专利名称：高温石英膜氦质谱漏孔的制作方法
技术领域：
本发明涉及到一种高温石英膜氦质谱漏孔及其制作方法，尤其是在高温工况中使用的石英薄膜氦气漏孔的制作方法。
背景技术：
标准漏孔(常温标准漏孔)是在规定条件下(入口压力为IOOKI^ 士 5%，温度为23 士 7)， 漏率是已知的一种校准用的漏孔。标准漏孔是真空科学技术及其应用领域的一种常用的必不可少的计量器具，特别是标准氦漏孔，它是目前已得到广泛应用的氦质谱检漏仪中必备的相对计量标准，使用标准漏孔定期对氦质谱检漏仪的最主要参数——检漏灵敏度进行校准，从而准确给出被测系统漏气速率的数量级大小。标准漏孔具有恒定漏率，它又叫定流量发生器，通常可分为两大类，第一类为通导型标准漏孔，如钼丝一玻璃非匹配标准漏孔、金属压扁型标准漏孔；第二类为渗透型标准漏孔，如石英薄膜标准漏孔。国家技术监督局专门为此制定了 JJG793-92标准漏孔的国家计量鉴定规程。参见刘秀林在文献《航空计测技术》第21卷，2001年第5期43_45页“标准漏孔及其校准” 一文，其涉及到目前所使用的钼丝——玻璃非匹配标准漏孔、金属压扁型标准漏孔、石英薄膜标准漏孔等几种标准漏孔。目前所使用的钼丝——玻璃非匹配标准漏孔，漏率范围一般为10_6 10_8托 升/ 秒，其是一种将直径在0. Γ0. 15mm的钼丝与11#“硬质玻璃做非匹配封结后，利用两种材料膨胀系数的不同而得到的漏孔。因此在制造过程中难以人为的控制标准漏孔的尺寸大小、 数目，漏率大小受控性差，难以获取具有预定漏
率大小之标准漏孔；其漏率范围较窄，难以实现更微小漏率的测量，并且工作温度适合在常温工况下工作。金属压扁型标准漏孔，漏率范围一般为10_6 10_8托 升/秒，是一种将一定直径的无氧铜管或可伐管用油压机压扁后产生漏隙，从而形成标准漏孔。但是，在制造过程中标准漏孔的孔径尺寸大小难以精确控制，漏率大小可控性差，难以获取具有预定漏率大小的标准漏孔；且其漏率范围较窄，难以实现更微小漏率的测量。并且工作温度适合在常温工况下工作。石英薄膜标准漏孔，漏率范围一般为IO-6IO-8托 升/秒，是目前使用较多的一种标准漏孔，其是将石英玻璃管吹制成各种直径和厚度的薄膜球泡，利用石英只能使氦气渗透通过，而其它气体通不过的特点制成的标准漏孔。由于薄膜球泡由吹制而成的，因此薄膜球泡的大小及其所包括的通孔数目难以控制，通孔的尺寸难以获取，从而在制造过程中漏率大小可控性差，难以获取具有预定漏率大小的标准漏孔；且其漏率范围较窄，难以实现更微小漏率的测量。另外，石英薄膜标准漏孔只适用于氦气。并且工作温度适合在常温工况下工作。随着工业的发展，氦气检漏仪的应用范围越来越广，作为氦质谱检漏仪的标准，随机配件的石英膜氦气漏孔由于其自身制造工艺的缺陷，限制其在高温下使用，这是由于石
3英膜与硬质玻璃之间的氦气封接压力接近一个大气压，在温度升高的情况下，气体发生膨胀，石英膜与硬质玻璃外壳的机械强度不足以承受气体膨胀所带来的压力，从而导致机械破碎，造成漏孔失效。有鉴于此，有必要提供一种氦气漏孔，可以实现在高温工况下使用。因此生产高温工况下使用的氦质谱标准玻璃膜漏孔有着现实意义。

发明内容
