专利名称：高温电阻率测量台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种高温电阻率测量装置，特别涉及一种四引线法测量电阻率的装置，用于高温下材料的电学输运性质的测量。
背景技术：
材料电学输运性质的测量，对研究材料的性质是十分重要的。在半导体工业中，随 着样品温度的升高，样品的电阻率会发生巨大的变化，这种变化对器件的选用和安全以及 仪器的精密度等有着至关重要的影响。在科研领域中，材料在高温区的相变往往伴随着电 学输运性质的突变，对这种突变进行表征，会对探索和理解材料物理性能起到指导作用。高温电学性质测量难免受到测量台的限制，现有的测量台大致可以分为金属测量 台和非金属测量台两类。1、金属测量台。金属具有良好的导电性，所以当制作成电学测量台搭载样品时，必须要考虑绝缘 问题。首先样品和测量台之间要绝缘，其次样品上引出的导线和测量台上的导线连接部位 要与样品台绝缘。而现有测量台一般常用到的绝缘介质，比如聚四氟乙烯等，其最高耐温温 度不超过500°C，这样会大大限制测量台的温度使用区间。而若使用石英或者金刚石等可 耐高温绝缘的材料，其加工工艺复杂、成本高昂，因此限制了这类测量台的开发和使用。此 夕卜，高温下通常利用热电偶测量温度，而热电偶测试顶端需要与金属测量台绝缘，故在现有 设备中，热电偶往往与金属测量台不直接接触，因此存在测温不准确的问题。2、非金属测量台。常用的非金属测量台，往往使用到工程塑料等高分子聚合物，虽然可以解决绝缘 问题，但是现有工程塑料耐温最高仅为600°C，其导热性和耐高温的性质会限制测量台的温 度使用区间。另外，现有的各种测量台，被测样品上引出的导线与测量台上的导线连接部位，一 般均使用焊锡焊接或者弹簧压片的方式连接。但是高温下存在焊锡熔化、弹簧压片失去弹 性的问题，使得连接部分松动滑落，造成测量失败。所以寻找合适的材料和合理的合计方案，去解决现有测量台存在的问题，得到一 个在高达800°C的温度范围内依然能够良好支持电学性质的测量台具有十分重要的意义。

发明内容
本发明的目的在于解决现有测量台耐温温度低、导热性差、测温不准确、加工工艺 复杂的问题。本发明提供一种高温电阻率测量台，包括金属样品台，具有第一圆孔和第二圆 孔；六方氮化硼陶瓷衬底，镶嵌在金属样品台上；第一热电偶和第二热电偶，第一热电偶的 测量端位于金属样品台的第一圆孔中，第二热电偶穿过金属样品台的第二圆孔，其测量端 位于六方氮化硼陶瓷衬底上方，并被压在样品表面上。
根据本发明提供的高温电阻率测量台，其中六方氮化硼陶瓷衬底上具有4个带孔 金属片，4个带孔金属片分别通过4个螺丝固定在六方氮化硼陶瓷衬底上。4个带孔金属片 分别通过纯银焊接与4根单芯金属线相连接，4根单芯金属线上分别套有陶瓷管。测试前， 将4根金属丝的一端在螺丝上缠绕压紧、另一端被粘合在样品表面，4根单芯铜线连接在合 适的电学测量仪表(比如吉时利2400)上，以提供测试电流。根据本发明提供的高温电阻率测量台，其中金属样品台由紫铜制成与现有技术相比，本发明所提供的高温电阻率测量台具有耐温温度高、导热性好、 测温准确、容易加工成型的优点，可以满足高温(< 800°C )下电阻率测量的要求。


以下参照附图对本发明实施例作进一步说明，其中图1是本发明高温电阻率测量台的俯视图。图2是图1中的高温电阻率测量台沿A-A线的剖面示意图。图3是图1中的高温电阻率测量台的背面示意图。图中各数字所代表的内容为401、衬底；402、样品台；4021、样品台第一部分； 4022、样品台第二部分；101、单芯铜线；102、陶瓷管；103、带孔铜片；104、铜螺丝；105、铜 丝；201、圆孔；202、热电偶；203、圆孔；204、热电偶；301、螺丝；302、铜片；303、六方氮化硼 陶瓷压片；304、螺丝。
