专利名称：可自清洗的过滤装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及测试分析技术领域，尤其涉及一种用于水质分析仪的可自清洗的 过滤装置。
背景技术：
目前，微电子工业的发展水平已成为衡量一个国家的科学技术水平和经济发展实 力的重要标志，成为实现国民经济信息化的最关键的技术基础和国家经济发展的重要支 柱。它的发展水平体现一个国家的科技水平和经济实力。而且微电子业的飞速发展还会带 动和影响各行各业的发展，特别是计算机、航空航天、军事工业及信息产业等高科技产业。在集成电路的制造过程中，从原材料到产品，需要进行几百道加工工序，而且随着 集成电路集成度的增加，产品加工次数也不断加多。这期间如果遭受污染就会引起产品的 大量报废，使成品率下降。在产品加工过程中主要有以下污染源影响产品的质量，如空气中 的尘埃微粒、工业用气体中的杂质、水中的杂质及微生物、人身上的尘埃及细菌、电磁干扰、 噪声及微振动。因此，要提高集成电路制造技术，除了解决材料、加工机械及图形设计技术 外，还应做好对加工环境的污染控制。纯水作为生产环境的一个组成部分，其品质好坏将对产品质量直接起着极大的影 响作用。这是因为在集成电路生产中超纯水主要是用来清洗产品的，几乎每道工序都要使 用纯水，这样产品与水直接接触，使得产品加工过程中产生的微量玷污得以洗净。在此过程 中水中微量杂质又可能使产品再次受到污染，使成品率下降，所以，高品质的纯水对集成电 路的生产就显得尤为重要。水质分析仪就是一种用来检测纯水的各项指标是否符合集成电路制造用水标准 的分析仪器。通常来说，在水质分析仪的进水管路上设有过滤器，然而目前水质分析仪进水 管路上所使用的过滤器为传统过滤器，该传统过滤器存在以下缺点(1)取样管直接与供水管路连接，易受管路水质影响；(2)使用此种过滤器的仪器，经常由于进水压力波动或管路进入气泡等问题，造成 测量值波动，严重者甚至不能恢复正常检测，当水质分析仪取样点所在管路流量过大或波 动过大时，尤其明显；(3)此种过滤器经过一段时间使用后，由于截流大量颗粒物，需将滤芯取出清洗， 给正常工作造成影响。因此，提供一种不受取样压力波动和气泡等的影响，又具备自清洗功能的过滤器 成为业界亟需解决的问题。

实用新型内容本实用新型提供一种可自清洗的过滤装置，以解决目前水质分析仪的过滤器易受 取样压力波动和气泡的影响，导致测量值波动，并且清洗时需将滤芯取出，影响正常工作的 问题。[0011]为解决上述问题，本实用新型提出一种可自清洗的过滤装置，所述可自清洗的过滤装置包括两组过滤通路，每组过滤通路包括依次相连的第一阀门、过滤器、缓冲罐以及第 二阀门，所述每组过滤通路的第一阀门连接第一三通管道、第二阀门连接第二三通管道，所 述第二三通管道还连接总阀门，所述两组过滤通路之间设置有连接通路，所述连接通路的 两端分别设置在所述每组过滤通路的第一阀门与过滤器之间，所述连接通路包括顺次相连 的第三阀门、三通管道以及第四阀门。可选的，所述过滤器包括箱体以及设置在所述箱体两端的过滤器进水口及过滤器 出水口，所述箱体中设置有滤芯。可选的，所述缓冲罐包括罐体以及设置在所述罐体两端的缓冲罐进水口及缓冲罐 出水口。本实用新型由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点 和积极效果1、在过滤器后增加小型储水罐和阀门，起到缓冲作用，使水既能经过滤器过滤，又 能调节进水流量，避免压力和气泡影响；2、将两组过滤器并联，通过阀门的调整，实现过滤器的自清洗功能。
图1为本实用新型实施例提供的可自清洗的过滤装置的结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的过滤器的结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的缓冲罐的结构示意图；图4为本实用新型实施例提供的可自清洗的过滤装置的并联过滤状态；图5为本实用新型实施例提供的可自清洗的过滤装置的单过滤状态；图6为本实用新型实施例提供的可自清洗的过滤装置的自清洗状态。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的可自清洗的过滤装置作进一步 详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是， 附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用 新型实施例的目的。本实用新型的核心思想在于，提供一种可自清洗的过滤装置，以使水质分析仪的 测量不受取样压力波动和气泡的影响，并且该过滤装置具有自清洗功能，不需将滤芯取出 进行清洗。