本发明提供了一种高温石英膜氦质谱漏孔，解决了现有的氦气检漏仪存在的由于其自身制造工艺的缺陷，其不能在高温下使用；石英膜与硬质玻璃之间的氦气封接压力接近一个大气压，在温度升高的情况下，气体发生膨胀，石英膜与硬质玻璃外壳的机械强度不足以承受气体膨胀所带来的压力，从而导致机械破碎，造成漏孔失效；在制造过程中漏率大小可控性差，难以获取具有预定漏率大小的标准漏孔；且其漏率范围较窄，难以实现更微小漏率的测量等问题。本发明的技术方案
高温石英膜氦质谱漏孔，其特征在于所述的高温石英膜氦质谱漏孔由硬质玻璃外壳、 封接在硬质玻璃外壳上的石英玻璃膜组成腔体，腔体内充有高纯氦气。高温石英膜氦质谱漏孔的生产方法，其特征在于先把石英薄膜与硬质玻璃外壳封接成一整体并形成腔体， 并在硬质玻璃外壳上保留工艺充气孔；然后在气压小于0. 6个大气压的低压环境中，通过工艺充气孔向腔体内冲入高纯氦气；在所述的低压状况下，熔融硬质玻璃外壳上的工艺充气孔，使低压氦气保留在石英薄膜与硬质玻璃外壳之间的腔体内。所述的高温石英膜氦质谱漏孔，其特征在于所述的氦气的纯度为99. 999%以上的氦气。本发明的优点
本发明结构、制造工艺简单，采用低压高纯度氦气填充工艺，克服了传统石英膜氦气标准漏孔只能在室温下使用的缺陷，可以在高温工况下对氦质谱漏率进行标定，本发明专利特别适用于制造高温工况下使用的石英膜氦质谱漏孔。


图1为本发明的结构示意图。图2为本发明的制造工艺示意图。
具体实施例方式
高温石英膜氦质谱漏孔，所述的高温石英膜氦质谱漏孔由硬质玻璃外壳2，与封接在硬质玻璃外壳2上的石英玻璃膜1组成腔体，腔体内充有高纯氦气3。高温石英膜氦质谱漏孔的生产方法，先把石英薄膜1与硬质玻璃外壳2封接成一整体并形成腔体，并在硬质玻璃外壳2上保留工艺充气孔4 ；然后在气压小于0. 6个大气压的低压环境中，通过工艺充气孔4向腔体内冲入高纯氦气3 ；在所述的低压状况下，熔融硬质玻璃外壳2上的工艺充气孔4，使低压氦气保留在石英薄膜1与硬质玻璃外壳2之间的腔体内。
权利要求
1.高温石英膜氦质谱漏孔，其特征在于所述的高温石英膜氦质谱漏孔由硬质玻璃外壳、封接在硬质玻璃外壳上的石英玻璃膜组成腔体，腔体内充有高纯氦气。
2.高温石英膜氦质谱漏孔的生产方法，其特征在于先把石英薄膜与硬质玻璃外壳封接成一整体并形成腔体，并在硬质玻璃外壳上保留工艺充气孔；然后在气压小于0. 6个大气压的低压环境中，通过工艺充气孔向腔体内冲入高纯氦气；在所述的低压状况下，熔融硬质玻璃外壳上的工艺充气孔，使低压氦气保留在石英薄膜与硬质玻璃外壳之间的腔体内。
3.根据权利要求1、2所述的高温石英膜氦质谱漏孔，其特征在于所述的氦气的纯度为99. 999%以上的氦气。
全文摘要
本发明公开了一种高温石英膜氦质谱漏孔的生产方法，先把石英薄膜与硬质玻璃外壳封接成一整体并形成腔体，并在硬质玻璃外壳上保留工艺充气孔；然后在气压小于0.6个大气压的低压环境中，通过工艺充气孔向腔体内冲入高纯氦气；在所述的低压状况下，熔融硬质玻璃外壳上的工艺充气孔，使低压氦气保留在石英薄膜与硬质玻璃外壳之间的腔体内。本发明结构、制造工艺简单，采用低压高纯度氦气填充工艺，克服了传统石英膜氦气标准漏孔只能在室温下使用的缺陷，可以在高温工况下对氦质谱漏率进行标定，本发明专利特别适用于制造高温工况下使用的石英膜氦质谱漏孔。
文档编号G01M3/02GK102192822SQ20111005669
公开日2011年9月21日 申请日期2011年3月10日 优先权日2011年3月10日
发明者张志 , 张晨光, 黄文平 申请人:安徽皖仪科技股份有限公司