专利名称：空气样品收集器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种空气样品收集器。
背景技术：
在半导体生产领域内，经常需要对空气成分进行检测。通常分析取样空气的成分及各个成分的含量来判断空气状况是否符合工艺制程的要求，从而确保工艺制程的精确控制。现有的的空气样品收集器以及分析方法只能分析取样空气中的N03_、F_、CL_、 HN4离子等等，但不能分析其中是否具有金属离子。即目前还没有一种可以收集取
样空气中的金属离子的办法，以至于还没有一种行之有效的可以检测空气中是否含有金属离子的装置和方法。因此，如何提供一种用于检测空气中是否含有金属离子的空气样品收集器是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种空气样品收集器，可以将空气样品和酸性溶液混合，以便于检测测空气样品中是否含有金属离子。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案—种空气样品收集器，包括用于容纳超纯水的容器、输送管、抽吸管、液压泵、双向开关和电源，所述容器通过容器盖密封，所述抽吸管伸至所述容器内上部，所述输送管伸入所述容器内底部，所述抽吸管上还设有液压泵，所述液压泵与双向开关和电源构成回路。进一步，所述液压泵为齿轮泵，所述齿轮泵包括马达、泵齿轮和泵缸，所述泵齿轮设于所述泵缸内且与所述泵缸啮合，所述马达的输出轴与所述泵齿轮固定连接并带动所述泵齿轮转动。进一步，所述输送管的位于容器内的管段上设有搅拌轮。进一步，所述输送管的上部还固设有从动齿轮，所述马达的输出轴上还固设有主动齿轮，所述主动齿轮和所述从动齿轮相啮合。进一步，所述液压泵和从动齿轮位于容器盖内部。进一步，所述电源是直流电池。进一步，所述空气样品收集器还包括一个取样瓶，所述输送管的另一端伸入所述取样瓶内底部。进一步，所述输送管位于所述容器盖的上方的管段设有转接头。本实用新型的有益效果如下本实用新型结构简单，使用方便，可以将取样空气和酸性溶液在容器内部充分混合，使得取样空气中的金属离子和酸性溶液反应，从而被酸性溶液吸收。通过检测该酸性溶液中的金属离子的种类和含量来简介判别该取样空气中的金属离子的种类和含量。
本实用新型的空气样品收集器由以下的实施例及附图给出。图1为本实用新型的结构示意图(使用时进行第一步的示意图)。图2为本实用新型使用时进行第二步的结构示意图。图3为本实用新型使用时进行第三步的结构示意图。图中，1-容器、2-输送管、21-转接头、3-抽吸管、4-齿轮泵、41-马达、42-泵齿轮、 43-泵缸、5-双向开关、6-电源、7-主动齿轮、8-从动齿轮、9-搅拌轮、10-容器盖、11-取样瓶。
具体实施方式
以下将对本实用新型的空气样品收集器作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图1-图3，图1为本实用新型的结构示意图(使用时进行第一步的示意图)。图2为本实用新型使用时进行第二步的结构示意图。图3为本实用新型使用时进行第三步的结构示意图。这种空气样品收集器，包括用于容纳超纯水的容器1、输送管2、抽吸管3、液压泵 4、双向开关5和电源6，所述容器1通过容器盖10密封，所述抽吸管3伸至所述容器1内上部，所述输送管2伸入所述容器1内底部，所述抽吸管3上还设有液压泵4，所述液压泵4 与双向开关5和电源6构成回路。所述电源是直流电池。所述双向开关5具有两种工作状态，分别对应马达41的正转和反转。所述液压泵为齿轮泵4，所述齿轮泵4包括马达41、泵齿轮42和泵缸43，所述泵齿轮42设于所述泵缸43内且与所述泵缸43啮合，所述马达41的输出轴与所述泵齿轮42固定连接并带动所述泵齿轮42转动。所述液压泵4位于容器盖10内部。齿轮泵4是依靠泵缸与泵齿轮间所形成的工作容积变化和移动来输送液体或使之增压的回转泵。齿轮泵的工作原理一对相互啮合的齿轮和泵缸把吸入腔和排出腔隔开。齿轮转动时，吸入腔侧轮齿相互脱开处的齿间容积逐渐增大，压力降低，液体在压差作用下进入齿间。随着齿轮的转动， 一个个齿间的液体被带至排出腔。这时排出腔侧轮齿啮合处的齿间容积逐渐缩小，而将液体排出。齿轮泵4结构简单紧凑，制造容易，维护方便，有自吸能力，但流量、压力脉动较大且噪声大。所述输送管2的上部还固设有从动齿轮8，所述马达41的输出轴上还固设有主动齿轮7，所述主动齿轮7和所述从动齿轮8相啮合。所述输送管2的位于容器1内的管段上设有搅拌轮9。所述搅拌轮9转动时可以带动容器内的物质转动，使得容器内的物质包括取样空气、超纯水和酸性溶液充分混合反应。所述从动齿轮8位于容器盖10内部。搅拌轮9 通过马达41带动，取代了人力搅拌，自动化程度高。所述空气样品收集器还包括一个取样瓶11，所述输送管2的另一端伸入所述取样瓶11内底部。所述取样品内用于放置酸性溶液，所述酸性溶液可以是盐酸和硝酸的混合溶液，所述盐酸和硝酸的质量比可以选用1 3。这种混合比的浓度的酸性溶液更加容易吸收
