专利名称：Tcp测试装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对将电子电路部件或布线模型等装载进带状构件的TCP(Tape Carrier lockage，薄膜封装)进行测试的TCP测试装置。
背景技术：
在聚酰亚胺薄膜等的薄膜载带(以下，称为“带”)上装载多个IC、LSI芯片等的电子电路部件或布线模型的设备(以下，总称为“TCP”)被人们所熟知。该检测TCP性能的 TCP测试装置，包括由在一侧的面(正面)竖置有探针的板状构件构成的探板；向和探针相对的位置处，搬运TCP所形成的多个带的TCP处理装置；保持与探板对向配置的带并使其面向探板移动的推进器。在TCP测试装置上，移动推进器，使TCP的端子(垫片)与探板的探针相接触，进行TCP的测试。这样的，在TCP测试中，由于探针和TCP的垫片直接接触，因此，在进行测试前或更换带时等情况下，必须准确地进行探针和垫片的位置校正。因此，一直以来，如W02004/068154A或JP2002-181889A所公开的那样，通过设置在探板的另一面(背面)侧的照相机对探针及垫片进行拍照，并根据获得的图像对探针和垫片的位置进行对准。但是，由于现有的都是在探板的背面侧设置照相机，因此，探针的接触端未包含在照相机的视野中，或者，因接触端和TCP的垫片相互重叠而接触端或垫片无法被拍摄到，其结果是，很难对探针和垫片的位置进行对准。

发明内容
因此，本发明旨在提供一种能够准确进行探针和垫片的位置校准的TCP测试装置。为达到这个目的，本发明提供的TCP测试装置(1)，包括探针G3)，向第1方向 (Z)突出且具有接触端G31)；推进器(3)，在第1方向(Z)上与探针03)的接触端031)对向设置且保持具有垫片(81)的TCP(S)；照相机(51)，可移动地支持在探针(43)和TCP(S) 之间的空间中且在该空间内拍摄探针(43)及TCP(S)；测量部(74)，根据照相机(51)拍摄的探针(43)及TCP(S)的图像，测量探针(43)的接触端(431)和TCP(S)的垫片(81)的位置偏差量；驱动部，根据测量部(74)测量的位置偏差量使推进器( 在与第1方向(Z) 垂直相交的第2方向(X，Y)上移动，通过使推进器C3)沿第1方向(Z)面向接触端(431) 移动，使得被推进器( 保持的TCP(S)的垫片(81)与接触端(431)相接触；测试部(75)， 在探针G3)的接触端031)与TCP⑶的垫片(81)相接触的状态下，进行TCP (8)的测试。


图1为表示本发明实施例提供的TCP测试装置的构成的正面图。图2为放大表示TCP测试装置一部分的立体图。
图3为表示TCP测试装置主要部分的概念图。图4为表示TCP测试装置中控制装置构成的框图。图5为表示本发明实施例提供的TCP测试装置的测试动作的流程图。图6为说明探板和带的位置关系的示意图。
具体实施例方式以下，参照附图，对本发明实施例进行详细说明。〈TCP测试装置的构成〉如图1、图2、图3所示，本实施例提供的TCP测试装置1，包括TCP处理装置2，沿规定路径搬送装载有TCP 8的带T ；推进机构(推进器)3，设置在TCP 8的搬送路径途中， 在保持被搬送的带T的状态下，向规定方向推进；探测机构4，在Z方向上与推进机构3对向设置，具有向推进机构3突出的探针43 ；照相机构5，在推进机构3和探针43之间可移动地支持具有2个视野的照相机51 ；测量部照相机6 ；控制装置7，控制这些TCP测试装置1的构成要素2 6的动作。另外，为方便起见，将铅直方向称为“X方向”，将与X方向垂直相交且连接推进机构3和探测机构4的方向称为“Z方向”，将与X方向及Z方向垂直相交的方向(相对图1 的纸面垂直的方向)称为“Y方向”。在和权利要求的关系上，Z方向对应第1方向，X方向及Y方向对应第2方向。TCP处理装置2，包括卷出卷盘21，卷绕测试前的带T ；卷绕卷盘22，卷绕从卷出卷盘21卷出的进行了测试的带T。