专利名称：支持电子装置测试的处理机的载板传送系统及在处理机室中传送载板的方法
技术领域：
本发明涉及一种支持电子装置测试的处理机，尤其是涉及一种传送载板的技术。
背景技术：
用于支持测试器测试电子装置的处理机有很多种，例如支持封装状态的半导体装 置测试的处理机、支持模块随机存取内存(RAM)测试的处理机等。处理机一般使其上装载多个电子装置的载板(包含测试托盘)在预设循环路径上 循环，藉以测试装载在载板上的电子装置。预设循环路径上有测试位置，载板上的电子装置 在此电连接测试器，然后进行测试。电子装置在人为预置测试条件下经同化(assimilated)及测试。故处理机依测试 条件施加应力至电子装置，接着电连接电子装置和测试器。为此，处理机包括腔室，用于依 测试条件施加应力至电子装置及隔绝外部空气的热，如此电子装置可在维持施予电子装置 的应力的环境中被测试。处理机可包括多个腔室。例如，具有施加温度应力至电子装置功能的处理机包括 均热室(soak chamber)、测试室和除热室(de-soak chamber) 0在载板传送到测试位置前， 均热室预先加热/预先冷却电子装置。测试室维持电子装置于均热室预先加热/预先冷却 的温度及进行测试。除热室使从测试室传递来的载板上的电子装置温度恢复成接近室温。 均热室亦称为预热室、加热室、结霜室、预热器等。除热室亦称为恢复室、冷却室、除霜室、除 霜器等。多份文件已刊载此技术。这样，当处理机被构造成包括腔室时，腔室内部变成载板循环路径的一部分。故处 理机需要传送载板通过腔室内部的方法，并设置适用此方法的传送系统。

发明内容
技术问题传送腔室内部的载板的方法和载板传送系统等相关技术在下述文件中公开名称 为“模块IC处理机室(CHAMBER OF MODULE IC HANDLER) ”的第10-0277539号韩国专利， 被称为公知技术1 ；“名称为“处理机冷却室中的测试托盘传送设备(TEST TRAY TRANSFER APPARATUS IN HANDLERCOOLING CHAMBER) ” 的第 10-0313007 号韩国专利，被称为公知技 术2 ；名称为“侧入坞型测试处理机和传送其测试托盘的设备(SIDE D0CKING-TYPETEST HANDLER AND APPARATUS FOR TRANSFERRING TEST TRAY FORTHE SAME) ” 的第 10-0771475 号韩国专利，被称为公知技术3 ；名称为“用于半导体装置的测试处理机的测试托盘传送设 备(TEST TRAY TRANSFERAPPARATUS OF TEST HANDLER FOR SEMICONDUCTOR DEVICES)” 的 第10-0771475号韩国专利号、被称为公知技术4。公知技术1是关于在腔室内逐步传送载板的方法和系统。在公知技术1中，载板 被称为承载件。公知技术1所述的逐步传送载板的方法只是一般传送腔室内部的载板的方
4法。在此，“逐步”是指停止传送载板时，各传送操作间有传送停止时间周期。此传送停止时 间周期与装载电子装置到载板的时间周期、测试载板上的电子装置的时间周期和自载板卸 载电子装置的时间周期无关。公知技术1中公开的技术在传送载板时应当确保传送停止时间周期，因此载板的 传送被延迟所述停止时间周期。故在需要循环时间周期很短的情况下，公知技术1在加快 载板传送速度和整体循环速度的能力方面有限。需要循环时间周期很短的情况是指测试条 件所需的电子装置的状态应在短时间内抵达腔室内部，又因测试时间周期相对短，故应快 速循环传送载板。特别地，公知技术1的缺点为，尽管二个载板(前一载板与下一载板)间没有载 板且前一载板与下一载板间尚有空间放置载板，但仍无法传送及放置下一载板靠近前一载 板，这造成载板传送速度和整体循环速度增加有限。在公知技术2中，传送系统按如下方式操作在降低的操作中可接收新载板，同时 传送前一载板(公知技术2称之为托盘)，然后执行接着的针对新的较低载板(即下一载 板)的传送操作，以将其放置为靠近前一载板。然而，此传送系统在各传送操作间仍有传送 停止时间周期，这也会造成公知技术1的问题。公知技术3和4试图解决公知技术1和2的问题，即消除传送停止时间周期。在公知技术3中，由于环状轨道单元将载板(公知技术3称之为测试托盘)传送 到传送终点且无传送停止时间周期，故此系统可加快载板传送速度和整体循环速度。然而公知技术3的系统仍有缺点，即当现位于环状轨道单元最低侧的拾取放置单 元拾取在循环路径上循环的前一载板，且垂直姿态改变设备无法运转时，若托盘放置设备 提供接着前一载板在循环路径上循环的下一载板至现位于环状轨道单元最高侧的拾取放 置单元，则不可能收集在沿循环方向上相邻的前一载板和下一载板。故公知技术3的系统 对载板传送速度和整体循环速度的增加有限。在此，收集在循环方向上彼此相邻的前一载 板和下一载板是指前一载板留在其目前位置，而下一载板事先传送到靠近前一载板的位 置。