专利名称：一种阻抗可控的测试插座的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种插座，尤其涉及一种用于半导体芯片测试的探针型测试插座。
背景技术：
测试插座是一种在集成电路测试、电子系统调试、可编程芯片烧录、电路失效分析等领域广泛应用的电气连接设备，在芯片测试中直接与被测芯片相连起到测试信号传输的功能。特别是在集成电路测试行业中，测试插座作为测试机系统与被测芯片之间的接口，是保证测试良率、提高测试效率的关键之一，其性能如接触电阻、测试良品率、机械性能等，都会直接影响到测试效果。随着集成电路性能的日益提高，特别是高频性能、传输速度、信噪比要求日益提高，对测试插座的要求也日益提高。在芯片的实际测试过程中，测试插座必须将电阻维持在一个特定的范围内，以减少输入信号在通过插座时造成的损耗。目前，行业内主要有两种技术来解决这个问题。第一种是在接地铜块中嵌入绝缘块，这种方案性能稳定，但弱势在于应用范围窄，只能用在芯片触点间距较大的芯片。第二种是用两种直径不一样的探针置于接地铜块内，然后用探针定位板分离信号和接地探针。这种方案能够适用更小间距的芯片， 但是由于信号探针与接地铜块间仅靠空气绝缘，空气湿度较大时，绝缘稳定性差。

实用新型内容本实用新型的目的是一种用于半导体芯片测试的探针型阻抗可控的测试插座，以期达到稳定的高频集成性能。本实用新型的具体技术方案是一种阻抗可控的测试插座，包括芯片保持座1，绝缘与接地复合铜块2和探针保持板3。绝缘与接地复合铜块2上依据实际芯片功能要求加工有探针孔。一部分孔与弹簧探针的外径接近，以保证弹簧探针既可以插入，又可以有良好的接触性能。另一部分孔比弹簧探针外径略大，用化学方式在这些孔中填入耐磨绝缘材料，然后加工与弹簧探针匹配的内腔。由于本实用新型的绝缘与接地复合铜块2，一方面保障接地铜块21与接地弹簧探针5的良好接触，保证了可靠的接地；另一方面又使信号弹簧探针4与接地铜块21绝缘，从而获得了稳定的特定阻抗。

图1是本实用新型探针型测试插座的结构示意图；图2是本实用新型探针型测试插座的绝缘与接地复合铜块的结构图；图3是本实用新型探针型测试插座的剖面图。图中1一芯片保持座；2—绝缘与接地复合铜块；3—探针保持板；21—接地铜块；22—绝缘材料；4一信号弹簧探针；5—接地弹簧探针。
具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。请参看图1所示，本实用新型探针型测试插座包括芯片保持座1，绝缘与接地复合铜块2和探针保持板3组成。绝缘与接地复合铜块2通过两只定位销钉和2个平头螺丝锁附在芯片保持座1上，如图3所示，装上探针，盖上探针保持板3，整个测试插座即组装完成。芯片保持座1由绝缘材料制成，其上装有定位销钉，以保证芯片槽与绝缘与接地复合铜块2上的探针孔的相对位置准确。绝缘与接地复合铜块2以高性能导电铜为基材，用特殊化学工艺腐蚀入耐磨绝缘材料。先把接地铜块加工出基本外形，然后根据实际产品功能加工相应的接地和信号孔。其中，用以接地的孔尺寸与弹簧探针尺寸接近；信号孔比弹簧探针略大，化学方式在这些孔中填入特殊耐磨绝缘材料，然后在腐蚀好的的绝缘材料上加工出与弹簧探针外形尺寸接近的孔。如图2和图3所示，信号弹簧探针4与接地铜块21间隔有绝缘材料，这样就分离了信号弹簧探针和接地铜块。经实验，弹簧探针在腔体内压缩50万次，绝缘材料22未与接地铜块21脱离，绝缘材料上的孔也未见明显磨损，信号探针与接地铜块绝缘良好。接地弹簧探针5与铜块接触，从而使整个接地铜块21与测试主板上的接地线相连接，这样就使信号弹簧探针与空腔间形成特定的阻抗值。探针保持块3由绝缘材料制成，具有保持探针在空腔内的功能，同时对弹簧探针下端的运动有一定的导向作用。
权利要求1.一种阻抗可控的测试插座，其特征在于，包括芯片保持座(1 )，绝缘与接地复合铜块 (2)和探针保持板(3)；所述绝缘与接地复合铜块(2)设有探针孔。
2.根据权利要求1所述的一种阻抗可控的测试插座，其特征在于，所述部分探针孔与弹簧探针的外径接近，另一部分探针孔比弹簧探针外径略大，孔中设有耐磨绝缘材料。
专利摘要本实用新型涉及一种插座，尤其涉及一种用于半导体芯片测试的探针型测试插座。一种阻抗可控的测试插座，包括芯片保持座，绝缘与接地复合铜块和探针保持板。绝缘与接地复合铜块上依据实际芯片功能要求加工有探针孔。经实验，弹簧探针在腔体内压缩50万次，绝缘材料未与接地铜块脱离，绝缘材料上的孔也未见明显磨损，信号探针与接地铜块绝缘良好。
文档编号G01R1/04GK202126447SQ201120226818
公开日2012年1月25日 申请日期2011年6月30日 优先权日2011年6月30日
发明者王强, 田治峰, 贺涛, 高凯 申请人:上海韬盛电子科技有限公司