专利名称:电子检测仪器的探针固定装置的制作方法
技术领域:
本实用新型属于测量技术领域,尤其是一种电子检测仪器的探针固定装置。
背景技术:
在半导体工艺研究过程中,对各种样品的检测过程中,往往需要固定探针的相对位置进行测量。如使用电子万用表、示波器等电子检测仪器对大样品进行测量时,一般是用双手各执一只探针,估量两探针的距离进行测量,由于在测量过程中手的抖动或估计的偏差,都会影响测量结果的精确度,只能得到较为粗糙的结果。
发明内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种结构简单、设计科学合理、成本较低、制作简单、方便测量的电子检测仪器的探针固定装置。本实用新型解决其技术问题是通过以下技术方案实现的一种电子检测仪器的探针固定装置,包括一圆规,其在圆规的两个支腿的外壁分别固装一探针锁紧环。而且,所述的探针锁紧环为铜环。本实用新型的优点和有益效果为I、本电子检测仪器的探针固定装置,包括一圆规,其在圆规的两个支腿的外壁分别固装一探针锁紧环,该结构能够使电子检测仪器的两探针分别插入探针锁紧环中,使两个探针之间的距离可调、可固定,降低操作误差,方便实际测量工作,用一只手就能进行较精确的测量。2、本实用新型结构简单、设计科学合理、成本较低、制作简单、是一种方便测量的电子检测仪器的探针固定装置。
图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本实用新型作进一步详述,以下实施例只是描述性的,不是限定性的,不能以此限定本实用新型的保护范围。一种电子检测仪器的探针固定装置,包括一圆规1,其在圆规的两个支腿3的外壁分别固装一探针锁紧环4,所述的探针锁紧环为铜环。本实用新型在使用时,将电子检测仪器的两个探针2分别插入探针锁紧环中,然后用直尺调整两个探针之间的距离至需要的尺寸即可,例如在实际工作中需要测量大块ZnO样品各个部分的表面电阻。其操作方式是将万用表正负极探针插入圆规的两个探针锁紧环中,用直尺确定两探针的距离是lcm,然后让两探针与被测样品表面接触,读取万用表读数即得到所要的电阻值。并且,用电子万用表两极铜质探针距离Icm测量ZnO表面的 电阻,在同一区域反复测量几次取平均值作为该部分的表面电阻值。
权利要求1.一种电子检测仪器的探针固定装置,包括一圆规,其特征在于在圆规的两个支腿的外壁分别固装一探针锁紧环。
2.根据权利要求I所述的电子检测仪器的探针固定装置,其特征在于所述的探针锁紧环为铜环。
专利摘要本实用新型涉及一种电子检测仪器的探针固定装置,包括一圆规,其在圆规的两个支腿的外壁分别固装一探针锁紧环。本实用新型结构简单、设计科学合理、成本较低、制作简单、是一种方便测量的电子检测仪器的探针固定装置。
文档编号G01R1/04GK202383169SQ20112056217
公开日2012年8月15日 申请日期2011年12月29日 优先权日2011年12月29日
发明者张鑫, 薛阳 申请人:天津市津能电池科技有限公司