在公知技术4中，系统被配置为使载板(公知技术4称之为测试托盘)因传送棒 旋转而移动，并且依据控制伺服马达的方法可产生或不产生传送停止时间周期。然而公知技术4的系统仍有公知技术3的问题。技术方案为解决上述问题，本发明提出进行逐步传送操作的载板传送系统和方法，同时根 据条件消除传送停止时间周期，并收集在腔室内彼此相隔且在载板传送方向上彼此接近的 载板。根据本发明的示例性实施例，本发明提出一种传送在支持电子装置测试的处理机 中的载板的系统，包含传送设备，用于选择性传送位于传送起始位置的载板到至少一个或 多个中间传送位置和传送最终位置之一；以及至少一个或多个支撑设备，用于支撑或松开 位于所述至少一个或多个中间传送位置的载板。优选地，系统还包括引导设备，用于引导传送到传送起始位置的载板及支撑或松 开位于传送起始位置的载板。优选地，系统还包括维持设备，用于托住位于传送最终位置的载板。
优选地，系统还包括支撑板，固定于系统，用于支撑载板的一个边缘部分。支撑设 备包含支撑构件，用于支撑或松开载板的另一个边缘部分；以及搬动器，用于沿着接近或 远离载板的方向移动支撑构件。优选地，若系统具有多个支撑设备，则支撑设备被独立且对应地操作。优选地，传送设备包含至少二个或多个拾取单元，用于拾取或松开载板；以及传 送单元，用于沿着载板的传送方向传送所述至少二个或多个拾取单元，以使由所述至少二 个或多个拾取单元所拾取的载板可选择性传送到所述至少一个或多个中间传送位置和传 送最终位置之一。优选地，拾取单元包括拾取轴，其具有沿着载板传送方向的相对较长的长度；以 及驱动源，用于在一定角度范围内顺向或逆向转动拾取轴。拾取轴被构造成其一端结合到 驱动源，另一端包括至少一个或多个拾取端，所述至少一个或多个拾取端突出来支撑载板 的边缘部分或转角。优选地，传送单元包括螺杆轴，其具有沿着载板传送方向的相对较长的长度 ’马 达，用于在一定角度范围内顺向或逆向转动螺杆轴；以及联结板。联结板以螺旋方式连接螺 杆轴，且根据螺杆轴的转动沿着载板的传送方向往复移动。此外，所述至少二个或多个拾取 单元连接至联结板。根据本发明的另一示例性实施例，本发明提出一种传送在支持电子装置测试的处 理机室内的载板的方法，包含选择性传送位于传送起始位置的载板到至少一个或多个中 间传送位置和传送最终位置之一。若前一个载板位于传送最终位置，则下一个位于传送起 始位置的载板则会传送到所述至少一个或多个中间传送位置。优选地，沿着垂直于载板的装载表面的方向传送载板，在该装载表面上装载有电 子装置。根据本发明又一示例性实施例，本发明提出一种支撑在支持电子装置测试的处 理机中的载板的设备，包含第一支撑部，用于支撑或松开载板的一个边缘部分；第二支撑 部，用于支撑或松开载板的另一个边缘部分。在此，第二支撑部包含支撑构件，用于支撑 载板的另一个边缘部分；以及搬动器，用于沿着接近或远离载板的方向移动支撑构件。搬 动器包含转轴，其具有沿着载板传送方向的相对较长的长度；转动构件，其一端固定于转 轴，且另一端系可旋转地结合到支撑构件，其中该另一端相应转轴的转动相对该一端旋转； 以及驱动源，用于以往复运动的形式在一定角度范围内顺向或逆向转动转轴。优选地，搬动器还包括辅助单元，用于协助支撑构件根据转轴的转动而平衡地移 动。有益效果如前所述，由于根据本发明的系统可根据条件具有或不具有传送停止时间周期， 并可收集在腔室内相隔且载板循环方向上相邻的载板，故其具有下列功效第一，其可加快载板传送速度和整体循环速度。第二，其可控制载板传送速度，进而根据测试条件快速或缓慢地传送载板。


通过下面结合附图进行的详细描述，本发明的特征和优点将变得更加明显，其中图1为示出了应用了根据本发明第一实施例的载板传送方法的腔室的示意性透 视图；图2为示出了根据本发明第一实施例的载板传送系统的示意性透视图；图3为示出了适用于图2的载板传送系统的引导设备的主要部分的透视图；图4和5为示出了图3的引导设备的操作状态的视图；图6为示出了适用于图2的载板传送系统的传送设备的主要部分的透视图；图7-10表示示出了图6的传送设备的操作状态的视图；图11为示出了适用于图2的载板传送系统的第一支撑设备和第二支撑设备的主 要部分透视图；图12为示出了图11的第一支撑设备的主要部分的透视图；图13为根据本发明一个实施例的载板传送系统的维修特征的视图；图14为示出了图6的传送设备的应用示例的示意图；图15示出了在图14中示出的传送设备的操作状态的视图；图16为示出了应用根据本发明第二实施例的载板传送方法的腔室的示意性透视 图；图17为示出了根据本发明第二实施例的载板传送系统的示意性透视图；图18为示出了适用于图17的载板传送系统的传送设备的主要部分的透视图；图19为示出了除了图17中示出的载板传送系统的传输设备以外的部分的透视 图；以及图20-23表示示出了图17中示出的载板传送系统的操作的视图。主要组件符号说明2000 载板传送系统2100:引导设备2200 传送设备2300 第一支撑设备2400 第二支撑设备2500 维持设备
