专利名称：探针框架及具有该探针框架的基板测试装置的制作方法
技术领域：
探针框架及具有该探针框架的基板测试装置技术领域[0001]本实用新型涉及液晶显示基板测试技术领域，尤其涉及用于对阵列基板上的薄 膜晶体管阵列电路进行测试的探针框架及具有该探针框架的基板测试装置。
背景技术：
[0002]在薄膜晶体管液晶显示面板(TFTLCD)的阵列(Array)工艺中，需要对形成在 阵列基板上的薄膜晶体管阵列电路进行测试，以确定其中是否存在短路、断路等不良。 如图1、图2所示，在测试中，液晶显示基板(以阵列基板为例，每个阵列基板用于形成 多个液晶显示面板)被放在基台1上，基台1两侧有分别各有一条电磁铁2，两条电磁铁 2外分别各有一条探针框架轨道3。探针框架的外框4的两侧边可放在两探针框架轨道3 上并被电磁铁2产生的磁力吸住，这两个侧边之间具有一根或多根细小的中间棒5，中间 棒5下侧可连接多根探针(Pin)(通常每个液晶显示面板需对应两根探针)，探针可与阵列 基板上的引线(如数据线、栅极线等)接头(Pad)相接触，通过与探针相连的导线(可位 于中间棒5内部，图中未示出)向引线接头施加电信号，即可对薄膜晶体管阵列电路进行 测试(或也可使用“短路棒”技术进行测试，此时探针框架中不需要引线)；该探针框架 可沿探针框架轨道3移动以对阵列基板的不同位置进行测试。[0003]发明人发现现有技术中至少存在如下问题为了能使探针与液晶显示基板上 的引线接头间保持足够大的接触力(若接触力不足可能导致接触电阻过大，影响测试结 果)，电磁铁2必须产生很大的吸力以将探针框架牢固吸引在探针框架轨道3上，但由于 电磁铁2只位于探针框架轨道3的侧部，故探针框架的外框4的两侧边会在电磁铁2的吸 引力作用下向内、向下移动而导致探针框架变形；而又因为中间棒5很细小且与外框4连 成一体，故在外框4变形时中间棒5会如图3所示拱起变形，从而导致部分探针不能与液 晶显示基板接触或与液晶显示基板接触不良。实用新型内容[0004]本实用新型的实施例提供一种探针框架，其可使探针与基板形成良好的接触。[0005]为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案[0006]一种探针框架，包括[0007]用于与探针框架轨道接触的外框；[0008]用于连接探针的中间棒；[0009]所述中间棒的两端部通过高度调整结构与所述外框连接，所述高度调整结构用 于沿所述探针框架的高度方向调整所述中间棒与外框的相对位置，在对基板进行测试时 所述探针框架的高度方向与所述基板的表面垂直。[0010]由于本实用新型的实施例的探针框架的中间棒通过高度调整结构与外框连接， 故其相对于探针框架的高度可调整，从而探针与基板间的距离也可调节，故可使探针与 基板形成良好的接触。[0011]本实用新型的实施例提供一种基板测试装置，其可使探针可与基板形成良好的 接触。[0012]为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案[0013]一种基板测试装置，其包括上述的探针框架。[0014]由于本实用新型的实施例的基板测试装置包括上述的探针框架，故其可使探针 与基板形成良好的接触。


[0015]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施 例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图 仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动 的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。