角区域延伸至 接收器的另一个拐角区域。在一个实施方式中,弹性单元可从第一邻接部延伸至第二邻接 部。两个弹簧元件可并行延伸,从而形成弹性单元。至少一个弹簧元件可以是平面的。至少 一个弹簧元件可以是多迂曲的。两个弹簧元件都可以是多迂曲的,并可以镜像对称的形式 从第一邻接部的拐角区域沿对角并行延伸至第二邻接部。弹簧元件可至少部分地形成电 子部件的支承装置的一部分。弹簧元件的横截面的高度可大于弹簧元件的横截面的宽度。 弹簧元件的其中一个端部可固定地安装于第一邻接部,而其另一个端部可固定地安装于第 二邻接部。弹簧元件和底座支承板可由一块板成整体地形成。第一邻接部可从其所安装的弹性单元沿向上的方向延伸,或者可以从其所安装的 弹性单元竖直地凸出,并且第一邻接部可在电子部件接收容积的旁边(具体来说是侧旁) 延伸。以可伸缩的方式安装的第一邻接部可在电子部件接收容积的旁边并与电子部件接收 容积在同一高度上延伸,以适于邻接待被接收的电子部件。第一邻接部可从在电子部件接 收部的下方延伸的弹性单元处向上并从电子部件接收部的旁边延伸至电子部件接收部,并 且以可伸缩的方式安装的邻接部可适于邻接接收在接收器中的电子部件。第一邻接部可以 是L形的并且可以接合电子部件的拐角区域。第一邻接部和第二邻接部可适于将电子部件 夹持在它们之间的空间中。致动元件(具体来说是致动孔、致动销或致动臂)可适于致动弹性单元。致动元 件可被设置在接收器的旁边(具体来说是设置在接收器的边界区域的旁边)。致动元件和 第一邻接部可形成刚性构件。可以从将要接收电子部件的一侧触及该致动元件。第一邻接部可适于在电子部件上施加第一力,并且第二邻接部可适于在电子部件 上施加第二力,其中,第一力和第二力可至少部分地彼此相对(具体来说是彼此相对地、即 以逆平行的方式施加)。可在调准夹具的接收器中调准电子部件。第一邻接部和第二邻接 部邻接电子部件的侧面部分。根据所施加的力,在施加在电子部件上的力至少不是指向一 个方向的情况下,可安置并调准电子部件。当通过第一邻接部和第二邻接部施加在电子部 件上的两个力至少部分地相对时,由于包含摩擦力,所以可安置电子部件。可调整第一邻接部和第二邻接部,使得将第一力施加在接收器的主平面中(即力 矢量可位于主平面内)并且以平行于该接收器的主平面的方式施加第二力。接收器的主平 面可通过平行于调准夹具的主平面来限定。在由第一邻接部和第二邻接部施加的力被施加 在一个平面中的情况下,可以适当的方式调准电子部件。第一邻接部和第二邻接部可邻接 电子部件的侧面部分。通过将第一力和第二力都施加在接收器的主平面中,作用在电子部 件上的合力不会产生倾向于使电子部件翻出接收器外的转矩。通过平行于接收器的主平面 的力,可在接收器中稳固地调准电子部件。接收器可进一步包括底座支承部,其形成为平行于接收器主平面的支承表面(具 体来说是用以通过充当基座而将某物支承在适当的位置)。平坦的底座支承部还可界定电子部件接收容积(并限定电子部件接收容积的底部)。由底座支承部施加的支承力可作用 在电子部件的主平面上,具体来说可以是逆平行于重力的。电子部件可设置在接收器中,使 得接收器的主平面与电子部件的主平面是平行的。作用于电子部件的底座支承部可平行于 接收器的主平面,从而通过底座支承部的支承在接收器的主平面中调准电子部件。将电子 部件支承在接收器的主平面中的优点可以是,电子部件上的载荷可以被分散在电子部件的 主平面的不同部分上,并且第一邻接部的第一力和第二邻接部的第二力可以平行于底座支 承部施加。由此,第一力的定向与第二力的定向可防止底座支承部上的电子部件破裂。底座支承部可适于施加垂直于第一力和第二力的(具体来说是竖直的)支承力。 由底座支承部施加的支承力可适于以与其主平面成直角的方式调准电子部件。支承力垂直 于由第一邻接部和第二邻接部所施加的力的技术优点可以是不会对电子部件施加转矩。由 此,电子部件可相对于其主平面保持在调准位置中。第一邻接部和第二邻接部中的一个或两个可被以可伸缩的方式安装。以可伸缩的 方式安装的邻接部可适于进行平行于接收器主平面的移动。平行于接收器主平面施加由以 可伸缩方式安装的邻接部所施加的力。用以调准电子部件的力可由弹性单元提供,并且弹 性单元可通过其自身在接收器主平面中的自作用移动而在接收器的主平面中移动该以可 伸缩方式安装的邻接部和电子部件。由此,可将弹性单元的力在一定平面中施加在电子部 件上,在该平面中电子部件明显结实或稳定。特别地,以可伸缩的方式安装的第一邻接部适于进行平行于接收器的主平面的移动。调准夹具可包括底座支承板,弹性单元设置在该底座支承板上方,其中弹性单元 可适于进行平行于至少部分地由底座支承板支承的接收器的主平面的移动。在一种实施 方式中,底座支承板和弹性单元可平行于接收器的主平面并平行于整个调准夹具的主平面 设置。弹性单元可设置在该底座支承板上,并且弹性单元可沿底座支承板移动。至少在一个 方向上(其可以是朝底座支承板定向的方向),可将弹性单元紧固住以免产生不希望的变 形。底座支承板可以是平面的或者可以具有一个或多个适于引导弹性单元的移动的凹部。特别地,调准夹具包括设置在弹性单元下方的底座支承板,其中,该弹性单元适于 进行平行于至少部分地由底座支承板支承的接收器的主平面的移动。调准夹具可包括其间设有弹性单元的底座支承板和接收板。弹性单元可适于进行 平行于接收器的主平面并至少部分由底座支承板和接收板引导(具体来说是为某物的移 动导向)的移动。该接收板可特别地具有凹部(或接收开口),电子部件可通过插入穿过该 凹部而经由该凹部接收在接收器中。在一种实施方式中,底座支承板、接收板和弹性单元可 平行于接收器的主平面并平行于整个调准夹具的主平面设置。弹性单元可在其所设置的底 座支承板与接收板之间移动。弹性单元可以抵抗在两个方向上的变形的方式被紧固住。弹 性单元可被紧固住的两个方向可以是朝底座支承板定向的方向和朝接收板定向的方向。底 座支承板和接收板可以是平面的或可以具有适于引导弹性单元移动的凹部。调准夹具可进一步包括至少一个距离调整板,其适于调整调准夹具的厚度,以便 例如调整该调准夹具使其适于与可与其一起使用的处理装置协作。出于距离调整的目的, 调准夹具可包括甚至超过三个板。特别地,该调准夹具包括至少一个适于调整调准夹具的厚度的厚度调整板。