具体实施例方式以下将参照附图详细说明支持测试电子装置的处理机的载板传送系统(简称传 送系统)和传送在支持电子装置的测试的处理机的室内的载板的方法(简称传送方法)实 施例。重复的组件将不再赘述，以免浑淆本发明的主题。〈实施例1>图1显示了腔室CH，在此，载板CB顺着箭头指示的传送流程Fw在传送部分被传 送，且保持水平状态。参照图1，载板CB进入腔室CH的前侧壁Fr的上部及并就位于传送起始位置S。根 据本发明的系统开始自传送起始位置S传送载板CB。即，传送系统开始从传送起始位置S 传送载板CB，降低载板CB以通过第一中间位置M1和第二中间位置M2,将载板停放在传送最终位置E，在此终止传送载板CB。载板CB从传送最终位置E经由腔室CH的右侧壁Ri的下 部被输出到外面。为沿着图1中所示的传送流程Fw传送载板CB，腔室CH包括在其前侧壁Fr的上部 的入口，在其右侧壁Ri的下部的出口。入口被实现为设置成由门(未显示)打开或关闭。 载板CB从入口进入并由出口离开。出口可被实现成由门打开或关闭。然而，若另一腔室正好被安装为邻近腔室CH 旁，则腔室CH的出口最好不设置门。载板CB由非为本发明的传送系统的传送设备的部分的其它传送系统输入入口及 从出口输出。由于这些传送设备被广为人知，故不在本申请中进行说明。图2为示出载板传送系统2000的透视图，该载板传送系统2000用于传送图1的 腔室CH内的载板CB。如图2所示，根据本发明实施例的传送系统2000安装在腔室CH的内部和外部。传 送系统2000被构造为包括引导设备2100、传送设备2200、第一支撑设备2300、第二支撑设 备2400和维持设备2500。1.引导设备2100引导设备2100从腔室CH外部引导载板CB至腔室CH中的传送起始位置S，接着在 传送起始位置S处，或自该位置支撑或松开载板CB。为此，如图3所示，引导设备210被构 造成包括用于引导及支撑载板CB左侧的第一导轨部2110和用于引导及支撑载板CB右侧 的第二导轨部2120。第一导轨部2110和第二导轨部2120位于引导设备2100的相对两侧 (左侧和右侧)。第一导轨部2110包括第一导杆2111和第一间隔调节器2112。第一导杆2111引导现进入的载板CB左侧及支撑位于传送起始位置S的载板CB 左侧，以防载板掉落。第一导轨部2110具有朝左边方向伸出的联结端2111a。第一间隔调节器2112能让第一导杆2111支撑或松开载板CB的左侧。第一间隔 调节器2112被构造成包括间隔调节轴2112a、间隔调节构件2112b、驱动源2112c和辅助单 元 2112d。间隔调节轴2112a在沿着载板CB的传送方向(即上下方向)上具有较长的长度。 驱动源2112c在一定角度范围内顺向或逆向转动间隔调节轴2112a，驱动源2112c的上端被 安装到腔室CH的顶侧壁To。间隔调节构件2112b被构造成其左端固定至间隔调节轴2112a的下端或与间隔调 节轴2112a的下端一体地形成，其右端可旋转地结合到联结端2111a。当驱动源2112c操作 使间隔调节轴2112a顺向或逆向转动时，间隔调节构件2112b的右端亦相对间隔调节构件 2112b的左端顺向或逆向转动一定角度。驱动源2112c安装到腔室CH的顶侧壁To外面。驱动源2112c在一定角度范围内 顺向或逆向转动间隔调节轴2112a。在本发明的实施例中，驱动源2112c采用马达，然应理 解本发明不限于此实施例。例如，驱动源可用汽缸实现。辅助单元2112d协助第一导杆2111根据间隔调节轴2112a的转动而平衡地移动。 辅助单元2112d被构造成包括辅助轴2112d-l和辅助构件2112d-2。辅助轴2112d-l被构造成平行于间隔调节轴2112a并与之相隔一定距离，且其上端可选转地结合到腔室CH的顶侧壁To。辅助构件2112d-2对应于间隔调节构件2112b，并被构造成其左端被固定于辅助 轴2112d-l的下端，右端则可旋转地结合到第一导杆2111的联结端2111a。第二导轨部2120被构造成包括第二导杆2121和第二间隔调节器2122。第二导杆2121引导现进入的载板CB右侧，且在载板CB进入后支撑位于传送起始 位置S的载板CB右侧，以防载板掉落。第二间隔调节器2122能让第二导杆2121支撑或松开载板CB的右侧。第二间隔 调节器2122包括被安装为彼此相隔一定距离的一对汽缸2122a、2122b。该对汽缸2122a、2122b被构造成其汽缸体2122a_l、2122b_l被安装到腔室CH的 右侧壁Ri外面，且其活塞杆2122a-2、2122b-2延伸穿过腔室CH的右侧壁Ri并结合到第二 导杆2121。在本发明的实施例中，虽然第二导轨部2120相对于第一导轨部2110以更简单 的方式构造，但应理解二者可根据腔室CH右侧壁的使用状态、载板CB的传送方式、腔室CH 的右部空间所安装的其它设备的构造等而具有相同的构造。以下将描述引导设备2100的操作。