具体实施例方式实施例1如图1、2、3所示，本实施例的高温电阻率测量台包括具有凹槽的紫铜样品台402， 凹槽中镶嵌有六方氮化硼陶瓷衬底401。紫铜样品台与六方氮化硼陶瓷衬底用套有铜片 302的螺丝301固定。其中紫铜样品台具有平行于六方氮化硼陶瓷衬底的第一部分4021以 及垂直于六方氮化硼陶瓷衬底的第二部分4022。上述紫铜样品台的第一部分4021上具有 圆孔203，圆孔203的延伸方向基本垂直于六方氮化硼陶瓷衬底。上述紫铜样品台的第二部 分4022具有圆孔201，圆孔201的延伸方向基本平行于六方氮化硼陶瓷衬底。圆孔201中 填充有氮化硼粉末，两端用高温水泥封堵，用以使热电偶202的测量端固定于圆孔201中， 以读出样品台的温度。圆孔203用于穿过热电偶204，热电偶204的测量端位于六方氮化硼 陶瓷衬底上方，并被六方氮化硼陶瓷压片303轻压在样品表面上，以读出样品表面的实际 温度。六方氮化硼陶瓷压片通过螺丝304固定在六方氮化硼陶瓷衬底表面。热电偶202和 热电偶204的非测量端被铜片302和螺丝301固定于紫铜样品台上。六方氮化硼陶瓷衬底上具有4个带孔铜片103，4个带孔铜片分别通过4个铜螺丝 104固定于六方氮化硼陶瓷衬底上。4个带孔铜片通过纯银焊接分别与4根单芯铜线101 相连接。4根单芯铜线上分别套有陶瓷管102。4根单芯铜线连接在合适的电学测量仪表 (比如吉时利2400)上，以提供测试电流。测试前，用高温银浆分别将4根铜丝105的一端粘合在样品表面，4根铜丝的 另一端分别在4个铜螺丝上缠绕压紧。测量时，将样品台整体放入可变温的高温炉中 ((SOO0C )。4根铜丝105、4个铜螺丝104、4个带孔铜片103和4根单芯铜线101组成导电通路，将电学测量仪表(比如吉时利2400)的电流引入到样品上，热电偶202和热电偶 204分别测量样品台的温度和样品表面的实际温度，从而可以用四引线法精确得到样品在 不同温度下的电阻。 根据本发明提供的高温电阻率测量台，其衬底由六方氮化硼陶瓷构成。六方氮化 硼具有良好的绝缘性，且在高温下具有近似于金属的导热性，六方氮化硼的工作温度上限 为1000°C，可以满足高温(彡SOO0C )下电阻率测量的要求，另外六方氮化硼莫氏硬度为2， 因此容易加工成型。六方氮化硼陶瓷衬底镶嵌在紫铜样品台上，从而使测量台的结构更坚 固。此外，紫铜和六方氮化硼优良的导热性，又进一步保证了在高温环境中温度测量的准确 性。因此，本实施例的测量台既具有非金属测量台的绝缘性好、样品可直接接触的优点，又 具有金属测试台导热率高、耐高温的优点。根据本实施例的测量台，两只热电偶分别监控样品表面温度和样品台温度，从而 减小了样品台和样品之间的温度误差，保证了高温电阻率测量中温度的准确性。根据本实施例的测量台，铜丝与铜螺丝的机械结合代替了焊锡焊接，方便了样品 的取换，具有良好的导电性，同时避免了高温下焊锡熔化、弹簧压片失去弹性的问题。纯银 焊接保证了连接的耐高温性和良好的导电性。4根陶瓷管102分别套于4根单芯铜线上，保 证了单芯铜线的耐高温性和绝缘性。根据本实施例的测量台，其中样品台也可以采用其他的形状，如H形、圆盘形等， 只要该样品台能够将六方氮化硼陶瓷衬底镶嵌于其中即可。样品台的形状可以依据高温炉 的环境而改变，以达到方便样品台放置的目的。热电偶的布置也可以根据样品台形状的改 变而改变，只要一个热电偶的测量端位于样品台的圆孔中、另一热电偶的测量端穿过样品 台的圆孔即可。样品台优选为导热率好且造价低的紫铜，但可由铁、不锈钢、金、银、钼等导热率好 的其它金属制成。