弹性单元可包括弹簧元件(具体地,橡胶构件、任意种类的弹性材料构件、由钢簧 板形成的弹簧、由弹簧钢丝形成的弹簧或诸如板簧、盘簧、片簧等的任意种类的弹簧)。优选 诸如曲簧之类的平面弹簧以优化结构紧凑性。弹簧元件可由板成整体地形成。弹簧元件可 表现出相较于弹性单元类似的特性,其中,该弹性单元可由若干部分形成。弹簧元件可表现 出抵抗变形的弹性回复效力,即胡克性质。弹性单元可包括第一弹簧元件和第二弹簧元件,其中,第一邻接部和第二邻接部 中的以可伸缩方式安装的一个邻接部可既与第一弹簧元件相连又与第二弹簧元件相连。在 一种实施方式中,第一弹簧元件和第二弹簧元件相对于彼此成角度地设置。在一种实施方 式中,第一弹簧元件和第二弹簧元件彼此平行地设置。在另一实施方式中,第一弹簧元件和 第二弹簧元件可被相对于彼此以轴向对称的方式或者以镜像对称的方式设置。根据弹簧元 件的形式、材料和尺寸,将两个弹簧元件结合于弹性单元会是有利的。多于两个弹簧元件也 可形成弹性单元。通过将两个或更多个弹簧元件结合于弹性单元,可以调整由弹性单元施 加的力的方向和绝对值。弹性单元可以是单独的弹性构件,其适于安装在弹性单元接收部处,特别地安装 于调准夹具的接收部。弹性单元接收部可由其中一块板形成,并可适于接收单独的弹性构 件。为了提高调准夹具的适应性,弹性单元可以是单独的弹性构件。一个弹性单元板或任 意其它适合的板可适于接收不同类型的弹性构件。为此,较少量的板就可足以使调准夹具 适合不同尺寸的电子部件。能够仅改变接收器的相应尺寸、弹性单元接收部的位置或仅改 变待被插入的弹性构件的尺寸从而调整调准夹具以适合于不同的电子部件类型。通过使改 变调准夹具更为方便,能够以可拆卸的方式安装单独的弹性构件。弹性单元接收部可适于将弹性单元固定在弹性单元的悬架(具体来说是紧固件 或固定件)处,从而将第二弹性单元固定住以防旋转。否则弹性构件可能无法在预定的方 向上施加力。如果弹性单元是不能旋转的,则力的方向和大小不会发生变化。由于半导体 制造的微型化趋势导致半导体装置的尺寸较小,因此非常精确地调准半导体装置可能是重 要的。这样,由于可限定力的方向和大小,所以防止接收在其悬架中的弹性构件旋转是有利 的。弹性单元可以形式锁合的方式固定地安装于弹性单元接收部处或安装在其中。弹 性单元接收部可适于将弹性单元固定在弹性单元的悬架中,其中,弹性单元通过有效锁合 (positive locking)而以固定方式安装。可通过以形式锁合的方式固定安装弹性单元来防 止单独的弹性构件滑动。可防止弹性单元从调准夹具上脱落。通过以形式锁合方式安装弹 性单元,可限定由弹性单元施加的力的方向和大小,并使其保持稳定。第一邻接部和第二邻接部可分别形成为刚性的(具体来说是非弹性的、不可弯 曲的、刚性的、不易弯曲的或不易伸缩的)构件(具体来说是部件)并可适于接合(具体来 说是接触)电子部件。弹性单元可适于在第一邻接部和第二邻接部中的一个邻接部上施加 (具体来说是应用)相对于彼此成角度的(具体来说是围成不同于零度的在公差范围之外 的角度的)两个分力。术语“弹性单元适于施加两个成角度的分力”可具体表示可将力分解 成作用在表面上的两个成直角的分力。由弹性单元施加的倾斜的力可作用在第一邻接部和 第二邻接部中的至少一个上,以便将两个彼此成角度的分力施加在这些邻接部中的至少一 个上。两个成角度的分力可由通过弹性单元施加的倾斜力所导致。本文中的“倾斜”力可表示力并不平行于表面,即不平行于第一邻接部和第二邻接部,而是与该表面成一角度,该 角度至少以0.5°、1°、2°、4°、8°或16°这样的一个角度偏离平行方向。该角度可大于 10°,具体来说是大于30°,更具体地说是大于45°。倾斜力可表示为成角度的。在一种 实施方式中,该力可以相对于成直角的邻接区域的内角成45°的角度被引导到至少一个成 直角的邻接部上。该倾斜力可由沿对角施加的力来表示。根据本发明的示例性实施方式, 可提供一种调准夹具,该调准夹具将电子部件以自作用的方式在接收器中调准。诸如对角 作用力(其与例如矩形电子装置有关)的倾斜力可对第一邻接部和第二邻接部中的至少一 个施加两个成角度的分力。该可以是倾斜的或成角度的力可从该邻接部(被以可伸缩方式 安装在弹性单元上)经由电子部件传递至被固定安装的邻接部。在一种实施方式中,该倾 斜力可在不平行的方向上作用于电子部件的每个侧面部分。通过提供由弹性单元施加的两 个成角度的分力,电子部件可通过第一邻接部和第二邻接部被完全调准而无需电子部件在 接收器内的其它侧向邻接。因为仅一个弹性单元和两个邻接部分就足以调准电子部件,所 以这会是有利的。调准夹具的设计和制造过程可以是经济有效的。由于仅使用一个弹性单 元,因此当通过邻接部之一的两个成角度的侧面部分来接合电子部件时对电子部件的调准 会很可靠。一个弹性单元的方位可限定倾斜力的方向和两个成角度分力的方向和大小。倾 斜力可以相对于电子部件的侧面部分是倾斜的或者是成角度的。第一邻接部的方向和第二 邻接部的方向可被限定为分别平行于电子部件的侧面部分的定向。第一邻接部和第二邻接部中的至少一个可适于以形式锁合(具体来说是紧扣) 的方式接合电子部件的两个成角度的侧面部分。电子部件可以是半导体部件并可呈带有六 个不同表面的基本上立方体的形状。两个相对的主表面——通常称之为记号侧和平行的接 触侧——可代表半导体部件的主平面,这是由于通常记号侧和接触侧的面积大于半导体部 件的其它四个侧面部分的面积。由此,电子部件的由电子部件的侧面部分的高度所限定的 高度可小于主表面两侧的长度。具体来说,可适用三种布置第一,电子部件能够以其一个第一侧面部分的一部分 邻接经由弹性单元以形式锁合的方式安装的邻接部,并能够以其第二侧面部分中的另外一 部分邻接经由弹性单元以形式锁合的方式安装的邻接部。