金属1 子。本实施例中，所述输送管2位于所述容器盖10的上方的管段中设有转接头21，使得转接头21两边的输送管管道可以相对转动。本实用新型空气样品收集器的使用方法如下预先，在容器1内通过输送管2输入一部分超纯水。第一步，请参阅图1，将输送管2接通取样空气源，然后，通过双向开关5使得液压泵4的马达41顺时针转动(即正转)，使得抽吸管3不段从容器1向外排气，容器1内的气压越来越小，使得输送管2将一部分取样空气吸入容器1内部。第二步，请参阅图2，将输送管2的一端输入含有酸性溶液的取样瓶11中，然后，通过双向开关5继续使得液压泵4的马达41顺时针转动(即正转)，使得抽吸管3不段从容器1向外排气，容器1内的气压越来越小，使得输送管2将取样瓶11中的酸性溶液吸入容器1内部。同时，液压泵4的马达41 通过主动轮带动输送管2上的主动轮转动，进而带动输送管2上的搅拌轮9转动，使得酸性溶液和取样空气充分混合反应。第三步，请参阅图3，通过双向开关5使得液压泵4的马达41逆时针转动(即反转)，使得抽吸管3不段向容器1内充气，容器1内的气压越来越大，使得输送管2将容器1 内的酸性溶液送回到取样瓶11中。最后，通过对酸性溶液进行检测，可以很容易获知酸性溶液中是否含有金属离子以及所含金属离子的种类和含量，进而可以获知所检测的空气样品中是否含有金属离子以及所含金属离子的种类和含量。本实用新型结构简单，使用方便，可以将取样空气和酸性溶液在容器内部充分混合，使得取样空气中的金属离子和酸性溶液反应，从而被酸性溶液吸收。通过检测该酸性溶液中的金属离子的种类和含量来简介判别该取样空气中的金属离子的种类和含量。
权利要求1.一种空气样品收集器，其特征在于，包括用于容纳超纯水的容器、输送管、抽吸管、液压泵、双向开关和电源，所述容器通过容器盖密封，所述抽吸管伸至所述容器内上部，所述输送管伸入所述容器内底部，所述抽吸管上还设有液压泵，所述液压泵与双向开关和电源构成回路。
2.根据权利要求1所述空气样品收集器，其特征在于所述液压泵为齿轮泵，所述齿轮泵包括马达、泵齿轮和泵缸，所述泵齿轮设于所述泵缸内且与所述泵缸啮合，所述马达的输出轴与所述泵齿轮固定连接并带动所述泵齿轮转动。
3.根据权利要求1所述空气样品收集器，其特征在于所述输送管的位于容器内的管段上设有搅拌轮。
4.根据权利要求3所述空气样品收集器，其特征在于所述输送管的上部还固设有从动齿轮，所述马达的输出轴上还固设有主动齿轮，所述主动齿轮和所述从动齿轮相啮合。
5.根据权利要求4所述空气样品收集器，其特征在于所述液压泵和从动齿轮位于容器盖内部。
6.根据权利要求1所述空气样品收集器，其特征在于所述电源是直流电池。
7.根据权利要求1所述空气样品收集器，其特征在于所述空气样品收集器还包括一个取样瓶，所述输送管的另一端伸入所述取样瓶内底部。
8.根据权利要求1所述空气样品收集器，其特征在于所述输送管位于所述容器盖的上方的管段设有转接头。
专利摘要本实用新型涉及一种空气样品收集器。这种空气样品收集器，包括用于容纳超纯水的容器、输送管、抽吸管、液压泵、双向开关和电源，所述容器通过容器盖密封，所述抽吸管伸至所述容器内上部，所述输送管伸入所述容器内底部，所述抽吸管上还设有液压泵，所述液压泵与双向开关和电源构成回路。本实用新型结构简单，使用方便，可以将取样空气和酸性溶液在容器内部充分混合，使得取样空气中的金属离子和酸性溶液反应，从而被酸性溶液吸收。通过检测该酸性溶液中的金属离子的种类和含量来简介判别该取样空气中的金属离子的种类和含量。
文档编号G01N1/38GK201965044SQ20102068318
公开日2011年9月7日 申请日期2010年12月27日 优先权日2010年12月27日
发明者吴良辉, 胡婷芳 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 武汉新芯集成电路制造有限公司