在卷出卷盘21和卷绕卷盘22之间，设置有第1送出部23，将从卷出卷盘21卷出的带T向推进机构3送出；第1链齿轮M及第1链齿轮导杆 25，在施加规定的张力的状态下沿铅直下方(X方向)面向推进机构3送出被第1送出部23 送来的带T ；第2链齿轮沈及第2链齿轮导杆27，向卷绕卷盘22导出通过推进机构3的带 T ；第2送出部观，将从这些导出的带T向卷绕卷盘22送出。推进机构3起到移动机构的功能。推进机构3，包括推进台31，可沿X方向、Y方向、Z方向以及绕Z轴(Θ方向)移动(自由移动)地被支持；推进盘32，被安装在推进台 31的同时与后述的探板42(的探针43的接触端431)对向设置，与带T的表面活动连接(摺接)；带钳(〒一夕7 > ^ )33，设置在推进盘32的Y方向的两端，且向X方向延伸，保持带T。进行测试的带T被带钳33所保持，由此带T上的TCP 8设置在推进盘32上。另外， 通过后述驱动部72的控制，一旦推进台31移动，则被安装在推进台31上的推进盘32也一起移动。这在本说明书中有时会仅表现为“通过驱动部72的控制使推进盘32移动”。探测机构4，包括基座41，在Z方向上远离推进机构3规定间隔地设置，在中央部设有开口 ；探板42，设置在基座41的开口处，和推进盘32对向设置。在探板42上，设有向推进机构3—侧(Z方向)突出的探针43。探针43的针头即为与TCP 8的端子(垫片)81 相接触的接触端。探针43与控制装置7电连接。照相机构5，包括照相机51，具有2个视野；移动部52，至少在推进机构3 (或者， 被推进机构3所保持的TCP 8)和探测机构4(的探针43)之间的空间内可在X方向、Y方向以及Z方向上移动地支持该照相机51。在此，照相机51，由具有CCD (Charge Coupled Device,电荷耦合元件)或CMOS (Complementary Metal Oxide kmiconductor，互补金属氧化物半导体)等的 2 个固体成像器件的数码相机构成。因此，照相机51，由于能从2个固体成像器件中分别获取图像，因此能够拍摄2个不同的视野。在本实施例中，假设照相机51的位置为Z轴的原点，则照相机51的2个视野设定为Z轴的正负两个方向。即，设定第1视野包含探测机构4(的探针43)，第2视野包含推进机构3 (所保持的TCP 8)。由此，照相机51能够拍摄推进机构 3以及探测机构4这两方。再有，第1视野的法线以及第2视野的法线，设定为沿Z轴方向即位于和Z轴相平行的同一直线上。因此，2个视野能够反映出正对着同一高度(X方向) 的相反方向的位置。另外，作为照相机51，并不限定为具有2个固体成像器件的数码相机，具有2个视野的各种数码相机均能够适用。例如，由具有1个固体成像器件，设置在该固体成像器件的光轴上的棱镜，能够切换视野的快门等构成的具有2个视野的数码相机也可以适用。测量部照相机6，由具有CXD或CMOS等固体成像器件的公知数码相机构成。测量部照相机6，在Z方向上，设置在和探测机构4的推进机构3相对一侧和相反一侧。即，推进机构3、探测机构4、测量部照相机6，以此顺序并列设置在Z方向上。测量部照相机6的拍摄方向，设置为沿Z轴方向，且，位于和被保持在探板42的略中央部以及推进盘32上的 TCP8处于同一直线上。因此，测量部照相机6，能够通过形成在探板42中央部的后述的开口部425拍照TCP 8。控制装置7，包括输入部71，检测用户的操作输入；驱动部72，控制推进机构3、 照相机构5及测量部照相机6的驱动；存储部73，存储与TCP测试装置1的动作等相关的各种信息；图像处理部74，针对照相机51及测量部照相机6的拍摄数据进行图像处理；测试部75，用图中未表示的测试仪进行TCP 8的测试；主控制部76，控制TCP测试装置1整体的动作。这里，测试仪，是安装在探测机构4上的，与探针43电连接，测量TCP 8的电学特性。其测量结果，被送到控制装置7中。图像处理部74具有测量部的功能，基于照相机51拍摄的探针43及TCP 8的图像， 测量探针43的接触端431和TCP 8的垫片81的位置偏差量。