专利名称：一种带振动补偿的压阻式压力传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种带振动补偿的压阻式压力传感器。
背景技术：
传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形到电量转换输出，但体积大成本高。相对于传统的机械量传感器，MEMS压力传感器的尺寸更小,最大的不超过一个厘米，相对于传统“机械”制造技术，其性价比大幅度提高。目前的MEMS压力传感器主要为硅压阻式压力传感器，其采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。通常情况下该种压力传感器可以准确测量环境压力，但如果环境产生瞬间振动时，会对半导体电阻应变片产生瞬时冲击，导致损坏，进一步影响测量精度，亟待改进。

发明内容
针对现有技术存在的问题，本发明的目的在于提出一种带振动补偿的压阻式压力传感器，通过本发明的实施，避免瞬时冲击对测量精度的影响。为达此目的，本发明采用以下技术方案一种带振动补偿的压阻式压力传感器，包括由四个半导体电阻应变片组成的惠斯顿电桥，惠斯顿电桥与控制电路之间连接有电信号滤波器，用于将振动引起的瞬间电压变化的毛刺滤掉；且每个半导体电阻应变片都通过缓冲垫片安装在探测外壳上。优选地，所述电信号滤波器为电感电容滤波器。优选地，所述电信号滤波器连接在所述惠斯顿电桥的输出端或输入端。优选地，所述缓冲垫片为圆形、矩形或椭圆形。优选地，所述缓冲垫片的材质为橡胶。与现有技术相比，本发明具有以下有益效果本发明中，通过在半导体电阻应变片与探测器外壳之间增加缓冲垫，减轻环境振动对其损害，并在测量电路中增加滤波器，将振动引起的瞬间电压变化的毛刺滤掉，既保证了测量精度，又保护了半导体电阻应变片，延长了寿命。发明附1是本发明实施例1提供的一种带振动补偿的压阻式压力传感器示意图。
具体实施例方式本发明实施例1提供了一种带振动补偿的压阻式压力传感器，如

图1所示，包括由四个半导体电阻应变片I组成的惠斯顿电桥，每个半导体电阻应变片都通过缓冲垫片2安装在探测外壳10上，惠斯顿电桥的输出端或输入端连接有电信号滤波器3，用于将振动弓丨起的瞬间电压变化的毛刺滤掉，可以为电感电容滤波器。其中，缓冲垫片2可以为圆形、矩形、椭圆形或其他形状，其材质可以为橡胶。以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种带振动补偿的压阻式压力传感器，其特征在于，包括 由四个半导体电阻应变片组成的惠斯顿电桥，惠斯顿电桥与控制电路之间连接有电信号滤波器，用于将振动引起的瞬间电压变化的毛刺滤掉；且每个半导体电阻应变片都通过缓冲垫片安装在探测外壳上。
2.根据权利要求1所述的带振动补偿的压阻式压力传感器，其特征在于，所述电信号滤波器为电感电容滤波器。
3.根据权利要求1所述的带振动补偿的压阻式压力传感器，其特征在于，所述电信号滤波器连接在所述惠斯顿电桥的输出端或输入端。
4.根据权利要求1所述的带振动补偿的压阻式压力传感器，其特征在于，所述缓冲垫片为圆形、矩形或椭圆形。
5.根据权利要求1所述的带振动补偿的压阻式压力传感器，其特征在于，所述缓冲垫片的材质为橡胶。
全文摘要
本发明公开了一种带振动补偿的压阻式压力传感器，包括由四个半导体电阻应变片组成的惠斯顿电桥，惠斯顿电桥与控制电路之间连接有电信号滤波器，用于将振动引起的瞬间电压变化的毛刺滤掉；且每个半导体电阻应变片都通过缓冲垫片安装在探测外壳上。本发明中，通过在半导体电阻应变片与探测器外壳之间增加缓冲垫，减轻环境振动对其损害，并在测量电路中增加滤波器，将振动引起的瞬间电压变化的毛刺滤掉，既保证了测量精度，又保护了半导体电阻应变片，延长了寿命。
文档编号G01L1/22GK103017949SQ20121049553
公开日2013年4月3日 申请日期2012年11月28日 优先权日2012年11月28日
发明者骆垠旭, 瞿庆广, 查德昌, 杨齐红, 王汉才 申请人:安徽埃克森科技集团有限公司