专利名称：一种太阳能硅片切断检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶切断机，具体涉及一种太阳能硅片切断检测装置。
背景技术：
在半导体元件的制造过程，主要是将太阳能硅片以切割或裂片的手段分割成多个晶粒，再将晶粒固定在载体上进行电路布设，最后用封胶体包覆晶粒封装成形，而制成一个具有特定功能的半导体元件，在此过程中，太阳能硅片的裂片过程，主要是将待分割的太阳能硅片先进行预切剖，使太阳能硅片表面形成多个纵横交错的浅沟，并放置于太阳能硅片裂片机的载台上，再经过对正定位后，由驱动组件中的马达驱动带动劈刀向下移动顶压太阳能硅片，并通过冲击装置冲击劈刀，进而给予太阳能硅片一个冲击力量，使太阳能硅片自其预切割的浅沟位置裂片。但在现有技术中完成太阳能硅片裂片的程序后，可能会因程序或加工的误差，而产生裂片面未完全断裂使晶粒未完全分离的情况，因此，在太阳能硅片裂片程序后还需施行检验程序以保证太阳能硅片的完好率，目前的做法，基本上是是以产线人员以肉眼检查太阳能硅片裂片的成功与否。然而以人工方式检验往往会受到人员的经验、情绪以及身体状况等因素影响，进而造成检验标准因人而异以及无法统一的情形。

实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种太阳能硅片裂片检测装置，通过此设计，改善以人力进行太阳能硅片裂片检验方式，所导致的检验标准因人而异且无法统一的情形。为实现上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种太阳能硅片切断检测装置，用于太阳能硅片切断机中，其特征在于，所述太阳能硅片切断检测装置包含超声检测组件，所述超声检测组件包含第一超声检测器，所述第一超声检测器设置在所述太阳能硅片切断机中的太阳能硅片载台下方，所述超声检测组件与计算机经数据线连接，用以输出并判读所述超声检测组件所检测的超声波。作为优选的技术方案，所述超声检测组件进一步包含一第二超声检测器，所述第二超声检测器也设置在所述太阳能硅片载台下方，且间隔设置在第一超声检测器的侧边， 也用于检测太阳能硅片切断状态的超声波。进一步优选的技术方案是，所述超声检测组件还包含二驱动组件，所述二驱动组件与所述计算机经数据线连接并受所述计算机控制，所述二驱动组件分别连接所述第一超声检测器以及第二超声检测器，且所述第一超声检测器以及第二超声检测器可受所述二驱动组件驱动而移动。本实用新型的优点和有益效果在于利用超声检测组件的第一超声检测器检测太阳能硅片裂片面的超声信号输出至计算机，利用超声波的发射波与回波，以及计算机中对超声波的处理技术，对比判读裂片面是否成功断裂，提供统一的检验标准，进而提升检验的可靠性，其次，太阳能硅片裂片的检验过程纳入自动化程序，进而节省人力资源。本实用新型还利用第二超声检测器的设置，以双点判断检验太阳能硅片裂片面，进而提升太阳能硅片裂片检验程序的准确性。利用二驱动组件的设置以及计算机的设定，使第一以及第二超声检测器可受驱动组件驱动而移动，使检测路径可视需求灵活变更。

图1是本实用新型太阳能硅片切断检测装置第一实施例的主视示意图；图2是本实用新型太阳能硅片切断检测装置第二实施例的侧视示意图；图3是本实用新型太阳能硅片切断检测装置第三实施例的主视示意图；图4是本实用新型太阳能硅片切断检测装置第三实施例的侧视示意图；图5是本实用新型太阳能硅片切断检测装置第一实施例的检测路径示意图；图6是本实用新型太阳能硅片切断检测装置第二实施例的检测路径示意图；图7是本实用新型太阳能硅片切断检测装置第三实施例的检测路径示意图一；图8是本实用新型太阳能硅片切断检测装置第三实施例的检测路径示意图二。图中1、超声检测组件；11 ；第一超声检测器；12 ；第二超声检测器；13、驱动组件；2、计算机；3、太阳能硅片载台；4、太阳能硅片；41、预切浅沟；5、劈刀。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。如图1至图4所示，是本实用新型的多种较佳实施例，是用于太阳能硅片裂片机中，本实用新型太阳能硅片裂片检测装置包含一超声检测组件ι以及一计算机2。如图1所示，本实用新型的第一较佳实施例，该超声检测组件1包含一第一超声检测器11，该第一超声检测器11设于太阳能硅片裂片机中的太阳能硅片载台3下方，且第一超声检测器11与计算机2通过数据线连接。如图2所示，本实用新型的第二较佳实施例，除包含上述第一较佳实施例中的技术特征外，该超声检测组件1还包含一安装在太阳能硅片载台3下方的第二超声检测器12， 且第二超声检测器12间隔安装在第一超声检测器11的侧边，第二超声检测器12与计算机 2也通过数据线连接。