图4和图5为从顶部看到的示出了图3的引导设备2100的操作状态的视图。如图4所示，在第一和第二导杆2111、2121的间距(I1缩减(即窄)的状态，载板 CB由第一导杆2111和第二导杆2121引导，然后放到传送起始位置。接着，如图5所示，当载板CB由下面将描述的传送设备2200支撑时，驱动源2112c 操作以顺向(参见箭头方向)转动间隔调节轴2112a，使传送设备2200降低载板CB，而一对 汽缸2122a、2122b操作以拉回活塞杆2122a-2、2122b-2，使第一导杆2111和第二导杆2121 的间距d2变宽而解除对载板CB的支撑。此外，传送设备2200自传送起始位置S降低载板CB，汽缸2122a、2122b和驱动源 2112c反向操作以引导及支撑在载板CB之后的载板CB，接着缩短第一和第二导杆2111、 2121的间距，使图5的状态变成图4的状态。2.传送设备2200传送设备2200将载板CB自传送起始位置降至传送最终位置。为此，如图6所示， 传送设备2200包括位于其前侧的一对拾取单元2211、2212、位于其后侧的一对拾取单元 2213、2214、和传送单元2220。四个拾取单元2211、2212、2213、2214分别对应地包括拾取轴2211a、2212a、 2213a、2214a和驱动源2211b、2212b、2213b、2214b。传送单元2220包括螺杆轴2221、马达 2222和联结板2223。拾取轴2211a、2212a、2213a、2214a在垂直方向上具有相对较长的长度，并且延伸 穿过腔室CH的顶侧壁To。它们的下端分别对应地具有拾取端2211a-l、2212a-l、2213a-l、 2214a-l，这些拾取端突出形成以支撑载板CB的边缘部分或转角。驱动源2211b、2212b、2213b、2214b被安装为结合到位于腔室CH上侧的联结板 2223。驱动源在一定角度范围内顺向或逆向转动与之相连的拾取轴2211a、2212a、2213a、 2214a。在本发明的实施例中，尽管驱动源2211b、2212b、2213b、2214b采用马达，然而应理 解其也可采用汽缸。当拾取轴2211a、2212a、2213a、2214a根据驱动源2211b、2212b、2213b、 2214b操作而顺向或逆向转动时，拾取端2211a-l、2212a-l、2213a-l、2214a-l也根据拾取轴的转动顺向或逆向旋转，使拾取端得以支撑或松开载板CB。虽然根据本发明的实施例的传送设备2200包括两对拾取单元，即四个拾取单元， 其各具有拾取端，但应理解，若拾取端有相当长的长度来托住载板CB的边缘部分，则传送 设备2200可只由位于其前侧和后侧一对拾取单元实现。又应理解，若拾取端有相当宽的面 积来托住载板CB，则传送设备2200可只由位于其左侧和右侧的一对拾取单元来实现。螺杆轴2221沿着载板CB的传送方向具有相对较长的长度，且被构造为其下端可 旋转地结合到腔室CH的顶侧壁To，上端结合到马达2222并根据马达2222的转动旋转。马达2222固定于处理机的上框架HP，并顺向或逆向转动螺杆轴2221。优选地，马 达2222采用伺服马达，藉以精确控制转动量。联结板2223被构造成其前侧和后侧的端部都结合到拾取单元2211、2212、2213、 2214的驱动源2211b、2212b、2213b、2214b，且其中心具有螺纹孔2223a供螺杆轴2221延伸穿过。当马达2222顺向或逆向转动时，螺杆轴2221亦随之旋转，使得联结板2223上升 或下降。故两对拾取单元2211、2212、2213、2214也随着联结板2223上升或下降。以下将详述传送设备2200的操作和传送载板CB的方法。如图7所示，当引导设备2100支撑传送起始位置S的载板CB时，传送单元2220 抬高拾取单元2211、2212、2213、2214。随后，拾取单元2211、2212、2213、2214抬高及拾取传 送起始位置S的载板CB，接着引导设备2100操作来放开载板CB。然后，当传送单元2220反向操作降低拾取单元2211、2212、2213、2214时，如图 8-10所示，拾取单元让载板CB选择性降至第一中间传送位置M1、第二中间传送位置M2和传 送最终位置E之一。例如，若载板CB在第二中间传送位置M2和传送最终位置E之前传递，则按照图8 进行传送，此称为示例1。若载板CB仅在传送最终位置E之前传递，则按照图9进行传送， 此称为示例2。若在第一和第二中间传送位置M”M2和传送最终位置E之前都无载板CB传 递，则按照图10进行传送，此称为示例3。如图6所示，由于传送单元2220根据在下一载板CB之前传送的前一载板CB的位 置，将下一载板CB降低一定高度，因此在第一中间传送位置M1或第一中间传送位置M1和第 二中间传送位置M2处不需要传送停止时间周期，如同示例2、3所述。S卩，传送单元2220可 将某一传送起始位置的载板CB传送到某一传送最终位置，而不需停止。