专利名称：基于热损失工作方式的圆形铂金薄膜二维风速风向传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型提供了一种二维风速风向传感器结构，利用电阻抗断层成像(EIT)测 量原理进行传感计算，以圆形钼金薄膜作为传感薄膜，基于热损失方式工作，以热分布变化 所产生的圆形钼金薄膜电阻率分布的变化计算风速大小和风的方向。
背景技术：
风速风向传感器是重要的传感器之一，有着非常广泛的用途。目前的大多数风速 风向传感器采用集总参数的测量方法，例如，检测热敏电阻变化或平板电容变化的方法。无 法直接定量表示传感结构面上各点的风速和风向。钼金是最常用的热敏电阻材料，对于具有原始热分布的钼金薄膜，在薄膜面上的 空气流动必然导致热分布变化，进而引起钼金薄膜电阻率分布的变化，通过检测薄膜上各 点电阻率变化的大小和位置，可以计算得到风速的大小和风向。电阻抗断层成像(EIT)技术采用电流激励/电压测量，并通过成像算法计算待检 测材料的电阻率分布。目前EIT技术主要用于医学诊断。利用EIT技术计算传感薄膜材料电阻率分布变化，进而进行风速风向传感计算的 传感器结构。利用整个传感薄膜材料电阻率分布的变化对外界物理量进行传感表征，可以 反映传感薄膜材料面上任意点的电阻率参数的变化。
发明内容技术问题本实用新型的目的是提出一种基于热损失工作方式的圆形钼金薄膜二 维风速风向传感器，该传感器利用EIT技术计算传感薄膜材料电阻率分布变化，进而进行 风速风向传感计算。技术方案本实用新型的基于热损失工作方式的圆形钼金薄膜二维风速风向传感 器的最下层是半导体硅衬底，在硅衬底上制作发热电阻，在具有发热电阻的硅衬底之上是 二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层之上采用圆形的钼金薄膜作为传感面，钼金电极位于圆 形的钼金薄膜的圆周外；由发热电阻产生的热量形成圆形的钼金薄膜电阻率的初始分布， 流动的空气移动了热量并导致圆形的钼金薄膜电阻率分布发生变化，利用热分布变化引起 钼金薄膜电阻率分布变化的原理测量风速和风向。所述的钼金电极是用于电流激励和用于电压测量的16个钼金电极，这些电极沿 着圆形的钼金薄膜边界圆周均勻分布。以圆形的钼金薄膜为传感材料。其传感原理是在具有初始热分布的圆形钼金薄 膜传感面上的空气流动导致热分布变化，进而引起电阻率分布的变化，通过检测电阻率变 化的大小和位置计算得到气流的大小和方向。具有传感器结构简单、加工工艺简单的特点。工作时，首先首先通过两个发热电阻连接电极对衬底上的发热电阻施加电流产生 热量，使得圆形钼金薄膜形成初始热场下的电阻率分布。当有空气流过钼金薄膜表面的圆 形区域时，因为热量的流失将使热场分布发生变化，并既而使钼金薄膜圆形区域上电阻率
3分布产生变化。根据各点电阻率的大小定量计算风速大小和风向。有益效果本实用新型的最大优点在于传感器结构简单，对加工工艺的灵敏度低。 因为采用电阻率分布变化来检测风速和方向，因此，是对于变化的相对值进行检测。不同于 传统的基于特定点的参数采样或者对集总参数采样的传感方式，它能够真实地反映传感面 上场的分布情况，因为是对整个传感区进行计算，因此，制作误差被平均化，减小了系统误 差。同时，本底电阻率分布可以作为基本参考，将实测分布与其进行相减，可以完全滤出初 始工艺误差。基于算法的信息处理方法更易实现智能化。

图1传感器结构示意图，图2是图1中A-A断面图，图3是图1中B-B断面图。其中有，半导体硅衬底101，采用掺杂技术制作的发热电阻102，热生长制作的二 氧化硅层103，圆形钼金薄膜104，电流激励和电压检测的金属电极105，共计16个；发热电 阻的连接电极106是，发热电阻的连接电极引线孔107。
具体实施方式
本实用新型提出的基于热损失工作方式的圆形钼金薄膜二维风速风向传感器利 用圆形钼金薄膜上各点因为热损失不同产生热分布变化，既而引起电阻率变化的原理测量 风速和风向。其结构特征在于采用圆形的钼金薄膜104作为传感面。图1给出了传感器结 构示意图。传感器的最下层是半导体硅衬底101，在硅衬底101上制作发热电阻102(图中 虚线绘制的折弯型图形)，在具有发热电阻102的硅衬底101之上是二氧化硅绝缘层103， 二氧化硅绝缘层103之上是钼金薄膜。钼金薄膜主体104形状为圆形，该圆形区域为主传 感面，沿着圆形边界一周均勻分布着16个即可用于电流激励也可用于电压测量的测试电 极 105。本实用新型的传感器有多种制作方法，这里以采用常规半导体器件工艺制作本发 明的传感器进行说明。首先选择N型半导体硅片101。热生长300纳米厚度的氧化层后通过光刻工艺形 成发热电阻102图形。采用离子注入或热扩散方法在发热电阻102图形区域掺入P型杂质， 浓度控制方块电阻为200欧姆/ 口。去除所有氧化层以保证表面的平整性。再热生长500 纳米氧化层103。采用光刻工艺制作发热电阻的引线孔106。采用剥离工艺制作钼金图形， 即首先在二氧化硅层103上旋涂光刻胶并光刻出钼金薄膜图形，采用溅射工艺在表面沉积 一层钼金，最后去除光刻胶以及光刻胶上的钼金，留下圆形钼金传感薄膜区104、16个测试 电极105和2个发热电阻连接电极106。
权利要求1.一种基于热损失工作方式的圆形钼金薄膜二维风速风向传感器，其特征在于该传感 器的最下层是半导体硅衬底(101)，在硅衬底(101)上制作发热电阻(102)，在具有发热电 阻(10 的硅衬底(101)之上是二氧化硅绝缘层(103)，二氧化硅绝缘层(10 之上采用圆 形的钼金薄膜(104)作为传感面，钼金电极(105)位于圆形的钼金薄膜(104)的圆周外。
2.根据权利要求1所述的基于热损失工作方式的圆形钼金薄膜二维风速风向传感器， 其特征在于所述的钼金电极(105)是用于电流激励和用于电压测量的16个钼金电极，这些 电极沿着圆形的钼金薄膜(104)边界圆周均勻分布。
专利摘要基于热损失工作方式的圆形铂金薄膜二维风速风向传感器的最下层是半导体硅衬底(101)，在硅衬底(101)上制作发热电阻(102)，在具有发热电阻(102)的硅衬底(101)之上是二氧化硅绝缘层(103)，二氧化硅绝缘层(103)之上采用圆形的铂金薄膜(104)作为传感面，铂金电极(105)位于圆形的铂金薄膜(104)的圆周外；由发热电阻产生的热量形成圆形的铂金薄膜电阻率的初始分布，流动的空气移动了热量并导致圆形的铂金薄膜电阻率分布发生变化，利用热分布变化引起铂金薄膜电阻率分布变化的原理测量风速和风向。
文档编号G01P13/02GK201867423SQ20102055474
公开日2011年6月15日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者李伟华 申请人:东南大学