电子部件能够以其一个其余的侧 面部分或拐角区域邻接以固定方式安装的邻接部。电子部件可通过一个侧面部分对准固定 安装的邻接部。第二,电子部件能够以其一个第一侧面部分的一部分或拐角区域邻接经由 弹性单元安装的邻接部,并能够以其两个成角度的其余的侧面部分邻接以形式锁合的方式 固定安装的邻接部。电子部件能够以两个侧面部分对准固定安装的邻接部。第三,电子部 件能够以其一个第一侧面部分的一个部分邻接经由弹性单元安装的邻接部,并以其第二侧 面部分中的另外一部分邻接经由弹性单元安装的邻接部。电子部件还能够以其一个第三侧 面部分和剩余的第四侧面部分邻接固定安装的邻接部。电子部件可通过两个侧面部分对准 固定安装的邻接部。根据所述第一、第二和第三实施方式,可以完全限定出电子部件在其主 平面中的位置。调准夹具可包括另外的弹性单元,经由该另外的弹性单元来安装第三邻接部,并 且其中,第一邻接部和第三邻接部可适于共同将两个成角度的分力施加在第二邻接部上。 第三邻接部可安装于该另外的弹性单元,并且仍可将第一邻接部安装于第一弹性单元。可 通过第一邻接部和第三邻接部将电子部件朝第二邻接部调准。弹性单元和该另外的弹性单元可施加彼此成角度的力。第一邻接部和第三邻接部可适于接合电子部件的至少两个成角度的侧面部分。通 过接合至少两个成角度的侧面部分,可将电子部件朝第二邻接部完全调准。两个邻接部可 适于根据电子部件的两个自由维度在二维空间中调准该电子部件。在一种实施方式中,电 子部件可安装成仅在平行于接收器的主平面的平面中移动。调准夹具可进一步包括框架,具体来说是以可滑动方式安装的框架,其中,第一邻 接部和/或第二邻接部以及弹性单元可安装在以可滑动方式安装的框架(其可相对于调 准夹具的支承板等滑动)上。作为以可滑动的方式安装的框架的备选方案,可实现空间固 定的框架(其可刚性地固定于调准夹具的支承板等或者可形成调准夹具的支承板等的一 部分)。这种框架可以是例如由比如四杆或棒所形成的矩形结构。第一邻接部和弹性单元 可被安装在由这些杆或棒所界定的区域内。在一种实施方式中,所述另外的弹性单元还可 安装在该浮动的接收器框架处。框架又可以或可以不以固定或可伸缩的方式安装在诸如板 的外部支承框架上。在一种实施方式中,以可滑动方式安装的框架可包括调整单元,以允许 对接收器的调准性能进行微调。第一邻接部和第二邻接部可接合电子部件并可通过第一邻 接部以平行于接收器主平面的方式调准电子部件。而且,可将第一邻接部和其上安装有第 二邻接部的弹性单元都安装在以可滑动方式安装在接收器主平面中的框架上。通过为以可 滑动方式安装的框架设置调整单元,能够允许对调准夹具中的接收器和接收在该接收器中 的电子部件进行微调。可经由至少一个另外的弹性单元弹性地安装以可滑动方式安装的框架。由第一邻接部、第二邻接部、弹性单元、所述另外的弹性单元、底座支承部和该 (例如以可滑动方式安装的)框架所构成的组中的至少一个可以至少部分地由板成整体形 成。通过采用诸如蚀刻技术或激光技术之类的设计技术由板制造至少一个功能元件是很方 便的。这些技术可最佳地适于将它们施加在例如金属板之类的薄板上。通过蚀刻或激光切 割,可实现被制造的结构具有高精度。由第一邻接部、第二邻接部、弹性单元、底座支承部和该(例如以可滑动方式安装 的)框架所构成的组中的至少两个可以至少部分地由一个板成整体形成。由一块板成整体 地形成其中至少一个功能元件的优点同样适用于由一个板形成两个乃至更多个功能元件。 利用一个板制造尽可能多的功能元件是更为方便的。具体来说,安装在弹性单元上的邻接 部和弹性单元可以由一个板来形成。此外,第一邻接部可由一块板成整体地形成。另外,以 可滑动方式安装的框架和至少所述一个另外的弹性单元或第三邻接部可由一块板成整体 地制造。由此,第一邻接部、第二邻接部、弹性单元、以可滑动方式安装的框架和所述至少一 个另外的弹性单元可由一块板成整体地形成。当适当调整板的形式时,甚至还可由同样一 个板来形成底座支承部。在下文中,将描述载体的另一示例性实施方式。但是,这些实施方式同样适用于所 述调准夹具并适用于所述方法。该用于调准多个电子部件的载体可设置由多个调准夹具。在一种实施方式中,多 个调准夹具可基于共用基板(其可由一个或多个板构成)而被成整体地形成。每个接收器可被指定有至少一个弹性单元。可有一个或多个弹性单元被指定给一 个接收器。通过将至少一个弹性单元指定给一个接收器,就有独立于另一电子部件调准一个电子部件的方法。这会是有利的,因为接收和调准一个第一电子部件并不影响接收和调
准另一第二电子部件。特别地,每个接收器分别具有至少一个指定的弹性单元。可将至少一个弹性单元指定给多个接收器。弹性单元可包括不止一个弹性部,并 可被设置成将两个邻接部安装在一个弹性部中的相对侧上。甚至是三个、四个、五个或者更 多个接收器可共享一个弹性单元。而且,为一个弹性单元提供一个以上的弹性部可以节约 成本且节约空间。为弹性单元板设置分别与存在的接收器或电子部件一样多的弹性单元和 弹性部是适当的。载体可以设有包括弹性单元的第一板和包括第二邻接部的第二板,其中,该第一 板相对于第二板以可滑动方式设置,并且第一板适于允许多个第一邻接部相对于第二邻接 部彼此重新定位。根据本发明的示例性实施方式,载体可包括多个接收器,每个接收器接收 多个电子部件中指定的一个电子部件。多个接收器的尺寸可由第一板的第一邻接部和第二 板的第二邻接部界定。第一板的第一邻接部和第二板的第二邻接部可位于接收器的相对侧 上。第一板和第二板可以是能够沿第一板的主平面和第二板的主平面相对于彼此移动的, 并且当第一板与第二板的相对位置相对于彼此改变时,接收器的尺寸可以发生变化。第一 板和第二板可位于平行于彼此的位置处。可沿对角方向改变第一板的位置和第二板的位 置,即可使第一板的拐角区域和第二板的拐角区域接近和与之相反地将其拉开。第一板和 第二板的移动或者第一邻接部与第二邻接部的接近或拉开可发生在第一板和第二板的主 平面中。当第一板的拐角区域与第二板的拐角区域靠近时,可将多个电子部件夹持在多个 接收器中的多个第一邻接部与多个第二邻接部之间。