驱动部72具有的功能为，基于图像处理部74测量的位置偏差量，使推进机构3的推进台31向X、Y方向移动，进而通过使推进台31沿Z方向向接触端431移动，从而使推进盘32所保持的TCP 8的垫片81与接触端431接触。测试部75具有的功能为，在探针43的接触端431与TCP 8的垫片81接触的状态下，进行TCP 8的测试。这样的控制装置7，由计算机和该计算机上安装的程序构成。计算机，包括CPU等运算装置；内存、HDD (Hard Disc Drive，硬盘驱动器)等存储装置；键盘、鼠标、定位设备、 按钮、触摸面板等检测外部信息输入的输入装置；通过因特网、LAN(Local Area Network, 局域网)、WAN(Wide Area Network，广域网)等通信线路进行各种信息收发的I/F装置； LCD (Liquid Crystal Display，液晶显示器)或FED (Field Emission Display，场发射显示器)等显示装置。该计算机(硬件资源)由程序(软件)控制，通过硬件资源和软件资源的协作，实现上述输入部71、驱动部72、存储部73以及主控制部76。另外，上述程序，也可以以存储在软盘、⑶-ROM、DVD-ROM、IC内存等存储介质中的形态提供。〈TCP测试装置的测试动作>下面，参照图5针对TCP测试装置1所进行TCP 8的测试动作进行说明。在下文中，虽是以测试新的TCP 8为例进行说明，但如后所述，即使是更换了探板42、卷出卷盘21 的情况，也能够以同样的顺序进行测试。用户利用输入部71，输入带T所装载的TCP 8的位置信息(以下，称为“TCP位置信息”)和检查该TCP 8的探板42的位置信息(以下，称为“探测位置信息”)后，这些信息存储进存储部73中(步骤S 1)。在此，TCP位置信息中含有TCP 8上的对准标记的位置 (XY平面上的坐标)、被设置在TCP 8上的垫片81的位置(XY平面上的坐标)等。另外，探测位置信息中含有探板42上的探针43的位置(XY平面上的坐标)、进行位置校准的探针 43的针头位置(XY平面上的坐标)(以下，称为“对准位置”)、探针43的针头高度(Z方向的坐标)等。另外，在下文中，如图6所示，结合将多个探针43中被设置在四角的探针43 的位置作为第1 第4对准位置421 424的情况进行说明。在驱动部72的控制下，以带钳33保持带T的状态，推进台31移动，推进盘32呈相对探板42离开规定距离的状态。另外，在驱动部72的控制下，照相机51移动至推进盘 32和探板42之间(步骤S2)。TCP位置信息及探测信息被输入后，利用照相机51，测量位于第1 第4对准位置 421 424的探针43的针头高度(步骤。该探针43的针头高度，即从Z方向上的探板 42的表面到探针43的针头的距离。测量探针43的针头高度，首先，因仅获取面向探测机构4 一侧的固体成像器件中的信号，将照相机51的视野仅设为探测机构4 一侧，进而通过驱动部72的控制，照相机51移动至和第1对准位置421相对的位置处。接着，通过将照相机51的焦点对准位于第1对准位置421的探针43的针头，来测量该探针43的针头高度。 通过同样的方法，测量第2 第4对准位置421 似4上的探针43的针头高度。测量的针头高度，和步骤1中存储进存储部73中的针头高度相比，不同之处在于测量的针头高度存入存储部73中。测量针头高度后，利用照相机51，测量位于第1 第4对准位置421 4M的探针 43的针头位置(步骤S4)。该针头位置是探板42的推进机构3 —侧平面上的坐标(XY平面上的坐标)。探针43的针头位置的测量，首先，图像处理部74，将照相机51的视野仅设为探测机构4 一侧，进而通过驱动部72的控制，照相机51移动至和第1对准位置421相对的位置处，确认位于该第1对准位置421的探针43的针头高度后，根据拍摄数据测量对应该针头高度的探针43的针头位置。通过同样的方法，图像处理部74，测量第2 第4对准位置421 似4上的探针43的针头位置。