如图3及图4所示，本实用新型的第三较佳实施例，除包含上述第二较佳实施例中的技术特征外，超声检测组件1还包含二驱动组13，二驱动组件13与计算机2通过数据线连接，并可受计算机2的控制，二驱动组件13还分别连接第一超声检测器11以及第二超声检测器12，且第一超声检测器11以及第二超声检测器12可受二驱动组件13驱动而移动。如图2及图5，在太阳能硅片裂片机中的太阳能硅片4抵靠放置在太阳能硅片载台 3上，该太阳能硅片4表面已在欲切割位置先行画多条预切浅沟41，在对正定位预切浅沟41 后，利用太阳能硅片裂片机中的劈刀5自太阳能硅片4上方予以裂片，此时，通过位于太阳能硅片载台3下方的超声检测组件1检测太阳能硅片裂片面的超声回波，并输送至计算机加以判读，待超声检测完成后，该太阳能硅片4可被太阳能硅片裂片机中的输送装置带动，使其可在该太阳能硅片载台3上平行移动至下一预切浅沟41以进行下一个预切浅沟41的裂片与检测步骤。如图5至图8所示，为第一至第三较佳实施例中超声检测组件1的检测路径示意图，检测路径以虚线及箭头表示，而检测路径与预切浅沟41的交点为检测点，其利用太阳能硅片裂片机中的输送装置带动太阳能硅片4，使太阳能硅片4相对于太阳能硅片载台3下方的超声检测组件产生相对运动所画出的检测路径示意图。如图5所示，本实用新型的第一较佳实施例中的第一超声检测器11的检测路径， 以裂片面的单检测点的断裂与否判断裂片面是否成功裂片；如图6所示，本实用新型的第二较佳实施例中的第一超声检测器11与第二超声检测器12的检测路径，利用第二超声检测器12的设置，以双检测点判断裂片成功与否，进而增加检测的准确性；如图7及图8所示，本实用新型的第三较佳实施例可利用计算机2设定并控制超声检测组件1中的二驱动组件13的作动，进而规划第一超声检测器11与第二超声检测器12的检测路径，以下为路径检测规划的应用实例，其中，如图7所示，由于太阳能硅片4两端的裂片面长度较短，因此检测路径被设定为单点检测，而太阳能硅片4的中段位置的裂片面长度较长，便以双点检测确保检测的准确性；如图8所示的检测路径，其被规划为与太阳能硅片4外缘保持一固定距离，由于太阳能硅片4裂片失败较常发生在裂片面的外侧段位置，以此路径规划可间接提升检测的可靠性。本实用新型是利用超声检测组件1检测太阳能硅片裂片面的超声，并输出至计算机2进行比对判读，利用超声处理的技术以一个统一的标准判断太阳能硅片4裂片的成功与否，提升检验的可靠性，并使太阳能硅片4裂片的检验程序自动化以节省人力资源，其次，通过第二超声检索器12的设置，以双点判断裂片成功与否，提升检测的准确性。此外， 利用二驱动组件13的设置以及计算机2的设定可规划该第一超声检测器11以及第二超声检测器12的检测路径，使检测路径可以视需求而灵活变更。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种太阳能硅片切断检测装置，用于太阳能硅片切断机中，其特征在于，所述太阳能硅片切断检测装置包含超声检测组件，所述超声检测组件包含第一超声检测器，所述第一超声检测器设置在所述太阳能硅片切断机中的太阳能硅片载台下方，所述超声检测组件与计算机经数据线连接，用以输出并判读所述超声检测组件所检测的超声波。
2.如权利要求1所述的太阳能硅片切断检测装置，其特征在于，所述超声检测组件进一步包含一第二超声检测器，所述第二超声检测器也设置在所述太阳能硅片载台下方，且间隔设置在第一超声检测器的侧边，也用于检测太阳能硅片切断状态的超声波。
3.如权利要求2所述的太阳能硅片切断检测装置，其特征在于，所述超声检测组件还包含二驱动组件，所述二驱动组件与所述计算机经数据线连接并受所述计算机控制，所述二驱动组件分别连接所述第一超声检测器以及第二超声检测器，且所述第一超声检测器以及第二超声检测器可受所述二驱动组件驱动而移动。
专利摘要本实用新型公开了一种太阳能硅片切断检测装置，用于太阳能硅片切断机中，该硅片切断检测装置包含超声检测组件，超声检测组件包含第一、第一超声检测器设置在硅片切断机中的硅片载台下方，超声检测组件与计算机经数据线连接，用以输出并判读超声检测组件所检测的超声波。利用超声检测组件的第一超声检测器检测硅片裂片面的超声信号输出至计算机，利用超声波的发射波与回波，以及计算机中对超声波的处理技术，对比判读裂片面是否成功断裂，提供统一的检验标准，进而提升检验的可靠性，其次，硅片裂片的检验过程纳入自动化程序，进而节省人力资源。
文档编号G01N29/04GK202196040SQ20112026208
公开日2012年4月18日 申请日期2011年7月22日 优先权日2011年7月22日
发明者李向清, 沈彪, 胡德良 申请人:江阴市爱多光伏科技有限公司