在第一板的拐角区域和第二板的拐角 区域接近和被拉开的同时接收器的拐角区域可接近和被拉开。第一板可以是弹性单元板,其包括多个弹性单元,其中每个接收器分别被指定有 所述多个弹性单元中的至少一个弹性单元。每个第一邻接部可分别形成在弹性单元上。弹 性单元的目的可以是可允许对于多个电子部件的不同尺寸的补偿公差。否则由于电子部件 尺寸不同,电子部件可能从接收器脱落或者可能导致未调准。弹性单元可具体为允许对第 一邻接部的弹性性能进行调整的弹性涂层或橡胶部件。弹性单元还可以是任意弹性的单 元,诸如任意种类的弹簧。在一种实施方式中,第一板和第二板可以被设置成相互平行。第 一板可设置在第二板上并可沿第二板移动。至少在可以是朝向第二板的方向的一个方向 上,可将第一板紧固住以使其不产生所不希望的变形。第二板可以是平面的或者可以具有 适于引导第一板的移动的凹部。每个弹性单元的位置或变形状态可决定相应的指定接收器的其中一个边界。弹性 单元的位置可决定接收器的尺寸,并且弹性单元的变形状态也可决定接收器的尺寸。弹性 单元的位置可随着第一板与第二板相对于彼此的位置而共同发生改变。每个第一邻接部的 位置可相对于每个第二邻接部而发生变化。第一板与第二板相对于彼此的位置的变化可导 致每个接收器的尺寸以相同的方式共同变化,即接收器的尺寸可共同增大或接收器的尺寸 可共同减小。但是,每个接收器可分别随着弹性单元的变形状态的改变而单独地改变其尺 寸。当弹性元件进入到预加应力的位置中时,弹性单元的变形状态和接收器的尺寸可增大, 并当张紧状态释放时,弹性单元的变形状态和接收器的尺寸可减小。第一板和第二板可通过至少一个板连接弹性单元彼此弹性地联接。通过至少一个板连接弹性单元将第一板与第二板相联是有利的。当接收器的尺寸共同增加时,所述至少 一个板连接弹性单元会处于张紧状态,并且当第一板和第二板改变它们的位置使得接收器 尺寸减小时,板连接弹性单元的张紧状态至少部分地释放。当所述至少一个板连接弹性单 元的张紧状态以自作用的方式释放时,可共同减小接收器的尺寸。第二板可包括适于邻接第一板的第一板邻接部。第一板可包括适于邻接第二板 的第二板邻接部。第二板邻接部和第一板邻接部可在第一板邻接部与第二板邻接部彼此邻 接时限定出接收器的夹持尺寸,其中接收器的夹持尺寸可适于将电子部件夹持在相应的接 收器中。接收器的夹持尺寸可由第一板与第二板相对于彼此的位置来提供,其中,每个接收 器可适于夹持相应的电子部件。术语“夹持”可具体表示载体可被设计成使部件合拢从而 保持或压紧电子部件。可以合拢到一起的部件为第一邻接部和第二邻接部。板连接弹性元件和所述多个弹性单元可适于提供用于从接收器的扩大尺寸朝接 收器的缩小的夹持尺寸进行自作用转变的合力,在该接收器的扩大尺寸的状态下,电子部 件可以是能够被接收在接收器中的,在该接收器的缩小的夹持尺寸的状态下,可夹持住电 子部件。当电子部件进入到夹持位置中时,合力可通过从由所述至少一个板连接弹性单元 施加的力中减去由多个弹性单元施加的力来限定。所述至少一个板连接弹性单元施加的力 可大于由多个弹性单元施加的力。合力可以是正的,并且可提供从接收器的扩大尺寸朝接 收器的夹持尺寸的自作用转变,在接收器的夹持尺寸中,第一板的第二板邻接部和第二板 的第一板邻接部可彼此邻接。载体可进一步包括形成于第一板处和第二板处的处理结构。该处理结构可适于操 作第一板和第二板以克服板连接弹性元件的力而使以可滑动方式设置的第一板和第二板 朝接收器的扩大尺寸相对地移动。载体的处理结构可适于克服通过从由所述至少一个板连 接弹性单元的力中减去多个弹性单元的力所提供的合力而使第一板和第二板相对移动。处 理结构可适于克服该合力而将接收器扩大至扩大尺寸,在该扩大尺寸下,可将电子部件的 本体接收在接收器中。载体可设有第一板、第二板和第三板,其中,第一板包括弹性单元,并且第二板包 括第二邻接部,其中,第一板以浮动方式设置在第二板与第三板之间,并且第一板适于允许 多个第一邻接部相对于多个第二邻接部相互重新定位。第一板可适于允许经由弹性单元以 可伸缩方式安装的第一邻接部相互重新定位(具体来说是浮动)。载体可包括第三板,其 中,第一板可浮动地设置在第二板与第三板之间,其中,该第二板与该第三板可彼此固定安 装。第一板可以是弹性单元板,并且可适于允许第一邻接部的相互浮动(具体来说是被连 接或构造成以便进行平稳地操作和调整)。术语“浮动”可具体表示为在没有限定的外部 控制的情况下的漂移。特别地,“浮动”可表示第一板可在小的或可以忽略的摩擦力的情况 下相对于第二板和第三板改变其位置。处理结构可适于克服合力使第一板朝接收器的扩大 尺寸移动。板连接弹性单元可适于使第一板朝接收器的夹持尺寸移动。第一板、第二板和第 三板可彼此平行设置。第一板可设置在第二板与第三板之间并可沿第二板和第三板移动。 第一板可被紧固住,以使其不在可以是朝向第二板的方向和朝向第三板的方向的各个方向 上发生所不希望的变形。第二板和第三板可以是平面的或者可具有适于引导第一板的移动 的凹部。第二板可以是底座支承板,并且可包括底座支承部,其可适于支承电子部件的主表面。接收器的底座支承部可由第二板形成。指定给相应的接收器的底座支承板可延伸至 由一块板成整体地形成的或由多个底座支承板构成的第二板。第二板的方位可平行于每个 接收器,并且可平行于每个底座支承部。由每个底座支承部施加的支承力可垂直作用在电 子部件的主平面上,并且可以相互平行。第三板可以是接收板,并且可适于至少部分地界定出接收器的接收开口。特别地, 第三板可以是接收板,该接收板包括用于将电子部件供给至接收器的接收开口。第三板可 覆盖住第一板。可经由第三板将电子部件放入到载体的接收器中。第三板可以由一块板成 整体地形成或可以由多个接收板构成。第一板或第三板可包括第一邻接部和第二邻接部中被固定安装的那一个。第一邻 接部和第二邻接部可由第一板或第三板形成。当被固定安装的邻接部由可具体表现为弹性 单元板的第一板形成时,该邻接部可与第二邻接部处于同一高度处。