专利名称：Fpd用基板缺陷检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及FPD用基板缺陷检测装置，尤其涉及检测FPD用基板表面上有无缺陷的大型检测装置。
背景技术：
随着电信技术的发展与多元化信息社会的要求，对电子显示器的需求逐渐提高，所需求的显示器趋向多样化，不断开发崭新的平板显示器(FlatPanel Display以下简称“FPD”)元件。目前，正在开发或生产中的平板显示器有液晶显示器(Liquid Crystal DisplayLCD)、有机场致发光显示器(Organic Electroluminescence DisplayOELD)、等离子体显示板(Plasma Display PanelPDP)以及发光二极管(Light Emitting DisplayLED)等。
要想维持上述FPD稳定的品质，不仅要注重材料与工程的开发，还要做到所使用的玻璃及塑料等基板上没有缺陷。FPD用基板缺陷检测装置分为在基板表面上照射光线，并根据光线的光学变化检测基板表面上的缺陷的大型(Macro)检测装置和扩大检测由大型检测装置检测的缺陷部位的微型(Micro)检测装置。
图1是关于现有FPD用大型检测装置说明的概略图。
图1中的现有FPD用大型检测装置由光源10和为确保光源10发射出来的光线光路而设置的镜子21、22、聚焦通过镜子21、22扩散的光线的菲涅耳透镜(Fresnel Lens)30以及分散或聚焦透过菲涅耳透镜30的光线的液晶板40组成。光源10发射出来的光线透过镜子21、22、菲涅耳透镜30、液晶板40照射至被检体FPD用基板上后再反射光线。由检测员判断有无瑕疵或斑点等缺陷。
图2a是关于光线透过图1所示现有FPD用大型检测装置中的菲涅耳透镜过程的概略图，图2b是利用图1中的FPD用大型检测装置照射光线时的FPD用基板的亮度概略图。
如图2a中的(1)及(2)所示，为了使透过菲涅耳透镜30的光线充分扩散至被检体基板面积上，光源10与菲涅耳透镜30之间的距离应长一些。这就是图1中使用镜子确保光线光路的原因所在。
如图2a中的(2)所示，光线聚焦到一定程度时，FPD用基板的光线照度与检测员位置上的亮度达到最佳状态。考虑到这一点，菲涅耳透镜30应该比基板大。
为了利用菲涅耳透镜弥补不充分的亮度，应注意光源与菲涅耳透镜之间的光路以及菲涅耳透镜的大小。若扩大光源与菲涅耳透镜之间的光路以及菲涅耳透镜的大小时，相关装置也会变大，其制作费用会有所增加。现有检测装置中的FPD比较大，因此不符合目前的趋势。为克服这一点，通过移动光源、镜子、菲涅耳透镜等使光线的照射位置起变化，但其弊端是增加控制部的构筑费用，以及检测时间过于长。
此外，与图2b所示的FPD用基板亮度相比较，图1所示的现有检测装置只能使用单一的光源，因此中间部位相对较亮，边缘部位相对较暗。因此，由于基板的亮度不均匀，无法判断是否有缺陷。

发明内容
本发明的目的是提供即能简单检测大型基板，又能减少体积、降低制作费用以及缩短基板的检测时间的FPD用基板缺陷检测装置。
为了达到上述目的，本发明的一个方面是，FPD用基板缺陷检测装置由光源、聚焦透镜、多角镜组成，其特征如下聚焦透镜一般设置在上述光源放射出来的光线光路上，用于聚焦光线；多角镜按可旋转式设置，用于入射透过上述聚焦透镜的光线，再向被检体FPD用基板位置分散、反射光线。
为了达到上述目的，本发明的另一方面是，FPD用基板缺陷检测装置由光源、导光板、光线传达装置组成，其特征如下导光板用于入射上述光源放射的光线，向被检体FPD用基板位置分散；而光线传达装置用于把上述光源放射的光线传送至上述导光板上。
如上所述，采用本发明中的FPD用基板缺陷检测装置，即可轻松检测大型基板。
另外，与现有技术所不同的是，光路无需太长，可缩小检测装置的大小，无需调整光线的照射位置，不仅能降低控制部的构筑费用等，还能降低装置的制作费用。
无需改变光线的照射位置，从而缩短检测时间的同时提高生产性。


图1至图2b是关于现有FPD用大型检测装置的概略图；图3a至图4是关于本发明实施例中FPD用基板缺陷检测装置的概略图；<附图主要部分的符号说明>
10光源 110聚焦透镜120多角镜130菲涅耳透镜210导光板220光纤束221光导纤维具体实施方式
下述是关于本发明实施例的说明，如附图所示。
图3a及3b是关于本发明实施例1中的FPD用基板缺陷检测装置的概略图，图4是关于本发明实施例2中的FPD用基板缺陷检测装置的概略图。
实施例1如图3a所示，本实施例中的FPD用基板缺陷检测装置由光源10、聚焦透镜(Focusing Lens)110、多角镜(Polygon Mirror)120组成。
