专利名称：一种用于x荧光光谱仪的蜂巢形支撑网板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及检测设备领域，具体涉及X荧光光谱分析仪，特别是涉及波长色散X荧光光谱分析仪的真空系统中的支撑结构。
背景技术：
现有波长色散X荧光光谱仪由多个系统组成，其中光路系统和真空系统相互重叠，光路系统需要将元素所发出的荧光传递到探测器，真空系统要尽量将所有的光路包含在真空范围内以尽量减少衰减，而探测器安装在真空系统外的大气中，为了将探测器和真空部分分离开，在探测器和真空系统之间加能让荧光通过并能保持真空系统真空的装置， 通常所用的装置是在进入探测器的准直器上加一层聚酯薄膜(厚度在lym-100 μ m)以隔离真空和大气，由于真空和大气之间存在很大的压差，单一层薄膜不能够支撑强大的压力差，所以需要再给薄膜起支撑作用的‘骨架’；传统的‘骨架’是采用准直器钼片(或其他薄片)形成的栅格，由于聚酯薄膜很单薄，钼片边沿也很锋利，薄膜很容易就被‘刺’破，而现行工艺很难处理这种矛盾，从而无法保证仪器长期使用的可靠性。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种用于支撑聚酯薄膜的寿命长、便于安装、工艺简单、 大批量生产可降低成本的用于X荧光光谱仪的蜂巢形支撑网板。为实现上述目的，本实用新型用于X荧光光谱仪的蜂巢形支撑网板包括基板与开设在基板中间的网孔，所述网孔由连为一体的骨架和分布在骨架之间的多个通孔形成蜂巢形。所述基板采用不锈钢(或其它材质)的薄片(厚度0. 08-0. 20mm)，其中网孔用电化学或激光切割成蜂巢形，具有良好的透过率(75% -95% )并能起到良好的支撑作用。本实用新型的特点是有效的防止聚酯薄膜破损漏气而导致仪器无法正常运行的情形出现。在使用过程中可提高生产效率、节约维修成本、提高产品的可靠性。

图1为本实用新型支撑网板结构图。图2为本实用新型中网孔结构放大图。图3为本实用新型支撑网板使用时的安装图。
具体实施方式
参见图1所示，本实用新型所提供的支撑网板包括一基板3以及开设在基板中间位置的网孔2，基板3周边设多个安装孔1用于与光谱仪的其它部件相连接。其中，网孔2是采用蜂巢形的特殊结构设计，参见图2所示，其由连为一体的骨架22和分布在骨架22之间的多个通孔21组成，骨架22和通孔21形成蜂巢形状。支撑网板的基板3采用厚度0. 08-0. 20mm的金属薄片(不锈钢或铜、钛、钼等金属材料)，其中在网孔位置用电化学或激光切割通孔21成蜂巢形，切割中无毛刺，其中网孔2的通孔21占网孔区域面积的 75% -95%,具有良好的透过率，余部为骨架22，具有良好的支撑作用。 本实用新型所提供的支撑网板使用方法，将聚酯薄膜附在网板基板3—侧表面， 可采用粘接或是其它工艺将聚酯薄膜和基板3固定，确保聚酯薄膜的完好不漏气；然后将装有薄膜的支撑网板32放置在二次准直器33和探测器连接板31之间，聚酯薄膜一侧朝向探测器连接板32，然后用螺钉34在安装孔1的位置固定(参见图幻。在抽真空的时候，本实用新型支撑网板与二次准直器的金属片接触，避免了聚酯薄膜与准直器的金属薄片直接接触而得到保护，即便在长时间的使用过程中也不易磨损。
权利要求1.一种用于X荧光光谱仪的蜂巢形支撑网板，包括基板与开设在基板中间的网孔，其特征在于所述网孔由连为一体的骨架和分布在骨架之间的多个通孔组成，且骨架与通孔形成蜂巢形。
2.根据权利要求1所述X荧光光谱仪的蜂巢形支撑网板，其特征在于所述网孔由厚度为0. 08-0. 20mm的金属薄片经电化学或激光切割而成。
3.根据权利要求1或2所述X荧光光谱仪的蜂巢形支撑网板，其特征在于所述通孔占整个网孔区域面积的75% -95%。
专利摘要本实用新型公开了一种用于X荧光光谱仪的蜂巢形支撑网板，包括基板与开设在基板中间的网孔，网孔由连为一体的蜂巢形骨架和分布在骨架之间的多个通孔组成，该蜂巢形网孔由厚度为0.08-0.20mm的金属薄片经电化学或激光切割而成。本实用新型采用蜂巢形的特殊结构设计，从而可提高生产效率，节约维修成本，提高产品的可靠性，降低制造工艺的复杂程度，大幅度减低制造成本。
文档编号G01N23/223GK202024971SQ20112009781
公开日2011年11月2日 申请日期2011年4月6日 优先权日2011年4月6日
发明者余正东, 高华 申请人:北京邦鑫伟业技术开发有限公司