这对于极薄的电子部 件而言是有利的。当被固定安装的邻接部由第三板形成时,可通过使第一邻接部与第二邻 接部相互靠近或者通过将第一邻接部与第二邻接部拉开而改变接收器的尺寸。特别地,第一板或第三板包括固定安装的第二邻接部。在下文中,将描述所述方法的另一示例性实施方式。但是,这些实施方式同样适用 于所述调准夹具并适用于所述载体。该方法可进一步包括将电子部件放置在后加工机器中,并随后在电子部件保持 处在位于载体的接收器中的调准位置下的同时使电子部件接受后加工机器的操作。后加工 方法可具体指代对电子部件的评估或测试的方法。由此,后加工机器可具体指代用于评估 或测试电子部件的机器。在后加工期间,电子部件会经受不同物理条件的作用,以获取有关 电子部件的质量的信息。后加工可具体指代通过使电子部件经受所关注的各种电气和/或 机械条件的作用而对电子部件进行质量测试或质量评估。该方法可进一步包括仅在电子部件的侧面部分上通过夹持机构弹性夹持电子部 件。可将电子部件放置在载体的扩大的接收器中,并随即通过夹持机构将电子部件弹性夹 持在夹持尺寸的接收器中并在其中得到调准。接收器的扩大尺寸至接收器的夹持尺寸的转 变可发生在接收器的主平面中。接收器的主平面可与载体的主平面、电子部件的主平面、以 及调准夹具的主平面相匹配。可将载体放置在后加工机器中。当电子部件被夹持在接收器 中并在其中被调准时,电子部件可接受后加工机器的操作。该方法可进一步包括为载体设置识别特征或识别符,用于确切地(具体来说精 确、唯一或明确地)识别该载体。后加工机器可形成装配线。可将载体从一个后加工机器输 送至另一个后加工机器。在后加工期间,在工厂中对每个载体进行的唯一的识别使得能够 在工厂中追踪(具体来说是跟踪)每个载体的路线,并且使得能够追踪每个电子部件。由 此,可通过识别特征在装配线中追踪每个载体和每个电子部件。该方法可进一步包括为载体设置用于基准检测的基准标记。视觉系统与基准标记 或标志一起可在后加工机器中提供对于载体的位置和方位的检测。在需要对载体进行精确 调准从而例如标记或接触电子部件的操作过程中,这会是有利的。该方法可以包括利用第二邻接部调准电子部件,其中,可通过安装有第一邻接部 的弹性(具体来说是可伸缩的、回弹性的或有弹力的)单元(具体来说是用以执行一个具 体功能的一件设备或一组设备)以自作用的方式施加第一力。每一个第一邻接部分别可至少安装于其中一个指定的弹性单元。弹性单元可分别朝第二邻接部施加第一力。每一个第 二邻接部分别被指定给其中一个第一邻接部。可通过第二邻接部调准电子部件。该方法可进一步包括将两个分力施加在第一邻接部和第二邻接部中的至少一个 上,以使该邻接部对电子部件施加两个分力。后加工可包括在通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动电子部 件的同时进行激光打标。当电子部件被夹持在接收器中并在其中被调准时,电子部件可接 受激光打标工序。电子部件可具有与接触侧是否邻接底座支承部或者记号侧是否邻接底座 支承部无关的易于触及的记号侧。在接触侧与底座支承部邻接的情况下,记号侧暴露于接 收侧,并且可在不存在任何限制的情况下接受激光打标。在记号侧与底座支承部邻接的情 况下,接收器的底座支承部可在它们的中央具有进入开口,该进入开口仅延伸到远至电子 部件的边缘区域仍旧与底座支承部邻接。后加工可包括当通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动电子部 件时的老化测试。在老化测试中,电子部件、特别是半导体装置可受热预定的时间间隔(例 如经受高达200°C的温度持续不足一小时到长达数小时)。在老化测试期间,电子部件可通 过电流馈电另外接受功率测试,和/或电子部件可接受电子测试,用于测试电子部件的电 子质量。通过由诸如金属、热固性塑料或树脂之类的耐温材料制成载体,该载体可适于耐受 尚温。后加工可包括当通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动电子部 件时的烘烤过程。该烘烤过程可以是一种使电子部件在不存在任何电气测试或电力负载的 情况下受热预定的时间间隔(例如经受高达200°C的温度不足一小时到长达数小时)的过 程。利用耐温材料形成载体可使得该载体能够耐受烘烤过程,其中,电子部件在高温下持续 约一个小时。烘烤过程可用于降低电子部件上的电力负载,以便进一步继续进行最终测试。后加工可包括当通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动电子部 件时在处理机上的最终测试。具有多种实施方式的最终测试可以是在组装电子部件前执行 的测试。对诸如半导体装置之类的电子部件的最终测试可以是电子功能测试,并且可包括 各种物理测试条件,例如多种温度、压力、加速度和倾角的任意组合。由于载体由耐受机械 应力和温度应力的一种或多种材料制成,因此,载体可适于在这些变化条件下调准电子部 件,并且可适于允许接触电子部件的触点。在一种实施方式中,后加工并不包括在通过载体保持和调准电子部件并通过操作 该载体来移动电子部件的同时在处理机上的最终测试。在激光打标、老化或烘烤后,可紧接 着在电子部件上进行选择性打标。特别地,该后加工没有在通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动 电子部件的同时在处理机上进行的最终测试。后加工可包括在通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动电子部 件时的选择性打标。参照对于激光打标进行的说明,其对于例如激光打标之类的选择性打 标同样适用电子部件可具有与接触侧是否邻接底座支承部或者记号侧是否邻接底座支 承部无关的易于触及的记号侧,在接触侧与底座支承部邻接的情况下,记号侧暴露于接收 侧,并且可在不存在任何限制的情况下接受激光打标。