光源10采用光卤素灯或金属卤化物灯等。
聚焦透镜110设置在光源10放射的光线光路上，随着光源10放射的光线入射至聚焦透镜110后，聚焦成一条薄薄的平行光透过聚焦透镜110。
多角镜120可旋转，设置在透过聚焦透镜110聚焦的光线光路上。随着透过聚焦透镜110聚焦的光线入射到多角镜120后，通过多角镜分散、反射成面光源形态，再照射至FPD用基板表面上。
多角镜120是由相同大小的镜子构成多面体的光学仪器。随着多角镜的旋转，入射到多角镜内的如同激光般的点光源扩散、反射成线光源，而线光源将会扩散、反射成面光源。如图3a所示，多角镜的每一个镜面都会形成一个面光源。因此，随着多角镜每旋转一次就会形成相当于镜面数量的面光源。人类的眼睛每秒被照射24次以上，就会把光线视做连续光。假设多角镜120为八面体，每秒旋转3次以上，人们就会认为FPD用基板上始终照射着面光源。
光源10放射的光线透过聚焦透镜110和多角镜120，按面光源的形态照射到被检体FPD用基板上后被反射出去，检测员可根据此判断有无瑕疵或斑点等缺陷。
随着利用多角镜120照射出来的面光源检测FPD用基板上有无缺陷，仅通过调节多角镜的镜面数及旋转速度就能扩大光线的照射面积。因此，即使是大型基板也能容易检测，与现有技术所不同的是，光路无需太长，可减少检测装置的大小。另外，无需调节光线的照射位置，从而降低控制部的构筑费用，缩短检测时间。
如图3b所示，在通过多角镜120分散、反射出来的光线光路上设置菲涅耳透镜130，从而使照射至基板上的面光源均匀得集中于一点上，并通过多角镜120分散、反射出来的光线透过菲涅耳透镜130照射到基板表面上。
此外，根据需要在多角镜120的正面或背面设置滤色镜(未图示)，使入射至多角镜内的光线或者把多角镜反射出去的光线转换成单色光。
实施例2如图4所示，本实施例中的FPD用基板缺陷检测装置由光源10、导光板210以及由光纤束220构成的光线传达装置组成。
光纤束220设置为使光源10放射的光线均匀地传到导光板210上。即，把每个光导纤维221的一端按一定间距在导光板210内部排列成”井”字形，而另一端要与上述光源10相对。
光源10放射的光线通过光导纤维221入射、扩散至导光板210上，从而照射到FPD用基板上，检测员可根据此判断有无瑕疵或斑点等缺陷。
光导纤维221各自排列，使通过光导纤维221传达的光线均匀地照射在导光板210整体上，从而获得检测基板缺陷所需的照明度。本发明中的检测装置与现有技术相比，既简单又经济。
另外，为提高发光效率，可在光源10与光纤束220另一端之间另设一个聚焦装置(未图示)。
本发明不受上述实施例的限制，可根据本发明技术史上相关领域中的普通知识进行多种改动。
权利要求
1.一种FPD用基板缺陷检测装置，其特征在于由光源和设置在上述光源放射的光线光路上起聚焦光线作用的聚焦透镜、以及按可旋转式设置，入射透过聚焦透镜(110)的光线并向被检体FPD用基板位置分散、反射光线的多角镜(120)组成。
2.如权利要求1所述的FPD用基板缺陷检测装置，其特征在于在被上述多角镜反射出来的光线光路上多设一个菲涅耳透镜，使上述多角镜扩散、反射的光线均匀地集中于一点上并照射至FPD用基板表面。
3.如权利要求1或权利要求2所述的FPD用基板缺陷检测装置，其特征在于在上述多角镜的正面或背面设置滤色镜，使入射至上述多角镜内的光线或者上述多角镜反射的光线转换成单色光。
4.一种FPD用基板缺陷检测装置，其特征在于由光源、入射上述光源放射的光线并向被检体FPD用基板方向扩散光线的导光板和向上述导光板传达上述光源放射出来的光线的光线传达装置组成。
5.如权利要求4所述的FPD用基板缺陷检测装置，其特征在于设置一个光纤束把上述光导纤维(221)的一端按一定间距在导光板(210)内部排成“井”字形，而另一端与上述光源(10)相对。
全文摘要
本发明涉及FPD用基板的缺陷检测装置，其特征是包括光源、聚焦光源发射的光线的聚焦透镜和扩散、反射透过聚焦透镜入射进来的光线的多角镜；或者包括光源、扩散光源放射的光线的导光板以及把光源放射出来的光线传达给导光板的光线传达装置。本发明不仅能轻松检测大型基板，由于光路短缩小了检测装置的大小，以及因无法改变光线的检测位置，可减少控制部的构筑费用等，从而降低装置的制作费用，缩短检测时间的同时提高生产性。
文档编号G01R31/00GK1624459SQ0315694
公开日2005年6月8日 申请日期2003年9月15日 优先权日2002年9月17日
发明者洪志重, 裴健友 申请人:爱德牌工程有限公司