请参考图1，图1为本实用新型实施例提供的可自清洗的过滤装置的结构示意图， 如图1所示，该可自清洗的过滤装置包括两组过滤通路，每组过滤通路包括依次相连的第 一阀门10、过滤器20、缓冲罐30以及第二阀门11，所述每组过滤通路的第一阀门10连接第 一三通管道41、第二阀门11连接第二三通管道42，所述第二三通管道42还连接总阀门17， 所述两组过滤通路之间设置有连接通路，所述连接通路的两端分别设置在所述每组过滤通 路的第一阀门10与过滤器20之间，所述连接通路包括顺次相连的第三阀门13、三通管道 40以及第四阀门14。[0026]请继续参考图2，图2为本实用新型实施例提供的过滤器的结构示意图，如图2所 示，所述过滤器20包括箱体201以及设置在所述箱体201两端的过滤器进水口 202及过滤 器出水口 203，所述箱体201中设置有滤芯。请继续参考图3，图3为本实用新型实施例提供的缓冲罐的结构示意图，如图3所 示，所述缓冲罐30包括罐体301以及设置在所述罐体301两端的缓冲罐进水口 302及缓冲 罐出水口 303。以下将详细说明本实用新型实施例提供的可自清洗的过滤装置的工作状态，为了 方便，将两组并联的过滤通路分别用A和B加以区分。本实用新型实施例提供的可自清洗 的过滤装置的工作状态如下(1)当阀门13及阀门14关闭，其它阀门开启时，该过滤装置处于并联过滤状态，即 两组过滤通路同时进行过滤，此时，该过滤装置的等效工作状态图请参考图4，图4为本实 用新型实施例提供的可自清洗的过滤装置的并联过滤状态；(2)当阀门13及阀门14关闭，同时一组过滤通路的阀门关闭，其它阀门开启，如阀 门13及阀门14关闭，阀门10A及阀门11A关闭时，该过滤装置处于单路过滤状态，即只有 一组过滤通路进行过滤，此时，该过滤装置的等效工作状态图请参考图5，图5为本实用新 型实施例提供的可自清洗的过滤装置的单过滤状态；(3)当总阀门17关闭，一组过滤通路的第一阀门关闭，同时连接通路上远离所述 过滤通路的阀门关闭，其它阀门开启，如总阀门17关闭，阀门10A关闭，阀门14关闭时，该 过滤装置处于自清洗状态，即水通过第二组过滤通路过滤后，对第一组过滤通路的过滤器 20A进行清洗，此时，该过滤装置的等效工作状态图请参考图6，图6为本实用新型实施例提 供的可自清洗的过滤装置的自清洗状态。当然，当总阀门17关闭，阀门10B关闭，阀门13 关闭时，水通过第一组过滤通路过滤后，对第二组过滤通路的过滤器20B进行清洗。在上述的具体实施例中，所述可自清洗的过滤装置是描述成用于在水质分析仪的 进水管路上对水样进行过滤的，然而应该认识到，所述可自清洗的过滤装置还可以用于其 它需对取样进行过滤的分析仪器中。综上所述，本实用新型提供了一种可自清洗的过滤装置，该过滤装置在过滤器后 增加缓冲罐和阀门，起到缓冲作用，使水既能经过滤器过滤，又能调节进水流量，避免压力 和气泡影响；同时，将两组过滤器并联，通过阀门的调整，实现过滤器的自清洗功能。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种可自清洗的过滤装置，其特征在于，包括两组过滤通路，每组过滤通路包括依次相连的第一阀门、过滤器、缓冲罐以及第二阀门，所述每组过滤通路的第一阀门连接第一三通管道、第二阀门连接第二三通管道，所述第二三通管道还连接总阀门，所述两组过滤通路之间设置有连接通路，所述连接通路的两端分别设置在所述每组过滤通路的第一阀门与过滤器之间，所述连接通路包括顺次相连的第三阀门、三通管道以及第四阀门。
2.如权利要求1所述的可自清洗的过滤装置，其特征在于，所述过滤器包括箱体以及 设置在所述箱体两端的过滤器进水口及过滤器出水口，所述箱体中设置有滤芯。
3.如权利要求1所述的可自清洗的过滤装置，其特征在于，所述缓冲罐包括罐体以及 设置在所述罐体两端的缓冲罐进水口及缓冲罐出水口。
专利摘要本实用新型公开了一种可自清洗的过滤装置，该过滤装置包括两组过滤通路，每组过滤通路包括依次相连的第一阀门、过滤器、缓冲罐以及第二阀门，所述每组过滤通路的第一阀门连接第一三通管道、第二阀门连接第二三通管道，所述第二三通管道还连接总阀门，所述两组过滤通路之间设置有连接通路，所述连接通路的两端分别设置在所述每组过滤通路的第一阀门与过滤器之间，所述连接通路包括顺次相连的第三阀门、三通管道以及第四阀门。本实用新型所提供的过滤装置在过滤器后增加缓冲罐和阀门，起到缓冲作用，使水既能经过滤器过滤，又能调节进水流量，避免压力和气泡影响；同时，将两组过滤器并联，通过阀门的调整，实现过滤器的自清洗功能。
文档编号G01N1/10GK201613065SQ201020130250
公开日2010年10月27日 申请日期2010年3月12日 优先权日2010年3月12日
发明者赵晶 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司