在记号侧与底座支承部邻接的情 况下,接收器的底座支承部可在它们的中央具有开口,该开口延伸到远至电子部件的边缘区域与底座支承部邻接。在选择性打标后,放置在载体中的电子部件可选择性地标记出 " + (positive) ”、选择性地标记出“-(negative) ”或可全部标记“ + ”或者“_”。也可以是其 它类别(不同于“ + ”或“_”)。选择性打标还可包括指出电子部件的质量特征的标记,例如 表示用以操作半导体装置的最大频率的标记。可在无需将电子部件从载体上移除的情况下执行由激光打标、老化测试、烘烤、最 终测试和选择性打标构成的群组中的至少两个。换言之,可在电子部件在载体中保持调准 的同时执行这些或其它工序中的多个工序。该载体可适于耐受多种物理条件,并可在整个 或部分后加工中自始至终精确调准电子部件。由此,可在整个后加工或部分后加工期间,将 电子部件保持在载体中并在其中将其调准。在后加工之后,可在通过载体保持和调准电子部件的同时,通过将载体从后加工 机器上移除而将电子部件从后加工机器中移除。本发明的上述方面和其它方面通过在下文中将要进行描述的实施方式的示例而 变得显而易见,并且参照实施方式的这些示例对本发明的上述方面和其它方面进行了说 明。下面将参照实施方式的示例更为详细地描述本发明,但是本发明并不限于这些实 施方式的示例。
图1示出了根据本发明的示例性实施方式的载体的细节图,并且图2示出了根据 本发明的示例性实施方式的载体的概览图。图3示出了根据本发明的示例性实施方式的载体的分解图。图4示出了根据本发明的示例性实施方式的其上安装有四个电子部件的装配好 的载体的概览图。图5示出了根据本发明的示例性实施方式的载体的细节图,并且图6示出了根据 本发明的示例性实施方式的载体的概览图。图7示出了根据本发明的示例性实施方式的载体的细节图,并且图8示出了根据 本发明的示例性实施方式的载体的分解图。图9示出了根据本发明的示例性实施方式的其上安装有电子部件的装配好的载 体的概览图。图10示出了根据本发明的示例性实施方式的载体的细节图,并且图11示出了根 据本发明的示例性实施方式的载体的分解图。图12示出了根据本发明的示例性实施方式的载体的细节图,并且图13示出了根 据本发明的示例性实施方式的载体的分解图。图14和图15示出了根据本发明示例性实施方式的载体处于不同操作状态下的细 节图。
具体实施例方式图中所示是示意性的。在不同的图中,相似或相同的元件设有相同的附图标记。图1示出了根据本发明的示例性实施方式的调准夹具10的弹簧板110的细节。弹簧板110包括弹性单元41。图1中所示的调准夹具10形成了根据本发明的示例性实施方 式的载体100的一部分。图2中示出了该载体100的更大一部分。再次参照图1,此处所示的细节位于该载体100的拐角区域中。图1中所示细节 的尺寸基本上对应于调准夹具10。接收器20 (以虚线示意性地示出)可包括第一邻接部 31的第一部分32、第一邻接部31的第二部分34、第二邻接部51的第一部分52、第二邻接 部51的第二部分54和底座支承部71,或者可由它们限定。该底座支承部71在接收器20 的底侧延伸。第一邻接部31由第一部分32和第二部分34形成,该第一部分32与第二部 分34彼此成90°角,并且第一邻接部31是刚性构件。第二邻接部51由第一部分52和第 二部分54形成,该第一部分52与第二部分54彼此成90°角,并且第二邻接部51是刚性构 件。第一邻接部31和第二邻接部51从弹簧板110向上竖直地延伸或者凸出从而适于邻接 诸如封装电子芯片之类的电子部件1(参见图2)的侧面部分。底座支承部71具有靠近第 一邻接部31的部分和靠近第二邻接部51的部分。第一邻接部致动孔39适于通过销(未 示出)等致动以使弹性单元41处于预加应力的位置或被偏压的位置。弹性单元41包括第一弹簧元件42和第二弹簧元件44,其中,第一弹簧元件42和 第二弹簧元件44中的每一个分别从第一邻接部31朝第二邻接部51延伸,并且在接收器20 的底侧——即当电子部件1被接收在接收器中时位于电子部件1的下方——在其整个延伸 范围进行调准。示于图1中的弹性单元41的布置允许调准夹具10的设计节省空间。第一弹簧元件42和第二弹簧元件44并行延伸,从而形成弹性单元41。第一弹簧 元件42和第二弹簧元件44是镜像对称的。第一邻接部31呈L形,其从至少部分地形成底 座支承部71的板向上延伸。第一弹簧元件42和第二弹簧元件44在垂直于接收器20的主 平面的方向上是刚硬的,并且在平行于接收器20的主平面的方向上是可伸缩的。第一弹簧 元件42和第二弹簧元件44设置在接收器20的下方,并在俯视图中设置在接收器20之间 的空间中。第一弹簧元件42和第二弹簧元件44都是平面的并且呈多迂曲形状。第一弹簧元 件42和第二弹簧元件44分别以其一个端部固定地安装于第一邻接部,并且以其另一个端 部固定地安装于第二邻接部。第一弹簧元件42、第二弹簧元件44和底座支承板由一块板成 整体地形成。图2示出了包括带有若干调准夹具10的弹簧板110的载体100的细节。弹簧板 110包括调准夹具10。在四个调准夹具10中的每个调准夹具中,均放置有一个电子部件1。 电子部件1倒置在接收器20中,使得能够直接看到接触侧2和第一侧面部分5以及第二侧 面部分6。可在弹簧板110的一个侧部处安置诸如孔之类的基准元件118。图3示出了载体100的细节的分解图。该载体100包括弹簧板110,其可承载接收 器20并且其可指代弹性单元板。载体100另外包括可指代底座支承板的第二板120和可 指代接收板的第三板130。接收板130可包括接收开口 135,可经由该接收开口 135将电子 部件1接收在调准夹具10的接收器20中。在该视图中,可见到十二个接收开口 135。但 是,载体100可包括任意数量的接收开口 135以及对应数量的调准夹具10和接收器20。电 子部件1被示为倒置的,从而可直接看到接触侧2和第一侧面部分5以及第二侧面部分6。 可将基准元件118安置在每个板的侧部上,即安置在弹簧板110、第二板120和第三板130 的侧部上。