此外，当载板CB位于腔室CH内且彼此相隔时，图6的传送单元2220将前一载板 CB保持在目前位置并沿着前一载板CB的传送方向传送下一载板CB，如同示例1、2所述。因 此，传送单元2220可沿着传送方向收集腔室CH内相隔的载板CB。另外，若载板CB位于第一中间传送位置M1和第二中间传送位置M2和传送最终位 置E，则载板CB经由出口(参见图1)从传送最终位置E输出到外面，图6的传送单元2220 接着将第二中间传送位置M2的载板CB传送到传送最终位置E，并将第一中间传送位置M1的 载板CB传送到第二中间传送位置M2。3.支撑设备 2300、2400如图11所示，第一支撑设备2300支撑或松开位于第一中间传送位置M1的载板CB， 第二支撑设备2400亦支撑或松开位于第二中间传送位置M2的载板CB。第一支撑设备2300和第二支撑设备2400独立操作以实现本发明的目的。然而，因第一支撑设备2300和第二 支撑设备2400的构造和操作相同，故以下仅说明第一支撑设备2300。参照图12，第一支撑设备2300支撑或松开第一中间传送位置M1的载板CB。为此， 第一支撑设备2300包括支撑载板CB前缘部分的第一支撑部2310和支撑载板CB后缘部 分的第二支撑部2320，在此，第一支撑部2310和第二支撑部2310、2320位于第一支撑设备 2300的相对两侧(前侧和后侧)。第一支撑部2310包括第一支撑构件2311和第一搬动器2312。第一支撑构件2311支撑位于第一中间传送位置M1的载板CB前缘部分，以防载板掉落。第一搬动器2312能让第一支撑构件2311支撑或松开载板CB的前缘部分。第一 搬动器2312包括彼此隔开一定距离的一对汽缸2312a、2312b。汽缸2312a、2312b被构造成其汽缸体2312a_l、2312b_l安装到腔室CH的前侧壁 Fr外面，其活塞杆2312a-2、2312b-2分别延伸穿过腔室CH的前侧壁Fr并结合到第一支撑 构件2311。第二支撑部2320包括第二支撑构件2321和第二搬动器2322。第二支撑构件2321支撑位于第一中间传送位置M1的载板CB后缘部分，以防载板 掉落。第二支撑构件2321包括朝后方伸出的联结端2321a。第二搬动器2322能让第二支撑构件2321支撑或松开载板CB的后缘部分。第二 搬动器2322包括转轴2322a、转动构件2322b、驱动源2322c和辅助单元2322d。转轴2322a沿着载板CB的传送方向的长度较长，其上端由安装到腔室CH的顶侧 壁To的驱动源2322c在一定角度范围内顺向或逆向转动。转动构件2322b被构造为其后端固定到转轴2322a的下端或与转轴2322a的下端 一体第形成，其前端可旋转地结合到第二支撑构件2321的联结端2321a。当驱动源2322c 操作使转轴2322a顺向或逆向转动时，其前端亦作为转轴相对其后端在一定角度内顺向或 逆向转动。驱动源2322c安装到腔室CH的顶侧壁To外面，并在一定角度范围内顺向或逆向 转动转轴2322a。辅助单元2322d协助第二支撑构件2321以根据转轴2322a的转动平衡地移动。辅 助单元2322d的构造和操作与引导设备2100的辅助单元2112d相同，故省略对其特征的详 细描述。由于第一支撑设备2300和第二支撑设备2400的操作实质上与上述弓丨导设备2100 相同，故不再赘述。4.维持设备2500维持设备2500支撑传送最终位置E的载板CB。如图2所示，其包括托住载板CB 前缘部分的第一维持部2510和托住载板CB后缘部分的第二维持部2520。维持设备2500可形成为用来托住载板CB。虽然本发明被实现为包括维持设备 2500，但也可修改部分腔室CH底面，使其突出来托住载板CB，而不利用维持设备2500。因 维持设备2500亦可单独制备，故根据本发明，此非传送系统2000的必要组件。5.维修相关的特征的说明
若腔室CH内发生拥塞的情形，则需将载板CB自腔室CH内强迫送出。发生拥塞时，可从腔室CH的前侧壁Fr上的入口强迫移出引导设备2100所支撑的 载板CB。在此例子中，腔室CH最好具有门来打开其整个左侧壁Le，如第2图所示。若另一 腔室邻接腔室CH右侧，则第一支撑设备2300和第二支撑设备2400与维持设备2500所支 撑的载板CB应经由腔室CH的左侧壁Le离开。该构造意味着第一间隔调节器2112的驱动源2112c不能设在腔室CH的左侧壁 Le，如图3所示。故不像第二间隔调节器2122，第一间隔调节器2112的驱动源2112c可安 装到腔室CH的顶侧壁To。虽然腔室CH被实现为具有门来打开其整个左侧壁Le，但若其它设备的零件无法 经由该门替换及维修，这可能造成难题。故腔室CH优选具有门来打开其整个后侧壁Re (参 见第2图)。故如图12所示，不像第一搬动器2312，第二搬动器2322的驱动源2322c安装到腔 室CH的顶侧壁To。6.送入载板相关的特征结构说明图13是示出了为从顶部看到的图6中的两对拾取单元2211/2212、2213/2214的 视图。