测量的针头位置，和步骤1中存储进存储部73 中的针头位置(对准位置)相比，不同之处在于测量的针头高度存入存储部73中。针头位置测量之后，图像处理部74，测量步骤S4中检测出的第1 第4对准位置 421 似4所对应的TCP 8的垫片81的位置偏差量(步骤S。。具体的，首先，图像处理部 74,因仅获取面向推进机构3 —侧的固体成像器件中的信号，将照相机51的视野仅设为推进机构3—侧，即设为TCP 8—侧。图像处理部74，根据其视野中包含的TCP 8的对准标记，确认TCP8上的垫片81的大致位置。并且，通过驱动部72的控制，照相机51移动至第 1对准位置421相对的位置处。照相机51移动后，图像处理部74，因仅获取面向探测机构 4 一侧的固体成像器件中的信号，将照相机51的视野切换至探板42 —侧，检测位于第1对准位置421处的探针43的针头位置，存储进存储部73中。图像处理部74再次将照相机51 的视野切换至TCP 8 一侧，将在Z方向上和第1对准位置421相对的TCP 8的垫片81进行边缘提取等的图像处理，由此检测垫片81的位置(XY平面上的坐标)，存储进存储部73中。 垫片81的位置检测出之后，图像处理部74，通过将该垫片81的位置和之前检测出的针头位置进行比较，测量垫片位置和针头位置的偏差量。该偏差量即为XY平面上的垫片81和针头位置之间的距离，更具体的，即为接触探针43的垫片81的位置(以下，称为“接触位置”)和针头位置之间的距离。该接触位置，以垫片81的边缘为基准任意设置。通过同样的方法，图像处理部74，测量第2 第4对准位置421 似4上的探针43的针头位置和垫片位置的偏差量。测量的偏差量，存储进存储部73中。这样的，垫片位置的偏差量的测量， 由于无需移动照相机51，只是进行视野的切换，因而能够防止测量结果中包含有照相机51 的移动误差。偏差量测量之后，主控制部76，进行探针43的针对准(步骤S6)。具体的，首先， 通过驱动部72的控制，照相机51转移出推进机构3和探测机构4夹持的位置，移动至在Z 轴方向上不干涉推进机构3及探测机构4的位置处。根据上述测量的偏差量，设置探板42 的X、Y方向上的位置。即，对第1 第4对准位置421 似4上的探针43，以和对向配置的垫片81的接触位置相接触的方式进行位置校准。在该状态下，通过驱动部72的控制，推进盘32移动至接触垫片81的跟前位置，之后，一边以任意的设定值单位向探板42 —侧移动，一边确认垫片81是否与探针43相接触。是否接触，是基于与探测机构4相连接的测试仪(图中未表示)中的信号确认的。如上所述，推进盘32以任意的设定值单位向Z方向移动后，探板42所包含的多个探针43中，与推进盘32所保持的TCP 8的垫片81相接触的比例不断增加。将该比例达到规定设定率时的推进盘32的位置设定为接触高度。该设定的接触高度存储进存储部73中。接触高度设定后，图像处理部74，确认接触最适合位置(步骤S7)。接触最适合位置为，例如，在距垫片81的各边等距离的位置，各探针43从垫片81的边缘有富余接触的位置。例如，推进盘32在移动至接触高度的状态下，推进盘32在X、Y方向上以任意的设定值单位移动，通过确认探针43对垫片81非接触的位置，得到接触最适合位置。得到接触最适合位置后，推进机构4，使推进盘32移动至该接触最适合位置处。推进盘32移动至接触最适合位置后，图像处理部74，通过测量部照相机6对推进盘32上的TCP 8的对准标记进行拍照，确认该对准标记的位置(步骤S8)。如图6所示，在探板42的略中央部，形成有开口部425。测量部照相机6，对从该开口部425中露出的TCP 8进行拍照。对准标记的位置，存储进存储部73中。由此，能够以存储部73中存储的对准标记的位置为基准，求导出接触最适合位置。接触最适合位置上的对准标记被存储后，测试部75，进行卷出卷盘21上卷绕的带 T所装载的TCP 8的测试(步骤S9)。具体的，推进盘32将卷出卷盘21上卷绕的带T依次送出，带钳33保持每个TCP 8的带Τ。