铜片302、带孔铜片103、铜螺丝104、铜丝105和单芯铜线101也可由铁、不锈钢、 金、银、钼等导热率好的其它金属制成。实施例2本实施例提供的测量台与实施例1中提供的测量台的区别在于，六方氮化硼陶瓷 衬底不是镶嵌在金属样品台上，而是单独使用。一个热电偶穿过六方氮化硼陶瓷衬底，其测 量端被压在样品表面，用于测量样品的温度。另一个热电偶的测量端位于六方氮化硼陶瓷 衬底的通孔中，用于测量衬底的温度。因为六方氮化硼具有良好的绝缘性，且在高温下具有近似于金属的导热性，因此 热电偶可与衬底直接接触(例如热电偶的测量端位于衬底的通孔中)，从而避免温度测量 不准确的问题。最后所应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制。尽管参 照实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本发明的技术方 案进行修改或者等同替换，都不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明 的权利要求范围当中。
权利要求
一种高温电阻率测量台，其特征在于该测量台包括金属样品台，具有第一圆孔和第二圆孔；六方氮化硼陶瓷衬底，镶嵌在金属样品台上；第一热电偶和第二热电偶，第一热电偶的测量端位于金属样品台的第一圆孔中，第二热电偶穿过金属样品台的第二圆孔，第二热电偶的测量端位于六方氮化硼陶瓷衬底上方，并被压在样品表面上。
2.根据权利要求1所述的高温电阻率测量台，其特征在于，金属样品台与六方氮化硼 陶瓷衬底用套有金属片的螺丝固定。
3.根据权利要求1所述的高温电阻率测量台，其特征在于，第一热电偶和第二热电偶 的非测量端被上述金属片固定。
4.根据权利要求1所述的高温电阻率测量台，其特征在于，上述第一圆孔中填充有氮 化硼粉末，第一圆孔两端用高温水泥封堵。
5.根据权利要求1所述的高温电阻率测量台，其特征在于，上述第二热电偶的测量端 被六方氮化硼陶瓷压片被压在样品表面上，六方氮化硼陶瓷压片固定在六方氮化硼陶瓷衬 底表面。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的高温电阻率测量台，其特征在于，金属样品台 由紫铜制成。
7.根据权利要求1至5中任意一项所述的高温电阻率测量台，其特征在于，4个带孔金 属片分别通过4个螺丝固定在六方氮化硼陶瓷衬底上，4根金属丝的一端分别在4个螺丝上 缠绕压紧、另一端被粘合在样品表面。
8.根据权利要求7所述的高温电阻率测量台，其特征在于，4根单芯金属线分别通过纯 银焊接与4个带孔金属片相连接，4根单芯金属线上分别套有陶瓷管。
9.根据权利要求7所述的高温电阻率测量台，其特征在于，带孔金属片、螺丝、金属丝 的材料为铜。
全文摘要
本发明提供一种高温电阻率测量台，包括金属样品台，具有第一圆孔和第二圆孔；六方氮化硼陶瓷衬底，镶嵌在金属样品台上；第一热电偶和第二热电偶，第一热电偶的测量端位于金属样品台的第一圆孔中，第二热电偶穿过金属样品台的第二圆孔，其测量端位于六方氮化硼陶瓷衬底上方，并被压在样品表面上。其中六方氮化硼陶瓷衬底上具有4个带孔金属片，其分别通过螺丝固定，4个带孔金属片分别通过纯银焊接与4根单芯金属线相连接。测试前，将4根金属丝的一端在螺丝上缠绕压紧、另一端被粘合在样品表面。本发明所提供的高温电阻率测量台具有耐温温度高、导热性好、测温准确、容易加工成型的优点。
文档编号G01R27/02GK101949959SQ20101028094
公开日2011年1月19日 申请日期2010年9月13日 优先权日2010年9月13日
发明者曹石, 李建奇, 杨槐馨, 田焕芳 申请人:中国科学院物理研究所