参照图13，后侧拾取单元2213、2214的拾取端2213a-l、2214a-l支撑载板CB的后缘 部分。前侧拾取单元2211、2212的拾取端2211a-l、2212a-l沿着对角线方向支撑载板CB 的前缘部分。此构造可避免由入口输入并进入腔室的载板CB妨碍拾取轴2211a、2212a，还 可避免维修时通过左侧壁Le移开的载板CB妨碍拾取轴2212a。如此，在右前侧的拾取轴 2211a可支撑在右方而非在对角方向的载板CB。〈实施例1的应用实例〉在实施例1被实现为一个拾取轴(即2211a ；2212a ；2213a ；2214a)分别对应 地只有一个拾取端(即2211a-l ；2212a-l ；2213a_l ；2214a_l)。然而，如图14所示，实施 例1可修改成一个拾取轴(即2211a-0 ；2212a-0 ；2213a_0 ；2214a_0)分别对应地设有二 个拾取端(即 2211a-01、2211a-02 ；2212a-01、2212a_02 ；2213a-01、2213a_02 ；2214a_01、 2214a-02)。图14的应用实例具有以下优点。如图15所示，存在这样的情况传送最终位置E 的载板CB应当输出到腔室CH外面，接着二个载板CB应当分别从第一中间传送位置M1和 第二中间传送位置M2传送到第二中间传送位置M2和传送最终位置E。为此，将可理解一个 拾取轴(即2211a-0 ；2212a-0 ；2213a-0 ；2214a-0)被构造成分别对应地具有二个拾取端 (即 2211a-01、2211a-02 ；2212a-01、2212a_02 ；2213a-01、2213a_02 ；2214a-01、2214a_02)， 从而同时传送二个载板CB。应理解本发明可被实现为各拾取轴具有三个拾取端。虽然实施例1被实现为将四个载板CB置于腔室CH，但应理解可修改为在腔室CH 内可放置五个或更多个载板CB。在此情况下，将可理解每个拾取轴可具有三或更多个拾取 端。〈实施例2>图16显示了腔室CH，在该腔室中载板CB顺着箭头指示的传送流程Fw在传送部分 传送且保持垂直状态，这不同于实施例1。参照图16，载板CB以垂直方向进入腔室CH的顶侧壁To的正面，然后就位于传送起始位置S。随后，载板CB从传送起始位置S经由第一中间传送位置M1和第二中间传送位 置M2传送到传送最终位置E，即从腔室CH的前侧到后侧，接着从传送最终位置E经由腔室 CH的右侧壁Ri的后部输出到腔室CH外面。为顺着图16传送流程Fw传送载板CB，腔室CH的顶侧壁To的前面设有入口，其右 侧壁Ri的后面设有出口。入口被实现为由门(未绘示)打开或关闭。图17为示出用于传送图16腔室CH内的载板CB的载板传送系统3000的透视图。如图17所示，根据本发明的实施例的传送系统3000包括传送设备3100、第一支撑 设备3200、第二支撑设备3300、支撑板3400和维持设备3500。1.传送设备3100传送设备3100将传送起始位置S的载板CB传送到后侧的传送最终位置E。为此， 如图18所示，传送设备3100包括一对在其上侧的拾取单元3110、3120、一对在其下侧的拾 取单元3130、3140、和传送单元3150。四个拾取单元3110、3120、3130、3140分别对应地包括拾取轴3111、3121、3131、 3141和驱动源3112、3122、3132、3142。传送单元3150包括螺杆轴3151、马达3152和联结 板 3153。拾取轴3111、3121、3131、3141在前后方向上具有相对较长的长度，并且延伸穿 过腔室CH的前侧壁Fr。所述拾取轴3111、3121、3131、3141在其后端分别对应地具有拾 取端3111a、3121a、3131a、3141a，这些拾取端突出地形成韩文字符” C”(在韩文中被读作 “Digeut”，以支撑载板CB的边缘部分或转角。驱动源3112、3122、3132、3142安装到结合到位于腔室CH前侧的联结板3153。驱 动源在一定角度范围内顺向或逆向转动拾取轴3111、3121、3131、3141。螺杆轴3151沿着载板CB的传送方向(即前后方向)的长度较长，且其后端可旋 转地结合到腔室CH的前侧壁Fr，前端结合到马达3152并根据马达3152的转动旋转。马达3152固定地设置以顺向或逆向转动螺杆轴3151。联结板3153被构造成其上侧和下侧的端部连接到拾取单元3110、3120、3130、 3140的驱动源3112、3122、3132、3142，且其中心具有螺纹孔3153a供螺杆轴3151穿过。除了实施例2的传送设备3100是以垂直状态传送载板CB，实施例1的传送设备 2200是以水平状态传送载板CB，实施例1与2的构造和操作方法相似，故以下将不再赘述 传送设备3100的操作。2.支撑设备3200、3300和支撑板3400第一支撑设备3200支撑或松开位于第一中间传送位置M1的载板CB下缘部分。第 二支撑设备3300支撑或松开位于第二中间传送位置M2的载板CB下缘部分。支撑板3400 支撑位于第一中间传送位置M1和第二中间传送位置M2的载板CB上缘部分。因第一和第二支撑设备3200、3300的构造和操作相似，故以下仅详细说明第一支 撑设备3200。参照图19，第一支撑设备3200包括支撑构件3210和搬动器3220。支撑构件3210 支撑位于第一中间传送位置M1的载板CB下缘部分，以防载板掉落。搬动器3220能让支撑构件3210支撑或松开载板CB的下缘部分。搬动器3220包 括彼此隔开一定距离的一对汽缸3221、3222。
