专利名称：用于电子背散射衍射测量的多功能样品台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及材料研究领域进行电子背散射衍射实验所用的装置，特别是一种 在扫描电镜上用于进行电子背散射衍射(以下简称EBSD)测量的多功能样品台。
背景技术：
目前，在对钢铁材料的电子显微镜分析与研究中，越来越多地运用到了 EBSD技 术。根据电子背散射衍射理论，在扫描电镜中进行EBSD测量时，样品法向必须与入射电子 束成70°的角度，所以就要求扫描电镜样品台须进行高角度倾斜，同时还要保证样品不会 在样品台上产生滑移。这样直接用扫描电镜样品台进行EBSD测量时，样品在样品台上的固 定和样品台的倾转造成了 EBSD测量前期准备的极大不便。同时如果样品固定不牢固，还会 造成测量时图像的漂移，从而影响测量的精确性。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种结构简单、使用方便、测量精度较高的用于EBSD测 量的多功能样品台。本实用新型的目的由以下技术方案来实现该样品台由倾斜样品台面、支撑柱和调节固定螺丝三部分组成。倾斜样品台面 与水平线夹角为70° (等同于扫描电镜样品台倾斜了 70°，即与支撑柱之间的夹角为 20° )。倾斜样品台面两侧设置有固定样品的夹具。支撑柱的下部插在放置扫描电镜台面 的通孔中，通孔侧壁开有螺孔，孔内设有调节固定螺丝。支撑柱的上端与倾斜样品台面相 接。上述固定样品的夹具与被测样品的形状和尺寸相适配。实用新型的有益效果本实用新型的结构简单，使用方便，它使EBSD观察时样品的放置更加牢固，操作 方便安全，从而使测量更加精确。

图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细描述，但该实施例不应理解 为对本实用新型的限制。参阅图1，该样品台由倾斜样品台面1、支撑柱2和调节固定螺丝3三部分组成。倾 斜样品台面1与水平线夹角为70°，等同于扫描电镜样品台面5倾斜了 70° (即与支撑柱 2之间的夹角为20° )。倾斜样品台面1两侧设置有固定样品6的夹具4，固定样品的夹具 4可以上下活动和替换，以利于固定不同形状(如方形和圆形)和尺寸的样品6。支撑柱2的下部插在放置扫描电镜台面5的通孔中，通孔侧壁开有螺孔，孔内设有调节固定螺丝3， 样品台的高度可以通过调节固定螺丝3来调节和固定。支撑柱2的上端与倾斜样品台面1 相接。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也应该包含这些改动和变型在内。本说明书中若有未作详细描述的内容，应为本领域的专业技术人员公知或应知的 技术，此处不再赘述。
权利要求一种用于电子背散射衍射测量的多功能样品台，其特征在于它由倾斜样品台面、支撑柱和调节固定螺丝三部分组成；倾斜样品台面与水平线夹角为70°；倾斜样品台两侧设置有固定样品的夹具；支撑柱的下部插在放置扫描电镜台面的通孔中，通孔侧壁开有螺孔，孔内设有调节固定螺丝；支撑柱的上端与倾斜样品台面相接。
2.如权利要求1所述的一种用于电子背散射衍射测量的多功能样品台，其特征在于 上述固定样品的夹具与被测样品的形状和尺寸相适配。
专利摘要本实用新型公开了一种在扫描电镜上用于进行电子背散射衍射(EBSD)测量的多功能样品台。它由倾斜样品台面、支撑柱和调节固定螺丝三部分组成；倾斜样品台面与水平线夹角为70°；倾斜样品台两侧设置有固定样品的夹具；支撑柱的下部插在放置扫描电镜台面的通孔中，通孔侧壁开有螺孔，孔内设有调节固定螺丝；支撑柱的上端与倾斜样品台面相接。本实用新型结构简单，使用方便，它使EBSD观察时样品的放置更加牢固，操作更加方便和安全，从而使测量更加精确。
文档编号G01N23/203GK201697885SQ201020239978
公开日2011年1月5日 申请日期2010年6月13日 优先权日2010年6月13日
发明者吴立新, 孙宜强, 张彦文, 王志奋, 陈士华, 陈方玉, 韩荣东 申请人:武汉钢铁(集团)公司