专利名称：一种样品承载装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体失效分析领域，特别涉及一种样品承载装置。
背景技术：
在半导体失效分析时，通常将测试样品放入至热的酸性、碱性或其他有机溶液中 以剥离测试样品的表层材料。现有技术中，如图1所示，上述溶液通常被置于烧杯10或类 似的容器中进行加热，若测试样品放置于上述热溶液中的时间不需要太长，则通常使用塑 料的或金属的镊子11夹住测试样品12，手持镊子11将其夹住的测试样品12放置手烧杯 10中的液体中一段时间后，将镊子11和其夹住的测试样品12从烧杯10中取出；若测试样 品放置于上述热溶液中需要的时间较久，则通常先将测试样品12放入至烧杯10中，待测试 样品12可从烧杯10中拿出时，通过塑料或金属的镊子11夹住测试样品12将其从烧杯10 中取出。上述方法中，由于温度较高，上述热溶液通常会对塑料镊子或金属镊子造成腐蚀 和损害。同时采用上述方法还有可能使上述热溶液溅至操作人员身上，对操作人员造成伤害。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种样品承载装置，以解决现有技术中所使 用的样品承载装置使用不便，会对镊子等拾取样品的器械造成腐蚀损害，易使装置中的液 体溅出，伤害操作人员的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种样品承载装置，包括载物篮，用于承载测试样品；支架，用于固定所述载物篮；所述支架包括底座和竖 直立柱，所述竖直立柱固定于所述底座上，所述竖直立柱上具有一竖直中空开口 ；所述载物 篮包括底部、侧壁和提拿固定杆，所述提拿固定杆的第一端固定于所述载物篮的侧壁上，第 二端具有一水平延伸端，所述水平延伸端穿过所述支架的竖直立柱上的竖直中空开口，通 过螺丝将所述水平延伸端固定于所述竖直立柱上，从而使所述载物篮固定于所述支架上； 所述载物篮的底部为中空网格状，所述网格包括横向网格和竖向网格。可选的，所述横向网格的高度低于所述竖向网格。可选的，所述载物篮的侧壁上分布多处中空洞。可选的，所述载物篮的底部和侧壁采用聚四氟乙烯制成。可选的，所述提拿固定杆采用聚四氟乙烯或不锈钢材质制成。本实用新型的样本承载装置中，由于所述载物篮的侧壁上具有许多中空洞，所述 载物篮的底部为中空网格状结构，故而当承载所述测试样品的载物篮放入至盛有液体的容 器中时，容器中的液体可进入至所述载物篮中对其中的测试样品发生作用。同时，由于所述 载物篮上还具有提拿固定杆，通过提拿固定杆将所述载物篮放入所述容器中或将其从所述 容器中取出时，可有效避免容器中的液体溅出至操作人员的身上。将测试样品从所述载物篮中取出时，由于载物篮已不存在酸碱溶液，因此不会对提取所述测试样品的工具如镊子 造成腐蚀和损害。因此，本实用新型的样品承载装置具有很好的安全保护性能。

图1为现有技术的样品承载装置结构示意图；图2为本实用新型的样品承载装置结构示意图；图3为所述载物篮底部结构的俯视图；图4a和图4b为所述载物篮底部结构的侧视截面图；图5为本实用新型的样品承载装置的使用状态示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图对本 实用新型的具体实施方式
做详细的说明。本实用新型所述的样品承载装置可广泛应用于多种工艺领域，并且可以利用多种 替换方式实现，下面是通过较佳的实施例来加以说明，当然本实用新型并不局限于该具体 实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑地涵盖在本实用新型的保护范 围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细描述，在详述本实用新型实施例时，为了 便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。请参阅图2，图2为本实用新型的样品承载装置的结构示意图。如图2所示，本实 用新型的样品承载装置包括载物篮200，用于承载测试样品；支架210，用于固定所述载物篮200。所述支架210包括底座211和竖直立柱212，所述竖直立柱212固定于所述底座 211上，所述竖直立柱212上具有一竖直中空开口(图中未示)。所述载物篮200包括底部201、侧壁202和提拿固定杆203。所述提拿固定杆203的第一端固定于所述载物篮200的侧壁202上，第二端具有 一水平延伸端204，所述水平延伸端204可穿过所述支架210的竖直立柱212上的竖直中空 开口，通过旋上螺丝213将所述水平延伸端204固定于所述竖直立柱212上，从而使所述载 物篮200固定于所述支架210上。松动所述螺丝213，所述水平延伸端204可在所述竖直中 空开口内上下移动，以调节所述载物篮200的高度位置；去掉所述螺丝213，可将所述水平 延伸端204从所述竖直立柱212的竖直中空开口内抽出，从而使所述载物篮200从所述支 架210上取下。所述载物篮200的侧壁202上分布多处中空洞205。所述载物篮200的底部结构 如图3和图4a-图4b所示，图3为所述载物篮200底部结构的俯视图，图4a_图4b为所述 载物篮200底部结构的剖视图。如图3及图4a-图4b所示，所述载物篮200的底部201为 中空网格状，所述网格包括横向网格206和竖向网格207，所述横向网格206的高度低于所 述竖向网格207。请参看图4a，测试样品220放置于所述载物篮的底部时，若所述测试样品 220为用于观察其横截面的测试样品，则将所述测试样品220放置于所述载物篮200底部