一对汽缸3221、3222被设置成其汽缸体3221a、3222a被安装到腔室CH的下侧壁 Bo外面，其活塞杆322lb、3222b分别延伸穿过腔室CH的下侧壁Bo而结合到支撑构件3210。支撑板3400固定地设于第一支撑设备3200和第二支撑设备3300的上方及对面。 支撑板3400亦具有分别对应第一中间传送位置M1和第二中间传送位置M2的支撑槽3410、 3420。支撑槽3410、3420分别容纳载板CB的上缘部分。实施例2的第一支撑设备3200与第二支撑设备3300和支撑板3400对应于实施 例1的第一支撑设备2300和第二支撑设备2400，但二者的构造不同。为了支撑第一中间传送位置M1和第二中间传送位置M2的载板CB，实施例2的第 一支撑设备3200与第二支撑设备3300和支撑板3400的构造也可与实施例1相同。然而 实施例1与2的构造差异在于所传送的载板CB的姿态。一般而言，若载板CB于腔室CH内以垂直状态传送，则传送系统的上侧设有姿态改 变设备(未绘示)，姿态改变设备改变载板CB的姿态后，接着将载板CB降至传送起始位置 S。在以垂直状态传送腔室CH内的载板CB的传送系统中，若载板CB的上缘部分是通 过驱动源的驱动力被支撑或松开，则供驱动源安装的空间和供上升/下降组件(支撑组件) 升降的空间不允许安装姿态改变设备。故在此例子中，需要复杂的设计，否则无法提供安装 姿态改变设备的空间。为解决此问题，实施例2的传送系统3000被实现为固定设置的支撑板3400支撑 载板CB的上缘部分。3.维持设备3500维持设备3500支撑传送最终位置E的载板CB。如图19所示，其包括第一维持部 3510、上升/下降单元3520和第二维持部3530。第一维持部3510托住位于传送最终位置E的载板CB下缘部分。上升/下降单元3520抬高或降低第一维持部3510，以免妨碍传送至传送最终位置 E的载板CB。上升/下降单元3520包括一对汽缸3521、3522。第二维持部3530托住位于传送最终位置E的载板CB上缘部分。应理解本实施例可被实现为采用移动轨道来抬起传送最终位置E的载板CB达一 定高度，而不利用维持设备。由于维持设备3500可自传送系统分离，因此其非本发明的必 要组件。4.传送系统的操作及传送方法参照图20，在载板CB降低至传送起始位置S之前，传送单元3150先操作使拾取轴 3111、3121、3131、3141的拾取端3111a、3121a、3131a、3141a引导及支撑将位于传送起始位 置S的载板CB。如图20所示，当载板CB以垂直状态下降及进入腔室CH时，其下缘部分和上端部 的左右两侧皆由拾取轴3111、3121、3131、3141的拾取端3111a、3121a、3131a、3141a适当支 撑，如图21所示。因实施例2的传送系统3000操作方式为利用拾取端3111a、3121a、3131a、 3141a降低载板CB至传送起始位置S、或引导及支撑传送起始位置S的载板CB，故其不需实 施例1的引导设备2100。然而实施例2的传送系统3000还可包括该引导设备来加快载板 CB的传送速度。例如，传送系统3000可根据是否以上下方向或前后方向传送载板CB、或根
14据载板CB的传送速度，选择性包括引导设备3100。如实施例1所述，传送单元3150操作以选择性传送载板CB至第一中间传送位置 M1、第二中间传送位置礼和传送最终位置E之一。以下将说明逐步传送载板CB的方法，藉以 清楚了解根据本发明的传送系统3000的操作。例如，若处于图21的状态的传送单元3150 操作传送载板CB至第一中间传送位置M1 (如图22所示)，则第一支撑设备3200 (如图23 所示)操作以支撑及抬起载板CB，使载板CB的上缘部分插进支撑槽3410中。即如图23所 示，载板CB的下缘部分由第一支撑设备3200的支撑构件3210支撑，载板CB的上缘部分由 支撑板3400支撑。如上所述，从传送起始位置S传送载板CB至第一中间传送位置M1的方法，同样可 应用到从第一中间传送位置M1传送载板CB至第二中间传送位置M2的情况，及从第二中间 传送位置M2传送至传送最终位置E的情况。本方法也可应用到从传送起始位置S连续传 送载板CB至第二中间传送位置M2或传送最终位置E、或从第一中间传送位置M1至传送最 终位置E的情况，且不需要传送停止时间。