图4示出了载体100的细节的视图,该载体100可包括弹簧板110、第二板120和 第三板130。由于第三板130覆盖住弹簧板110和第二板120,因此仅可看到调准夹具10 的接收器20。再者,电子部件1被示为倒置的,从而可直接看到接触侧2和第一侧面部分5 以及第二侧面部分6。图5示出了描绘出接收器20的弹簧板110的细节的俯视图,该接收器20可以是 单独的构件且可以夹到弹簧板110上,并由此固定在弹簧板110处。弹簧板110可包括弹 性单元接收开口 114和弹性单元接收部90 (其还可表示为弹性单元紧固部)。该弹性单元 接收开口 114适于接收对应调准夹具10的完整的接收器20。弹性单元接收部90适于与 弹性单元固定件82 (例如销)以形式锁合的方式接合。第二邻接部51和弹性单元固定件 82—起形成刚性构件。由此,第二邻接部51固定地安装于弹簧板110。第一邻接部31经 由弹性单元41以可伸缩方式安装于第二邻接部51处。在其主要功能方面,接收器20的该 实施方式类似于图1中示出并论述的实施方式。图6示出了包括图5中所示细节的载体100的细节的俯视图。弹性单元板110包 括带有九个对应的弹性单元接收部90的九个弹性单元接收开口 114。四个调准夹具10设 有四个对应的接收器20。基准元件118可安置于弹簧板110的一个侧部处。图7示出了根据本发明的另一示例性实施方式的载体的细节的俯视图,该载体包 括第一弹性单元46和第二弹性单元48,该第一弹性单元46和第二弹性单元48适于接合电 子部件1的两个成角度的侧面部分。第一弹性单元46和第二弹性单元48以镜像对称的方 式设置。第二弹性单元48呈S性,并且第一迂曲部位于接收器20的下方。第二弹性单元 48的第二迂曲部位于接收器20的侧旁。在该实施方式中,载体可仅包括弹性单元板100, 即此处省略板120和130。接收器20可由以下部分形成通过第一弹性单元46以可伸缩的 方式安装的第一邻接部32 ;由第一部分52和第二部分54形成的第二邻接部51 ;通过另外 的弹性单元48安装的第三邻接部34 ;和形成用于支承电子部件1的主平面之一的支承部 的底座支承部71。由此,电子部件1的六个侧面中有五个侧面邻接接收器20的多个部。图8示出了载体100的关于图7中所示细节的分解图。载体100可包括弹簧板 110,该弹簧板110包括弹性单元46和所述另外的弹性单元48 (示于图7中)。可表示底座 支承板120的第二板120可具有进入开口 125,例如用以使得能够对倒置在接收器20中的 电子部件1进行激光打标,因此电子部件1的接触侧2是可见的。电子部件1可通过接收 板130的接收开口 135放置在接收器20上。图9示出了载体100的俯视装配图,其中,将弹簧板110、底座支承板120和接收板 130装配在一起。由于接收板130几乎完全覆盖住弹簧板110和底座支承板120,因此,可 识别接收板130。图示出了九个调准夹具10,并且一个调准夹具带有接收在一个接收器20 中的电子部件1。另外,还可见邻接电子部件1的第一侧面部分5的第三邻接部34。电子 部件1的第二侧面部分6邻接接收器20的第二邻接部51的第一部分54。致动部64是可 触及的以便被致动为扩大接收器20的尺寸而将第三邻接部34从电子部件的第一侧面部分 5移除。与致动部64成角度的另外的致动部62可邻接电子部件1的另一侧面部分。致动 部62和致动部64都是可触及的以便被致动,从而扩大接收器20的尺寸。图10示出了包括接收器20在内的单独的弹性构件的视图,并且图11在分解图中 示出了相应的载体100。图10的实施方式的接收器20与图7的实施方式的接收器20是非常相似的。由于单独的弹性构件具有固定件82,因此,可将该单独的弹性构件夹在图11中 所示的弹簧板110上,更确切地说,可通过将固定件82接合在凹部90中而将该单独的弹性 构件紧固于弹簧板110。弹簧板110可包括弹性单元接收开口 115和弹性单元接收部90。 弹性单元接收开口 115适于接收对应调准夹具10的整个接收器20。弹性单元接收部90适 于与弹性单元固定件82以形式锁合的方式(例如通过卡扣配合连接、夹子连接等)接合。 第二邻接部51与弹性单元固定件82共同形成刚性构件。由此,第二邻接部51固定安装于 弹簧板110。第一邻接部32经由第一弹性单元46以可伸缩的方式安装,并且第三邻接部 34经由第二弹性单元48以可伸缩的方式安装。第一弹性单元46具有第一致动臂64,该第 一致动臂64适于由销(未示出)等致动,以使第一弹性单元46进入到预加应力的位置或 被偏压的位置中。第二弹性单元48具有第二致动臂62,该第二致动臂62适于由销(未示 出)等致动,以使第二弹性单元48进入到预加应力的位置或被偏压的位置中。图11是图9中所示载体100的分解图,该载体100包括根据图10的单独的弹性 构件。载体100可包括第一板110,该第一板110可承载接收器20并可表示为弹性单元板。 载体100可另外包括可被表示为底座支承板的第二板120和可被表示为接收板的第三板 130。接收板130可包括接收开口 135,可通过该接收开口 135将电子部件1接收在调准夹 具10的接收器20中。在该视图中,可见到九个接收开口 135。但是,载体100可包括任意 数量的接收开口 135以及对应数量的调准夹具10和接收器20。电子部件1被示为倒置的, 因此可直接看到接触侧。可通过弹性单元接收部90将该单独的弹性构件A固定地插入至 弹簧板110的接收开口 115。图12示出了包括以可浮动方式安装的接收器20的调准夹具10。以可浮动方式安 装的框架27通过两个相对的弹性单元49以可浮动的方式安装。两个弹性单元49呈S形, 并且从外部部延伸至此处的可浮动的安装框架。由此,集成在可浮动安装的框架27中的接 收器20同样是可浮动的。设置在以可浮动方式安装的框架27上的调整单元28允许对以 可浮动方式安装的框架27进行微调,进而对接收器20进行微调。三个调整单元28可允许 在调准夹具10的主平面中对接收器进行微调。