[0016]图1为基板测试装置的基台、电磁铁、探针框架轨道的结构示意图；[0017]图2为现有的探针框架的结构示意图；[0018]图3为现有的探针框架的中间棒发生变形的原理示意图；[0019]图4为本实用新型实施例一的探针框架的结构示意图；[0020]图5为本实用新型实施例一的探针框架的外框、中间棒、龙骨分离时的局部结 构示意图；[0021]图6为本实用新型实施例一的探针框架的中间棒与外框的连接处的局部剖面结 构示意图；[0022]图7为本实用新型的另一实施例的探针框架的中间棒与外框的连接处的局部剖 面结构示意图；[0023]图8为本实用新型实施例二的探针框架的结构示意图；[0024]图9为本实用新型实施例二的探针框架的中间棒的端部的局部结构示意图；[0025]图10为本实用新型实施例二的探针框架的中间棒与外框的连接处的局部剖面结 构示意图；[0026]其中附图标记为1、基台；2、电磁铁；3、探针框架轨道；4、外框；5、中 间棒；6、第一调节螺丝；61、螺母；7、第一固定螺丝；71、环状结构；8、龙骨； 81、第一平面；9、第二调节螺丝；10、第二固定螺丝；11、凸出部；12、凹槽。
具体实施方式
[0027]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是 全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳 动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。[0028]本实用新型实施例提供一种探针框架，包括[0029]用于与探针框架轨道接触的外框；[0030]用于连接探针的中间棒；[0031]所述中间棒的两端部通过高度调整结构与所述外框连接，所述高度调整结构用于沿所述探针框架的高度方向调整所述中间棒与外框的相对位置，在对基板进行测试时 所述探针框架的高度方向与所述基板的表面垂直。[0032]由于本实用新型的实施例的探针框架的中间棒通过高度调整结构与外框连接， 故其相对于探针框架的高度可调整，从而探针与基板间的距离也可调节，故其可使探针 与基板形成良好的接触。[0033]实施例一[0034]本实用新型实施例提供一种探针框架，如图4、图5所示，其包括矩形外框4， 外框4的两条相对的侧边用于与探针框架轨道接触。中间棒5的两端部分别通过高度调 整结构连接在这两条侧边的下侧，该中间棒5的下表面用于连接多根探针。该高度调整 结构用于沿探针框架的高度方向调整中间棒5与外框4的相对位置(即调整中间棒5相对 于探针框架的高度)。其中探针框架的高度方向是指与外框4整体所在的平面垂直的方 向；也就是说，在对液晶显示基板进行测试时(即将探针框架放在探针框架轨道上时)该 高度方向应与基板(此处以液晶显示基板为例)的表面垂直；因此，高度调整结构实际可 以起到调整探针到液晶显示基板的距离的作用，从而保证探针能与液晶显示基板间形成 良好的接触。[0035]优选地，高度调整结构包括用于沿高度方向调整中间棒5与外框4相对位置的第 一调节螺丝6。更优选地，高度调整结构还包括用于将中间棒5与外框4相对固定的固定 机构，该固定机构优选为第一固定螺丝7(当然，中间棒5与外框4中应具有供这些螺丝 6、7穿过的孔)。而为了保证受力均勻，中间棒5的每一端部的高度调整结构优选都应 包括多个均勻分布的第一调节螺丝6和第一固定螺丝7。[0036]具体地，该第一调节螺丝6和第一固定螺丝7可为许多不同的形式，从而分别达 到调节和固定的目的。[0037]例如，可如图6所示，外框4中用于供第一调节螺丝6穿过的孔中无螺纹，中间 棒5中供第一调节螺丝6穿过的孔中具有与第一调节螺丝6匹配的内螺纹，从而通过旋转 第一调节螺丝6可调整外框4和中间棒5间的距离；而外框4和中间棒5中供第一固定螺 丝7穿过的孔中都具有与之匹配的内螺纹，从而当第一固定螺丝7同时穿入外框4和中间 棒5时，其可将外框4和中间棒5相对固定，而当第一固定螺丝7不同时穿入外框4和中 间棒5时，则可允许外框4和中间棒5相对运动。[0038]再如，也可如图7所示，外框4和中间棒5中供第一调节螺丝6穿过的孔中均无 螺纹，而在中间棒5下方具有与第一调节螺丝6匹配的螺母61，通过调节螺母61可调整 外框4和中间棒5间的距离，即限定外框4和中间棒5间的最大距离；而外框4中供第一 固定螺丝7穿过的孔中具有与其匹配的内螺纹，且第一固定螺丝7上还具有位于外框4和 中间棒5间的环状结构71，从而当该环状结构71降到与中间棒5上表面接触的位置时， 其即可限定外框4和中间棒5间的最小距离，从而将外框4和中间棒5相对固定(即将中 间棒5限定在螺母61和环状结构71之间)。