专利名称：一种内装式压电加速度计的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及加速度传感器领域，特别涉及一种内装式压电加速度计。
背景技术：
目前市场上大部分加速度传感器是压电式加速度传感器，其中一部分产品只是一个敏感部分，输出的是电荷量，使用时需要配电荷放大器，这给使用带来不便；还有一部分虽然自带信号处理电路，但电路部分是由分离器件组成的，集成度不高，这会造成传感器体积大、重量大，还会影响长期可靠性。现有技术的主要缺点是1、现有压电式振动传感器有一部分只是敏感部分，只能产生微弱的电荷，使用时需配置电荷放大器，才能形成完整的振动传感器。这样就造成传感器体积大，成本高。2、现有内置电路的振动传感器，其电路部分一般为分离器件的，这样不利于有效的缩小体积，且可靠性一般。

实用新型内容针对现有技术中存在的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种内装式压电加速度计。本实用新型内装式压电加速度计采用如下技术方案一种内装式压电加速度计，其特征是包括螺纹环、绝缘环、绝缘垫、绝缘套、放大器组件、隔板、基座、螺钉、橡胶套、螺纹环、套筒、硅橡胶、外壳、加压螺纹环、质量块、压电片、 W-4TK插头、4芯屏蔽电缆，所述4芯屏蔽电缆与放大器组件相连，所述放大器组件由混合集成电路LH15、LH16、片贴电阻、片贴电容组成。所述基座和加压螺纹环材料为钛合金。所述质量块材料为高比重合金。所述压电片材料为钛酸锶钡。所述螺钉材料为不锈钢。本实用新型的优点是电荷放大器采用混合集成电路工艺制作，有效的缩小了体积、减轻了重量、提高了可靠性，降低了成本。

本实用新型有如下附图图1本实用新型内装式压电加速度计结构示意图图2放大器结构示意图图3放大器线路板示意图
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。实施例1，参考图1、图2和图3，本实用新型内装式压电加速度计包括螺纹环1、绝缘环2、绝缘垫3、绝缘套4、放大器组件5、隔板6、基座7、螺钉8、橡胶套9、螺纹环10、套筒11、硅橡胶12、外壳13、加压螺纹环14、质量块15、压电片16、W-4TK插头17、4芯屏蔽电缆18，所述4芯屏蔽电缆18与放大器组件5相连，所述放大器组件5由混合集成电路LH15 20、LH16 19、片贴电阻22、片贴电容21组成。所述基座7和加压螺纹环14材料为钛合金。 所述质量块15材料为高比重合金。所述压电片16材料为钛酸锶钡。所述螺钉8材料为不锈钢。
权利要求1.一种内装式压电加速度计，其特征是包括螺纹环(1)、绝缘环O)、绝缘垫(3)、绝缘套(4)、放大器组件(5)、隔板(6)、基座(7)、螺钉(8)、橡胶套(9)、螺纹环(10)、套筒(11)、 硅橡胶(12)、外壳(13)、加压螺纹环(14)、质量块(15)、压电片(16)、W-4TK插头(17),4 芯屏蔽电缆(18)，所述4芯屏蔽电缆(18)与放大器组件(5)相连，所述放大器组件(5)由混合集成电路1^15(20)、1^16(19)、片贴电阻(22)、片贴电容(21)组成。
2.根据权利要求1所述的一种内装式压电加速度计，其特征是所述基座(7)和加压螺纹环(14)材料为钛合金。
3.根据权利要求1所述的一种内装式压电加速度计，其特征是所述压电片(16)材料为钛酸锶钡。
4.根据权利要求1所述的一种内装式压电加速度计，其特征是所述螺钉(8)材料为不锈钢。
专利摘要一种内装式压电加速度计，设计加速度传感器领域。其特征是包括螺纹环、绝缘环、绝缘垫、绝缘套、放大器组件、隔板、基座、螺钉、橡胶套、螺纹环、套筒、硅橡胶、外壳、加压螺纹环、质量块、压电片、Y4-4TK插头、4芯屏蔽电缆，所述4芯屏蔽电缆与放大器组件相连，所述放大器组件由混合集成电路LH15、LH16、片贴电阻、片贴电容组成。所述基座和加压螺纹环材料为钛合金。所述质量块材料为高比重合金。所述压电片材料为钛酸锶钡。所述螺钉材料为不锈钢。本实用新型的优点是电荷放大器采用混合集成电路工艺制作，有效的缩小了体积、减轻了重量、提高了可靠性，降低了成本。
文档编号G01P15/09GK202210104SQ20112023943
公开日2012年5月2日 申请日期2011年7月8日 优先权日2011年7月8日
发明者刘军 申请人:青岛智腾微电子有限公司