4201横向网格206之上、两个竖向网格207之间，使所述测试样品220的横截面朝上，不接触 所述载物篮200的底部并平行于所述载物篮200的底部，这样可确保所述测试样品220的 横截面充分暴露于溶液中。请参看图4b，若所述测试样品221为用于观察其某一平面的测 试样品，则将所述测试样品221放置于所述载物篮200底部201高度较高的竖向网格207 之上，使所述测试样品221上用于观察的平面朝上，不接触所述载物篮200的底部并平行于 所述载物篮200的底部，使该用于观察的平面充分暴露于溶液中。所述载物篮200的底部201和侧壁202采用聚四氟乙烯制成，聚四氟乙烯具有抗 酸、抗碱，抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂，还具有耐高温的特点。所述提拿固定杆203可采用聚四氟乙烯制成，也可采用不锈钢材质制成。请参阅图5，图5为本实用新型的样品承载装置的使用状态示意图。如图5所示， 本实用新型的样品承载装置在使用时，首先将测试样品222放入所述载物篮200中；其次握 持所述载物篮200上的提拿固定杆203将所述载物篮200放入盛有酸性、碱性或其他有机 溶液的容器230中，并通过螺丝213将所述提拿固定杆203的水平延伸端204固定于所述 支架210的竖直立柱212上；再次，对所述容器230进行加热，使其内的热的酸性、碱性或其 他有机溶液剥离掉所述测试样品222的表层材料；最后，经过足够时间后，去掉螺丝213将 所述提拿固定杆203的水平延伸端204从所述支架210上取下，握持所述载物篮200上的 提拿固定杆203将所述载物篮200从所述容器230中拿出，通过镊子将所述测试样品222 从所述载物篮200中取出。本实用新型的样本承载装置中，由于所述载物篮200的侧壁202上具有许多中空 洞205，所述载物篮的底部201为中空网格状结构，故而当承载所述测试样品222的载物篮 200放入至盛有液体的容器230中时，容器230中的液体可进入至所述载物篮200中对其中 的测试样品222发生作用。同时，由于所述载物篮200上还具有提拿固定杆203，通过提拿 固定杆203将所述载物篮200放入所述容器230中或将其从所述容器230中取出时，可有 效避免容器230中的液体溅出至操作人员的身上。将测试样品222从所述载物篮200中取 出时，由于载物篮200已不存在酸碱溶液，因此不会对提取所述测试样品222的工具如镊子 造成腐蚀和损害。因此，本实用新型的样品承载装置具有很好的安全保护性能。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种样品承载装置，其特征在于，包括载物篮，用于承载测试样品；支架，用于固定所述载物篮；所述支架包括底座和竖直立柱，所述竖直立柱固定于所述底座上，所述立柱上具有一竖直中空开口；所述载物篮包括底部、侧壁和提拿固定杆，所述提拿固定杆的第一端固定于所述载物篮的侧壁上，第二端具有一水平延伸端，所述水平延伸端穿过所述支架的立柱上的竖直中空开口，通过螺丝将所述水平延伸端固定于所述竖直立柱上，从而使所述载物篮固定于所述支架上；所述载物篮的底部为中空网格状，所述网格包括横向网格和竖向网格。
2.如权利要求1所述的样品承载装置，其特征在于，所述横向网格的高度低于所述竖 向网格。
3.如权利要求1所述的样品承载装置，其特征在于，所述载物篮的侧壁上分布多处中 空洞。
4.如权利要求1所述的样品承载装置，其特征在于，所述载物篮的底部和侧壁采用聚 四氟乙烯制成。
5.如权利要求1所述的样品承载装置，其特征在于，所述提拿固定杆采用聚四氟乙烯 或不锈钢材质制成。
专利摘要本实用新型提供一种样品承载装置，包括载物篮，用于承载测试样品；支架，用于固定所述载物篮；所述支架包括底座和竖直立柱，所述竖直立柱固定于所述底座上，所述竖直立柱上具有一竖直中空开口；所述载物篮包括底部、侧壁和提拿固定杆，所述提拿固定杆的第一端固定于所述载物篮的侧壁上，第二端具有一水平延伸端，所述水平延伸端穿过所述支架的竖直立柱上的竖直中空开口，通过螺丝将所述水平延伸端固定于所述竖直立柱上，从而使所述载物篮固定于所述支架上；所述载物篮的底部为中空网格状，所述网格包括横向网格和竖向网格，所述横向网格的高度低于所述竖向网格。本实用新型的样品承载装置具有很好的安全保护性能。
文档编号G01R31/26GK201732103SQ20102020089
公开日2011年2月2日 申请日期2010年5月21日 优先权日2010年5月21日
发明者卢秋明, 张玉多, 曾国胜, 李德勇 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司