专利名称：一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置。
背景技术：
任何检测仪器在使用之前都需要进行标定，用于光学材料表面粗糙度测量的干涉仪也不例外。通常情况下，干涉仪的粗糙度标定使用的是由厂家提供的标定块，一般是将硅或碳化硅的表面抛光后得到。但是这种标定块存在几点问题各标定块之间以及同一标定块的不同位置的粗糙度难以均匀，且有的地方存在瑕疵和缺陷。所以在使用不同标定块或使用同一标定块的不同位置进行标定时，标定块的不均匀性会影响标定的精度，增大标定 的误差；标定块的表面粗糙度并不是非常好，这样会降低检测仪器的标定精度，尤其是在仪器测量高质量的表面时，标定所带来的误差会湮没真实的数据，导致检测结果不准确；标定块维护不便，在空气中放置落灰后擦拭比较困难。

发明内容
本发明目的是为了克服现有标定块参考表面的不足，提出了一种表面粗糙度极低，表面均匀性极好的用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置。本发明的技术方案是，一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置，该装置包括液态水银、容器外壁、容器口、阻尼结构和密封盖；所述阻尼结构位于容器外壁内部下方；所述阻尼元件是排列的立柱或栅格板；所述容器口大小与光学粗糙度检测镜头的口径相同；所述密封盖与容器口是螺纹连接且密闭。本发明的有益效果本发明中参考平面由放置在容器中的液态水银形成，水银的单一、均质和稳定的特性，具有良好的时间、空间不变性，以及制作的一致性实现了参考平面表面粗糙度极低，表面均匀性极好，无瑕疵和缺陷；本发明装置制作简单、维护容易，便于操作和携带。


图I是本发明一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置示意图；图2是本发明装置中阻尼元件为立柱和栅格结构时的示意图。图中1、光学粗糙度检测镜头，2、液态水银，3、容器外壳，4、容器口，5、阻尼元件，6、密封盖。
具体实施例方式如图I所示，本发明一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置，该装置包括液态水银2、容器外壁3、容器口 4、阻尼结构5和密封盖6 ;所述阻尼结构5位于容器外壁3内部下方。密封盖6与容器口 4是螺纹连接且密闭。其中容器外壳3、阻尼元件5和密封盖6的材料是相同的，优选材料为高分子材料，也可以是玻璃或金属材料。如图2所示，图b为优选的阻尼元件结构形式为栅格状，也可以是图a立柱状。阻尼元件5的存在是为了让液态水银2迅速稳定下来，以减少平衡所需要的时间。容器外壳3的正上方设置容器口 4，为了尽量减少水银的挥发，开口尺寸应尽量小，满足粗糙度标定的使用即可，可以与光学粗糙度检测镜头I 口径相同。容器内液态水银2液面的高度应超出阻尼元件5的高度1_ 5mm为适宜，超出太多会增大液面稳定所需要的时间。在粗糙度标定之前，先将密封盖6打开，把整个装置置于光学粗糙度检测镜头I的正下方，静置一段时间后，液态水银2所形成的表面即可用于白光干涉仪粗糙度的标定；标定后，将密封盖6旋紧以保持密封。应保证每次操作周围环境温度都是相同的。
本发明中参考平面由放置在容器中的液态水银形成，表面粗糙度极低，表面均匀性极好，无瑕疵和缺陷。该参考平面由于水银的单一、均质和稳定的特性，具有良好的时间、空间不变性，以及制作的一致性，可用于白光干涉仪粗糙度标定的参考标准。与水、油等其它液体相比，使用液态水银所生成的参考平面散射光少，反射率高，更适合作为粗糙度标定的参考平面。本发明一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置制作简单、维护容易，便于操作和携带。
权利要求
1.一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置，其特征在于该装置包括液态水银(2)、容器外壁(3)、容器口(4)、阻尼结构(5)和密封盖(6);所述阻尼结构(5)位于容器外壁⑶内部下方。
2.根据权利要求I所述的一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置，其特征是，容器口(4)大小与光学粗糙度检测镜头(I) 口径相同。
3.根据权利要求I所述的一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置，其特征是，阻尼元件(5)是排列的立柱或栅格板。
4.根据权利要求I所述的一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置，其特征是，密封盖(6)与容器口(4)是螺纹连接且密闭。
全文摘要
一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置，属于光学检测技术领域，本发明为提供一种表面粗糙度极低，表面均匀性极好的用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置，该装置包括液态水银、容器外壁、容器口、阻尼结构和密封盖；所述阻尼结构位于容器外壁内部下方；所述阻尼元件是排列的立柱或栅格板；所述容器口大小与光学粗糙度检测镜头的口径相同；所述密封盖与容器口是螺纹连接且密闭，该装置实现了参考平面表面粗糙度极低，表面均匀性极好，无瑕疵和缺陷，可以很好的应用于光学表面粗糙度标定。
文档编号G01B11/30GK102636132SQ201210061598
公开日2012年8月15日 申请日期2012年3月9日 优先权日2012年3月9日
发明者刘建, 张玲花, 王君林, 王绍治, 马占龙 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所