在本发明的实施例中，传送载板CB的同时，传送系统可同时执行上升或下降移 动，即垂直于载板CB的传送方向的往复运动。〈附加说明〉—般来说，载板CB是在处理机的均热室或除热室内逐步传送。这样做的原因之一 是为确保有充足的时间周期让装载至载板上的电子装置在腔室中人为预置的环境中被同 化。因此，均热室或除热室应被实现为包括多个载板，并进行逐步传送操作。为提高处理量，应增加用以将电子装置装载至载板上的表面及缩小处理机尺寸。 然装而载表面增加及处理机尺寸缩小将无法实现传送均热室或除热室内所容纳的多个载 板，又保持对准且平行于装载表面的构造。因此，系统被实现为载板可沿着垂直于电子装置的装载表面的方向在均热室或除 热室内被传送。因此，本发明可应用到在腔室内部传送载板的技术。根据本发明，可沿着垂直于电 子装置的装载表面的方向传送载板。虽然在上文中已经详细描述了本发明的示例性实施例，但是对于本领域技术人员 而言显然应当理解在此描述的基本的发明构思的许多变化和修改，这些变化和修改仍然落 入由权利要求限定的本发明的示例性实施例的精神和范围内。工业应用性本发明可应用于测试电子装置的设备的技术领域。
权利要求
一种传送在支持电子装置测试的处理机中的载板的系统，该系统包含传送设备，用于选择性地传送位于传送起始位置的载板到至少一个或多个中间传送位置和传送最终位置之一；以及至少一个或多个支撑设备，用于支撑或松开位于所述至少一个或多个中间传送位置的载板。
2.如权利要求1所述的系统，还包括引导设备，用于引导传送到传送起始位置的载板，并支撑或松开位于传送起始位置的 载板。
3.如权利要求1所述的系统，还包括 维持设备，用于托住位于传送最终位置的载板。
4.如权利要求1所述的系统，还包括支撑板，固定于该系统，用于支撑载板的一个边缘部分，其中该支撑设备包含 支撑构件，用于支撑或松开载板的另一个边缘部分；以及 搬动器，用于沿着接近或远离载板的一个方向移动支撑构件。
5.如权利要求1所述的系统，其中，在该系统具有多个支撑设备的情况下，所述支撑设 备被独立且对应地操作。
6.如权利要求1所述的系统，其中，该传送设备包含 至少二个或多个拾取单元，用于拾取或松开载板；以及传送单元，用于沿着载板的传送方向传送所述至少二个或多个拾取单元，以使由所述 至少二个或多个拾取单元所拾取的载板被选择性地传送到所述至少一个或多个中间传送 位置和传送最终位置之一。
7.如权利要求6所述的系统，其中，该拾取单元包含 拾取轴，其具有沿着载板传送方向的相对较长的长度；以及 驱动源，用于在一定角度范围内顺向或逆向转动拾取轴；其中拾取轴被构造成使其一端结合到驱动源，其另一端包括至少一个或多个拾取端， 所述至少一个或多个拾取端突出来支撑载板的边缘部分或转角。
8.如权利要求6所述的系统，其中该传送单元包含 螺杆轴，其具有沿着该载板传送方向的相对较长的长度； 马达，用于在一定角度范围内顺向或逆向转动该螺杆轴；以及 联结板，其中，该联结板以螺旋方式连接该螺杆轴，并根据该螺杆轴的转动沿着载板传送方向往复运 动；以及所述至少二个或多个拾取单元连接到该联结板。
9.一种传送在支持电子装置测试的处理机室内的载板的方法，该方法包含 选择性传送位于传送起始位置的载板到至少一个或多个中间传送位置和传送最终位置之一；其中，若前一个载板位于该传送最终位置，则下一个位于该传送起始位置的载板会被 传送到所述至少一个或多个中间传送位置。
10.如权利要求9所述的方法，其中该载板被沿着垂直于载板的装载表面的方向传送，在该装载表面上装载有电子装置。
11.一种支撑在支持电子装置测试的处理机中的载板的设备，该设备包含 第一支撑部，用于支撑或松开载板的一个边缘部分；以及第二支撑部，用于支撑或松开该载板的另一个边缘部分，其中该第二支撑部包含 支撑构件，用于支撑该载板的所述另一个边缘部分；以及 搬动器，用于沿着接近或远离该载板的方向移动支撑构件，其中该搬动器包含 转轴，其具有沿着该载板传送方向的相对较长的长度；转动构件，其一端固定于该转轴，且另一端可旋转地结合到该支撑构件，其中所述另一 端根据转轴的转动相对所述一端旋转；以及驱动源，用于以往复运动的形式在一定角度范围内顺向或逆向转动该转轴。
12.如权利要求11所述的设备，其中该搬动器还包括 辅助单元，用于协助支撑构件根据转轴的转动而平衡地移动。
全文摘要
本发明公开了传送在支持电子装置测试的处理机中的载板的系统和方法。载板可从传送起始位置传送到中间传送位置和传送最终位置之一。可沿着载板循环方向互相相邻地收集腔室内彼此相隔的载板。可加快载板的传送速度和整体循环速度。载板的传送速度可根据测试条件而容易地控制。
文档编号G01R31/26GK101910854SQ200980101516
公开日2010年12月8日 申请日期2009年1月19日 优先权日2008年1月29日
发明者全寅九, 吕东铉, 权宁镐, 罗闰成, 金烔秀 申请人:泰克元有限公司