图13示出了完整的载体100的俯视示意图,该完整的载体100具有以4X 9调准夹 具矩阵形式设置的三十六个调准夹具。设置在载体100的边缘区域中的两个基准元件118 可用于调准载体100。图14和图15示出了载体100的细节的俯视图,其中,载体100包括以可滑动的方 式安装的弹簧板100,其通过板连接弹性单元154弹性地联接至弹性单元板框架111。弹性 单元板框架111固定安装在接收板130处。由此,通过弯曲板连接弹性单元154,弹簧板110 可相对于具有形成第二邻接部51的接收开口 135的接收板130滑动。经由弹性单元41安 装于弹簧板110处的第一邻接部31可相对于第二邻接部51滑动,该第二邻接部51形成为 接收板130的一个固定部分。由第一邻接部31和第二邻接部51形成的接收器20的接收 器开口 48可通过使弹簧板110相对于接收板130滑动而得以扩大。由于接收板130和弹 性单元板框架111可在固定孔208处被固定,因此弹簧板110可通过以致动力210接合弹 性单元致动孔258而相对于接收板130和弹性单元板框架111滑动。可施加反向力200以 克服致动力210的力而固定住载体100。在若干固定点156处,接收板130与弹性单元板框 架111可彼此固定联接。
参照图14,可指代接收板130的第二板130的第一板邻接部134与弹簧板110的 第二板邻接部114彼此邻接。间隔件257可适合于调节接收器开口 48的尺寸。当第一板 邻接部134与第二板邻接部114彼此邻接时,可获得由第一邻接部31与第二邻接部51所形 成的接收器的夹持尺寸。接收器开口 48的尺寸可小于待接收的电子部件1的尺寸,从而可 通过第一邻接部31和第二邻接部51夹紧电子部件1。弹簧板110与弹性单元板框架111 之间的间隔259可为间隔件257的尺寸。参照图15,示出了接收器开口 48的接收尺寸。弹簧板110与弹性单元板框架111 之间的间隔259扩大。因此,同样可将接收器开口 48的尺寸扩大至的一定尺寸,该尺寸使 得可将电子部件1接收在接收器20中,即接收在第一邻接部31与第二邻接部51之间的空 间中。应该注意的是,术语“包括”并不排除其它元件或步骤,并且“一”或“一个”并不排 除多个。同样,可将结合不同的实施方式描述的元件进行组合。还应该注意的是,权利要求 中的附图标记不应被理解为限制权利要求的范围。本发明的实施并不被限定于图中所示和 上文中所述的优选实施方式。相反,甚至是在根本不同的实施方式的情况下,利用根据本发 明所示出的解决方案和原理的多种变型也都是可能的。
权利要求
1.一种用于调准电子部件(2)的调准夹具(10),所述调准夹具(10)包括接收器(20),所述接收器(20)适于接收所述电子部件(2)并包括第一邻接部(31)和 第二邻接部(51),所述第一邻接部(31)经由弹性单元(41)安装,其中,所述第一邻接部(31)和所述第二邻接部(51)界定出将所述电子部件(2)接收在所述 接收器(20)中的电子部件接收容积;所述弹性单元(41)在所述电子部件接收容积的底侧的下方延伸;并且 所述弹性单元(41)适于提供用于将所述电子部件(2)夹持在所述第一邻接部(31)与 所述第二邻接部(51)之间的夹持力。
2.根据权利要求1所述的调准夹具(10),其中,所述第一邻接部(31)从其所安装的所述弹性单元(41)向上延伸,并且所述第一邻接 部(31)在所述电子部件接收容积的旁边延伸。
3.根据权利要求1或2所述的调准夹具(10),其中,所述第一邻接部(31)适于在所述电子部件(2)上施加第一力,并且所述第二邻接部 (51)适于在所述电子部件(2)上施加第二力,其中 所述第一力和所述第二力至少部分地彼此相对。
4.根据权利要求3所述的调准夹具(10),其中,所述第一邻接部(31)和所述第二邻接部(51)被调节成适于使得以平行于所述接收器 (20)的主平面的方式施加所述第一力和以平行于所述接收器(20)的主平面的方式施加所述第二力。
5.一种用于调准多个电子部件(2)的载体(100),其中,所述载体(100)包括多个根据权利要求1至4中任一项所述的调准夹具(10)。
6.根据权利要求5所述的载体(100),其中,所述接收器(20)中的每个接收器都具有至少一个指定的弹性单元(41)。
7.根据权利要求5或6所述的载体(100),其中,至少一个弹性单元(41)被指定给多个所述接收器(20)。
8.一种使用根据权利要求5至7中任一项所述的载体(100)的方法,其中, 所述方法包括-致动夹持机构以在所述接收器(20)中露出大于待接收的所述电子部件(2)的开口 ; -将所述电子部件(2)定位在所述接收器(20)中的所述开口中; -致动所述夹持机构以缩小所述开口的尺寸,使得在所述载体(100)的所述接收器 (20)内调准所述电子部件(2)。
9.根据权利要求8所述的方法,其中,所述方法包括 -将所述电子部件(2)放置在后加工机器中;-在所述电子部件⑵保持处在位于所述载体(100)的所述接收器(20)中的调准位置 的同时使所述电子部件(2)接受所述后加工机器的在后加工操作。
10.根据权利要求8或9所述的方法,其中,所述方法进一步包括-仅在所述电子部件(2)的侧面部分上通过所述夹持机构以弹性方式夹持所述电子部 件⑵。
全文摘要
根据本发明的示例性实施方式,提供了一种用于调准电子部件的调准夹具,其中,该调准夹具包括适于接收电子部件的接收器,并包括第一邻接部和第二邻接部,该第一邻接部经由弹性单元安装,其中,第一邻接部和第二邻接部界定出将电子部件接收在接收器中的电子部件接收容积,弹性单元在该电子部件接收容积的底侧的下方延伸,并且其中,弹性单元适于提供用于将电子部件夹持在第一邻接部与第二邻接部之间的夹持力。
文档编号G01R1/04GK101995493SQ20101025754
公开日2011年3月30日 申请日期2010年8月17日 优先权日2009年8月18日
发明者约翰·珀青格 申请人:综合测试电子系统有限公司