[0039]显然，通过选择螺丝的类型(如螺栓、螺杆、螺钉、螺母等)、螺丝上外螺纹的 情况(如分布位置、方向、螺距等)，外框4和中间棒5的孔中内螺纹的情况(如分布位 置、方向、螺距等)等，还可得到许多不同具体形式的第一调节螺丝6和第一固定螺丝 7，在此不再一一列举。[0040]优选地，如图4、图5所示，在中间棒5的中部还具有用于抑止中间棒5变形的 变形抑止结构，该变形抑止结构优选包括刚性的龙骨8 (所谓刚性是指该龙骨8抵抗变形 的能力应高于中间棒5抵抗变形的能力)，该龙骨8的上表面为第一平面81，该第一平面 81用于与中间棒5相接触。更优选地，龙骨8通过变形抑止调整结构与中间棒5的中部 相连接，该变形抑止调整结构可用于沿探针框架的高度方向调整中间棒5与龙骨8的相对 位置，其优选具有与高度调整结构类似的结构，即由第二调节螺丝9和第二固定螺丝10 组成。由于变形抑止调整结构可调整中间棒5与龙骨8间的距离，故当中间棒5中部发 生拱起变形时，变形抑止调整结构可将中间棒5 “拉向”龙骨8的第一平面81，使其尽 量贴在第一平面81上，从而对中间棒5起到“矫直”作用，减小中间棒5的变形程度， 使中间棒5更平直，保证中间棒5上不同位置处的探针可同时与液晶显示基板形成良好的 接触。[0041]在要进行测试时，可将探针框架放在探针框架轨道上，并打开电磁铁，之后松 开第一固定螺丝7，用第一调节螺丝6将中间棒5调整到适当的位置(如比外框4低约2 毫米的位置)，再锁紧第一固定螺丝7;之后松开龙骨8上的第二固定螺丝10，调整第二 调节螺丝9使探针与液晶显示基板上的引线接头相接触，再锁紧第二固定螺丝10;给电 磁铁断电，观察探针框架是否发生异常变化，如没有则给电磁铁通电并进行电阻测试， 如电阻值不正常则继续重复上述调整过程，如电阻值正常则可开始正式测试。[0042]显然，本实施例的探针框架还可进行许多的变化。例如中间棒5也可连接在 外框上侧；龙骨8也可连接在中间棒5上侧；各调节螺丝6、9和固定螺丝7、10的位 置、数量、尺寸、具体形式等都可变化；调节螺丝6、9和固定螺丝7、10也可被调节固 定螺丝代替，固定调节螺丝可包括两段螺距不同的外螺纹，分别用于与中间棒5和外框 4(或中间棒5和龙骨8)的孔中的内螺纹匹配，从而当旋转调节固定螺丝时即可调整中间 棒5和外框4(或中间棒5和龙骨8)间的距离，而当该固定调节螺丝不动时又可将中间棒 5和外框4 (或中间棒5和龙骨8)相对固定。[0043]实施例二[0044]本实用新型实施例提供一种探针框架，其具有与实施例一的探针框架类似的结 构，区别在于[0045]第一、本探针框架的高度调整结构与实施例一的高度调整结构不同。如图8、图 9、图10所示，本探针框架的高度调整结构没有螺丝，而是包括设在中间棒5端部两侧壁 上的凸出部11，以及设在外框4上的用于容纳凸出部11的多个凹槽12，这些凹槽12沿 探针框架的高度方向分布在不同位置上，从而当中间棒5的凸出部11插入不同的凹槽12 时即可在高度方向上调整中间棒5与外框4的相对位置。[0046]第二、本探针框架的变形抑止结构中只有龙骨8而没有变形抑止调整结构，该 龙骨8与中间棒5直接固定连接(如焊接)。当然，本实施例的龙骨结构也可用于实施例 一的探针框架中。[0047]显然，本实施例的探针框架还可进行许多的变化。例如凸出部11和凹槽12 的位置可互换，即凸出部11设在外框4上，而凹槽12设在中间棒5端部的两侧壁上；凸 出部11可位于中间棒5的端部的端面上(凹槽12的位置也要相应变化)；凸出部11和 凹槽12的具体形状、数量等都可变化。[0048]显然，上述各实施例的探针框架中的高度调整结构也可为其它任何形式；但只 要探针框架的中间棒通过高度调整结构与外框相连，即属于本实用新型的保护范围。[0049]本实用新型实施例提供一种基板测试装置，其包括上述的探针框架。[0050]由于本实用新型的实施例的基板测试装置包括上述的探针框架，故其可使探针 与基板形成良好的接触。