在这种被保持的状态下，测量部照相机6对TCP 8的对准位置进行拍照，计算出该对准标记的位置和步骤S8中测量的对准标记的位置的偏差量，根据该偏差量在X、Y方向上移动推进盘32。因此，推进盘32，能够配置在接触最适合位置。接着，推进盘32在Z方向上移动到接触高度，使推进盘32上的TCP 8的垫片81与探板42的探针43相接触。该探针43，通过测试仪(图中未表示)与控制装置7电连接。测试部75，通过探针43与TCP 8交换电信号，由此确认TCP 8是否出现异常。确认完成后，推进盘32从探板42离开，带钳33所保持的带T被放开，将装载了推进盘32上配置的TCP 8的带T输送到卷绕卷盘22 —侧。这一连串的测试动作，一直进行到卷出卷盘21上卷绕的带T没有为止。如以上说明，在本实施例中，由于在推进机构3和探测机构4之间的空间中设置有照相机51，因此，能够拍摄到探针43的接触端431和垫片81的端部。因此，根据这些拍摄数据，测量探针43和垫片81的位置偏差量，根据该位置偏差量使TCP 8移动，因而能够准确地进行探针43和垫片81的位置校准。另外，如图5所示，虽是对测试新的TCP 8的情况进行的说明，但即使是更换探板 42、卷出卷盘21的情况，不言而喻，也是能够利用上述相同的方法进行测试的。具体的，在更换探板42的情况下，从存储部73中读取已存的TCP位置信息或探测位置信息后，进行步骤S3 步骤S9的处理即可。另外，在更换卷出卷盘21的情况下，从存储部73中读取探针 43的针头高度、针头位置后，进行步骤S5 步骤S9的处理即可。另外，在本实施例中，虽是以照相机51具有2个视野为例进行的说明，但照相机51 如果能够设置在探针43和TCP 8之间的空间内，1个视野的照相机也适用。这种场合下，例如，照相机上设有能够绕X轴移动视野的移动机构，通过拍摄Z轴方向的正负两侧，能够实现和上述实施例同样的作用效果。本发明，适用于通过使对向设置的2个部件相接触而进行测试的各种装置。
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权利要求
1.一种TCP测试装置(1)，其特征在于，包括探针(43)，向第1方向(Z)突出，且，具有接触端G31)；推进器(3)，在所述第1方向(Z)上与所述探针的接触端(431)对向设置，且，保持具有垫片(81)的TCP⑶；照相机(51)，可移动地被支持在所述探针和所述TCP(S)之间的空间中，且，在该空间内拍摄所述探针^幻及所述TCP (8)；测量部(74)，根据所述照相机(51)拍摄的所述探针及所述TCP(S)的图像，测量所述探针^幻的接触端G31)和所述TCP(S)的垫片(81)的位置偏差量；驱动部(72)，根据所述测量部(74)测量的位置偏差量使所述推进器( 在与所述第1 方向(Z)垂直相交的第2方向(X，Y)上移动，通过使所述推进器C3)沿所述第1方向(Z) 面向所述接触端(431)移动，使得被所述推进器C3)保持的所述TCP(S)的垫片(81)与所述接触端(431)相接触；测试部(75)，在所述探针03)的接触端031)与所述TCP(S)的垫片(81)相接触的状态下，进行TCP⑶的测试。
2.根据权利要求1所述的TCP测试装置，其特征在于，所述照相机(51)，具有面向所述探针G3)方向的第1视野以及面向所述TCP⑶方向的第2视野；所述第1视野的法线以及所述第2视野的法线，位于沿所述第1方向(Z)的同一直线上。
全文摘要
TCP测试装置(1)，具有可移动地支持在探针(43)和TCP(8)之间的空间中的照相机(51)。通过该照相机(51)，能够拍摄探针(43)以及TCP(8)。根据这些拍摄数据测量探针(43)的接触端(431)和TCP(8)的垫片(81)的位置偏差量，根据该位置偏差量移动TCP(8)，进而准确地进行探针(43)和垫片(81)的位置校准。
文档编号G01R31/28GK102411122SQ201110140070
公开日2012年4月11日 申请日期2011年5月27日 优先权日2010年9月21日
发明者大塚荣治 申请人:株式会社泰塞克