专利名称：可增强图像解析度方法的检测设备的制作方法
技术领域：
可增强图像解析度方法的检测设备
技术领域：
本实用新型涉及一种检测设备，具体涉及一种用于电子制造业、STM行业、太阳能、 半导体以及半导体封装行业检测的可增强图像解析度方法的检测设备。
背景技术：
现有市场出现有各种各样的用于封装技术检测的检测设备，其大部分检测设备可 以分为两种类型。其一种是由6寸增强器构成的检测设备，该检测设备的6寸增强器的体 积比较大，解析度相对低以及图像放大的倍数低。另一种是由二四寸的增强器构成的检测 设备，检测时，因该检测设备的检测视场太小而不容易控制，使得在图像解析度和放大倍率 之间很难找到一个相对的平衡位置，导致了解析的图像不清晰及视场范围小。

实用新型内容本实用新型的技术目的是为了解决上述现有技术存在的问题而提供一种可提高 图像的解析度、增大图像的放大倍率以及可保证了在足够清晰的前提下，有最大的视场范围的可增强图像解析度方法的检测设备。为了实现上述技术问题，本实用新型所提供一种可增强图像解析度方法的检测设 备，其包括增强器总成、安装于增强器总成上的可以上下垂直运动的移动运动机构、安装于 移动运动机构上的增强器、安装于移动运动机构上的光管以及安装于增强器总成上部的运 动平台，所述的运动平台至光管的距离远远小于运动平台至增强器之间的距离。依据上述主要技术特征，所述的光管内部设置有可发射扇型形状光线的X光射线
直ο本实用新型的有益技术效果因所述的运动平台至光管的距离远远小于运动平台 至增强器之间的距离，因光管发射的X射线为扇形，使得运动平台与光管的距离越小，使穿 过被检测物体的X射线的通量越大，保证了足够的解析度，而增强器与运动平台的距离较 大，可以提升增大图像放大倍率，从而达到可提高图像的解析度、增大图像的放大倍率以及 可保证了在足够清晰，同时可以保证了在足够清晰的前提下，有最大的视场范围。
以下结合附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
图1是本实用新型增强图像解析度方法的检测设备的之一示意图；图2是本实用新型增强图像解析度方法的检测设备的之二示意图。
具体实施方式
请参考图1及图2所示，
以下结合附图具体说明一种可增强图像解析度方法的检 测设备，其包括增强器总成1、安装于增强器总成1上的可以上下垂直运动的移动运动机构 2、安装于移动运动机构2上的增强器3、安装于移动运动机构2上的光管4以及安装于增强 器总成1上部的运动平台5，所述的运动平台5至光管4的距离远远小于运动平台5至增强 器3之间的距离。所述的光管4内部设置有可发射扇型形状光线的X光射线装置。
3[0014]增强器3安装在移动运动机构2的上部，与安装在移动运动机构2上，可进行上下 的垂直向运动。光管4在下部，也安装在光管4的垂直向的移动运动机构2上，可经行上下 垂直向的运动。运动平台5是放置待测物品用的，处于增强器3与光管之间。增强器3的 特点在于其有两个档位，可以调节成四寸，或是两寸视场。运动平台5与光管4的距离远远 小于运动平台5到增强器3的距离。由于光管4发射的X射线为扇形，所以运动平台5与 光管4的距离越小，穿过被检测物体的X射线的通量越大，保证了足够的解析度，而增强器 与运动平台的距离较大，可以提升放大倍率。但如果过大，则会影响到解析度。综上所述，因所述的运动平台5至光管4的距离远远小于运动平台5至增强器3 之间的距离，因光管4发射的X射线为扇形，使得运动平台5与光管4的距离越小，使穿过 被检测物体的X射线的通量越大，保证了足够的解析度，而增强器3与运动平台5的距离较 大，可以提升增大图像放大倍率，从而达到可提高图像的解析度、增大图像的放大倍率以及 可保证了在足够清晰，同时可以保证了在足够清晰的前提下，有最大的视场范围。
权利要求一种可增强图像解析度方法的检测设备，其包括增强器总成、安装于增强器总成上的可以上下垂直运动的移动运动机构、安装于移动运动机构上的增强器、安装于移动运动机构上的光管以及安装于增强器总成上部的运动平台，其特征在于所述的运动平台至光管的距离远远小于运动平台至增强器之间的距离。
2.根据权利要求1所述的可增强图像解析度方法的检测设备，其特征在于所述的光 管内部设置有可发射扇型形状光线的X光射线装置。
专利摘要本实用新型涉及一种可增强图像解析度方法的检测设备，其包括增强器总成、安装于增强器总成上的可以上下垂直运动的移动运动机构、安装于移动运动机构上的增强器、安装于移动运动机构上的光管以及安装于增强器总成上部的运动平台，因所述的运动平台至光管的距离远远小于运动平台至增强器之间的距离，因光管发射的X射线为扇形，使得运动平台与光管的距离越小，使穿过被检测物体的X射线的通量越大，保证了足够的解析度，而增强器与运动平台的距离较大，可以提升增大图像放大倍率，从而达到可提高图像的解析度、增大图像的放大倍率以及可保证了在足够清晰，同时可以保证了在足够清晰的前提下，有最大的视场范围。
文档编号G01N23/04GK201681055SQ20092026179
公开日2010年12月22日 申请日期2009年12月24日 优先权日2009年12月24日
发明者刘骏, 李莲, 程学志 申请人:无锡日联光电有限公司