专利名称：一种ccd成像系统微调装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种CCD成像系统微调装置，尤其是涉及一种铬版膜针孔 微观缺陷自动检查仪CCD成像系统位置微调装置。
背景技术：
现有铬版膜针孔微观缺陷自动检査仪CCD成像系统微调装置，水平上下位置 微调机构，调整范围小，不能满足水平方向200mm调整范围的要求，且无法对 双镜头位置进行调整，制造成本高，并且不适合在半悬浮机械臂上安装使用， 没有移动量的数字直观显示功能，在多兼容规格下，水平位置调整困难。

实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有CCD(电荷耦合器)成像系统位置微调装置 存在的缺陷，提供一种可对CCD成像系统双镜头位置进行调整，且调整范围大， 制造成本底，适合在半悬浮机械臂上安装使用的CCD成像系统位置微调装置。
本实用新型的技术方案是其包括安装在底板上的1#CCD垂直调节器、直 线滑轨、水平调节丝杠、 一数显卡尺、安装在直线滑轨上的水平滑块和安装在 水平滑块上的2#CCD垂直调节器，所述lttCCD及2ttCCD两个垂直调节器外侧均 设有与CCD成像系统固定连接用的固定块，1#CCD及2#CCD两垂直调节器旁分别 设有轴承导向杆，所述水平调节丝杠外端设有水平位置调节帽；所述直线滑轨 与水平调节丝杠平行，直线滑轨上的水平滑块一端固定在水平调节丝杠滑块底 端面上，水平调节丝杆上方安装有数显卡尺，数显卡尺活动部分固定在水平调 节丝杠滑块上端面上；lftCCD及2ttCCD两垂直调节器保持在同一直线上；底板上 还设有铬版膜针孔微观缺陷自动检査仪悬臂安装位。
通过水平调节，数显卡尺可显示铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪2#CCD相 机与1#CCD相机的相对位置数据，方便兼容产品位置直观调整，提高效率。结 合CCD成像显示在铬版膜针孔微观缺陷自动检査仪LCD显示器上的画面对版面 边缘对焦，通过ltf及2ttCCD垂直调节器调节对版面参照点对焦，可调至最清晰 状态；
3本实用新型可对CCD成像系统双镜头位置进行精确调整，且调整范围大； 制造成本底。


图1为本实用新型一实施例的主视图。 图2为图1所示实施例的俯视图。 图3为图1所示实施例的左视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。
参照附图，本实施例包括安装在底板1上的1#CCD垂直调节器2、直线滑轨 10、水平调节丝杠7、水平调节数显卡尺9、安装在直线滑轨10上的水平滑块6 和安装在水平滑块6上的2#CCD垂直调节器3，所述1#CCD垂直调节器2外侧设 有与CCD成像系统固定连接的固定块5-1， 2#CCD垂直调节器3外侧设有与另一 套CCD成像系统固定连接的固定块5-2， 1#CCD垂直调节器2旁设有轴承导向杆 14-1， 2tfCCD垂直调节器3旁设有轴承导向杆II4-2， 2#CCD垂直调节器3和轴 承导向杆IH-2与水平滑块6连接；水平调节丝杠7外端设有水平调节帽8;直 线滑轨10与水平调节丝杠7平行，直线滑轨10上设有水平滑块6，水平滑块6 一端固定在水平调节丝杠7滑块底端面，水平调节丝杆7上方安装有数显卡尺9， 数显卡尺9活动部分固定在水平调节丝杠7滑块上端面，可与水平滑块6同步 移动，并时时显示移动量数据；底板1上部设有铬版膜针孔微观缺陷自动检查 仪悬臂安装位11; 1#CCD垂直调节器2和2ttCCD垂直调节器3保持在同一直线 上。
工作时，根据版面规格和设计数据，通过水平调节组调节帽结合数据显示 调整2#CCD的与1#CCD的相对位置；被测版面安放在设备台面上后，结合CCD 成像显示在LCD上的画面对版面边缘对焦，调整l、 2#CCD垂直调节组调节帽对 版面参照点对焦至最清晰状态。整个微调装置固定在机器人Y轴滑块上，根据 版面规格调整好双CCD(电荷耦合器)中心距后和焦距后，跟随ROBOT(机器人) 同步运动，对整个版面扫描。
权利要求1、一种CCD成像系统微调装置，其特征在于，包括安装在底板上的1#CCD垂直调节器、直线滑轨、水平调节丝杠、数显卡尺、安装在直线滑轨上的水平滑块和安装在水平滑块上的2#CCD垂直调节器，所述1#CCD及2#CCD两个垂直调节器外侧均设有与CCD成像系统固定连接用的固定块，1#CCD及2#CCD两垂直调节器旁分别设有轴承导向杆，所述水平调节丝杠外端设有水平位置调节帽；所述直线滑轨与水平调节丝杠平行，直线滑轨上的水平滑块一端固定在水平调节丝杠滑块底端面上，水平调节丝杆上方安装有数显卡尺，数显卡尺活动部分固定在水平调节丝杠滑块上端面上；1#CCD及2#CCD两垂直调节器保持在同一直线上；底板上还设有铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪悬臂安装位。
专利摘要一种CCD成像系统微调装置，其包括安装在底板上的1#CCD垂直调节器、直线滑轨、水平调节丝杠、一数显卡尺、安装在直线滑轨上的水平滑块和安装在水平滑块上的2#CCD垂直调节器，两CCD垂直调节器外侧均设有与CCD成像系统固定连接用的固定块，两CCD垂直调节器旁分别设有轴承导向杆，水平调节丝杠外端设有水平位置调节帽；直线滑轨与水平调节丝杠平行，直线滑轨上的水平滑块一端固定在水平调节丝杠滑块底端面上，水平调节丝杆上方安装有数显卡尺，数显卡尺活动部分固定在水平调节丝杠滑块上端面上；两CCD垂直调节器保持在同一直线上。本实用新型可对CCD成像系统双镜头位置进行精确调整，且调整范围大；制造成本低。
文档编号G01N21/88GK201331498SQ20092006519
公开日2009年10月21日 申请日期2009年4月30日 优先权日2009年4月30日
发明者武 陈 申请人:湖南通源机电科技有限公司