[0051]实施例三[0052]本实用新型实施例提供一种基板测试装置(如液晶显示基板测试装置)，其包括 用于放置液晶显示基板的基台，在基台的两侧边外分别各有一条电磁铁，在两电磁铁外 侧分别各有一条探针框架轨道，在探针框架轨道上放置有如上述任意一个实施例所述的 探针框架。[0053]显然，本实用新型实施例的基板测试装置还可进行许多变化。例如中间棒可 与探针固定连接，也可为可拆卸连接；中间棒内可有导线，也可没有；基板测试装置还 可包括用于驱动探针框架沿探针框架轨道运动的驱动机构等。[0054]本实施例的基板测试装置可用于对阵列基板上的薄膜晶体管阵列电路进行测 试，尤其用于对制造小尺寸液晶显示面板用的阵列基板(此时一个阵列基板要形成的液 晶显示面板的数量较多，故所需的探针数量也多，更易于发生探针接触不良)进行测 试。当然，本实施例的基板测试装置也可用于对其它类型的基板进行测试。[0055]以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局 限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到 的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围 应以所述权利要求的保护范围为准。
权利要求1.一种探针框架，包括用于与探针框架轨道接触的外框； 用于连接探针的中间棒； 其特征在于，所述中间棒的两端部通过高度调整结构与所述外框连接，所述高度调整结构用于沿 所述探针框架的高度方向调整所述中间棒与外框的相对位置，在对基板进行测试时所述 探针框架的高度方向与所述基板的表面垂直。
2.根据权利要求1所述探针框架，其特征在于，所述高度调整结构包括用于沿所述探 针框架的高度方向调整所述中间棒与外框的相对位置的第一调节螺丝。
3.根据权利要求2所述探针框架，其特征在于，所述高度调整结构还包括用于将所述 中间棒与所述外框相对固定的固定机构。
4.根据权利要求3所述探针框架，其特征在于，所述固定机构为第一固定螺丝。
5.根据权利要求1所述探针框架，其特征在于，所述高度调整结构包括 至少两个在所述探针框架的高度方向上处于不同位置的凹槽；用于插入所述凹槽中的凸出部；且所述高度调整结构还满足下列两条件中的一个所述凹槽位于所述中间棒端部的侧壁上，所述凸出部位于所述外框上；所述凸出部位于所述中间棒端部的侧壁上，所述凹槽位于所述外框上。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述探针框架，其特征在于，还包括连接在所述中 间棒中部的变形抑止结构。
7.根据权利要求6所述探针框架，其特征在于，所述变形抑止结构包括刚性的、具有 用于与中间棒接触的第一平面的龙骨。
8.根据权利要求7所述探针框架，其特征在于，所述龙骨通过变形抑止调整结构与所 述中间棒的中部相连接，所述变形抑止调整结构用于沿所述探针框架的高度方向调整所 述中间棒与龙骨的相对位置。
9.根据权利要求8所述探针框架，其特征在于，所述变形抑止调整结构包括用于沿所述探针框架的高度方向调整所述中间棒与龙骨的相对位置的第二调节螺丝；用于将所述龙骨与所述外框相对固定的第二固定螺丝。
10.—种基板测试装置，其特征在于，包括如上述权利要求1至9中任意一项所述的 探针框架。
专利摘要本实用新型提供一种探针框架及具有该探针框架的基板测试装置，属于液晶显示基板测试技术领域，其可解决现有的探针框架不能使探针与基板形成良好接触的问题。本实用新型的探针框架包括用于与探针框架轨道接触的外框；用于连接探针的中间棒；中间棒的两端部通过高度调整结构与外框连接，高度调整结构用于沿探针框架的高度方向调整中间棒与外框的相对位置，在对基板进行测试时探针框架的高度方向与基板的表面垂直。本实用新型的基板测试装置包括上述探针框架。本实用新型可用于对阵列基板上的薄膜晶体管阵列电路进行测试。
文档编号G01R1/067GK201812111SQ201020574838
公开日2011年4月27日 申请日期2010年10月18日 优先权日2010年10月18日
发明者李毅楠, 杨威, 白国晓, 黄雄天 申请人:北京京东方光电科技有限公司