专利名称：一种自动测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体检测装置，特别涉及一种自动测量装置。
背景技术：
目前，随着半导体生产制造工业迅速发展，对制程中良率的提升也相应提高， 而在制程中首要的是确保晶圆质量，否则具有缺陷的晶圆到后续制程中会出现问题，严 重时造成晶圆报废，生产浪费。目前半导体行业所使用的目检机台对于被测物件宏观缺陷的检验并不能量化管 控，对于宏观缺陷的检测不能进行量测，存在不便。如果需要量测必须手动将被测物件 拿出再使用量测工具来完成，量测工具与被测物件接触容易污染或刮伤被测物件并存在 引进新缺陷和破片的风险，且手动量测使用直尺等比较原始的量测工具势必造成工程数 据可靠性不高，操作过程繁杂、高风险等问题，容易造成缺陷产生的原因和相关机台的 错误判断。

实用新型内容本实用新型是为解决现有量测装置对宏观缺陷量测存在不便，以及容易污染和 刮伤被测物件而引进新缺陷和破片的风险，其目的在于提供一种自动量测装置，来解决 手动操作过程中的繁杂、高风险、低效能等缺陷。本实用新型涉及一种自动量测装置包括第一液晶显示器、光源、光源控制开 关、第二液晶显示器、连接线、载物台；该光源位于该第一液晶显示器内部，该光源控 制开关位于该第一液晶显示器上，第一液晶显示器与第二液晶显示器平行，并且该第一 液晶显示器与该第二液晶显示器之间用连接线连接，该载物台的载物面垂直于水平面并 且与第二液晶显示器平行。优选地，该光源发出的光是激光，该光源位于该第一液晶显示器内部的中心。优选地，该连接线安放在连接杆内部，连接杆的材料是塑料，并且通过聚乙烯 材料固定在第一液晶显示器与第二液晶显示器之间。优选地，该第一液晶显示器包括用户界面。根据该自动量测装置，通过激光在第二液晶显示器中自动感应获取缺陷外形， 并把数据信息通过连接线的传输显示在第一液晶显示器的用户界面上，通过自动量测和 读取，能解决手动操作过程中的繁杂、高风险、低效能等缺陷。

图1为自动量测装置的结构示意图。
具体实施方式
下面参照附图，对本实用新型的具体实施方式
作进一步的详细描述。在整个描述中，相同的附图标记表示相同的部件。本实用新型提供的自动量测装置，通过激光感应自动获取缺陷外形，并自动显 示在液晶显示器的用户界面上，能解决手动操作过程中的繁杂、高风险、低效能等缺 陷。图1为自动量测装置的结构示意图。参照图1，自动量测装置100包括第一 液晶显示器101、光源102、光源控制开关103、连接线(图中未画出)、第二液晶显示器 105、载物台106;光源102位于第一液晶显示器101内部，光源控制开关103位于第一 液晶显示器101上，第一液晶显示器101与第二液晶显示器105平行，并且第一液晶显示 器101与第二液晶显示器105之间用连接线(图中未画出)连接，载物台106的载物面垂 直于水平面并且与第二液晶显示器105平行。光源102位于第一液晶显示器101的内部中心位置，光源控制开关103位于第一 液晶显示器101上，在量测过程中控制光源102的开启和关闭；被测物件107置于载物台 106的载物面上，被测物件107垂直于水平面并且与第二液晶显示器105平行，第一液晶 显示器101更包括一用户界面，该用户界面为第一液晶显示器101显示界面的一部分，用 于显示测量数据的结果。连接线(图中未画出)安放在连接杆104内部，连接杆104的材料是塑料，并且 通过聚乙烯材料固定在第一液晶显示器101与第二液晶显示器105之间。本领域的普通技 术人员应该理解，连接杆104的材料不仅仅局限为塑料，还可以是玻璃等其他材料。在 自动量测装置100中，光源102发出的光是激光，而激光的方向性好，使测量值的精确度 高并能有效地减小误差。被测物体107是存在外界窗口的半导体。采用自动量测装置100能够自动从第一液晶显示器101的用户界面中获取测量结 果，代替目前量测的手动操作，避免了手动操作过程中容易污染和刮伤被测物件107而 引进新缺陷和破片的风险。解决了手动操作繁杂、高风险、低效能等缺陷利用自动量测装置100测量宏观缺陷时，将被测物件107置于载物台106的载物 面上，被测物件107垂直于水平面并与第一液晶显示器101或第二液晶显示器105平行， 被测物件107垂直于水平面由载物台106自动完成。打开光源控制开关103，使光源102 从第一液晶显示器101的中心发出激光；光线透过第一液晶显示器101和第二液晶显示器 105，使观察者能够透过第一液晶显示器101和第二液晶显示器105目测被测物件107上 的缺陷，调整激光发射所张的角度使光线透过第二液晶显示器105投射在被测物件107的 缺陷上，对被测物件107的缺陷进行测量；第二液晶显示器105通过光线感应测量被测物 件107的缺陷长度并在第二液晶显示器105界面上绘制被测物件107缺陷的外型；被测物 件107缺陷的测量数据信息通过连接杆104内的连接线(图中未画出)传输到第一液晶显 示器101并且在第一液晶显示器101的用户界面中自动显示；通过测量数据获得被测物件 107的缺陷值。本领域的普通技术人员应该理解，第二液晶显示器105通过光线感应不仅仅局 限在测量被测物件107的缺陷长度，通过自动量测装置100还可以测量被测物件107缺陷 的区域面积或者被测物件107缺陷离中心点的位置等。在本实施例中，测量被测物件107缺陷上A点至B点的距离，光源102从第一液 晶显示器101的中心发出激光，光线透过第一液晶显示器101和第二液晶显示器105，使观察者能够透过第一液晶显示器101和第二液晶显示器105目测被测物件107上的缺陷， 调整激光发射所张的角度使光线透过第二液晶显示器105上的C点和D点投射在被测物 件107的A点和B点上，对被测物件107的缺陷，即A点和B点之间的距离进行测量。 第二液晶显示器105通过光线感应测量被测物件107上A点和B点之间的距离，即被测 物件107的缺陷长度并在第二液晶显示器105界面上绘制被测物件107缺陷的外型；被测 物件107上A点和B点之间的距离作为测量数据信息通过连接杆104内的连接线(图中 未画出)传输到第一液晶显示器101并且在第一液晶显示器101的用户界面中自动显示； 通过测量数据获得被测物件107上A点和B点之间的距离，即被测物件107的缺陷值。 该被测物件107的缺陷值为第一液晶显示器101到被测物件107的距离与第一液晶显示器 101到第二液晶显示器105的距离的比值乘以第二液晶显示器105上C点到D点的距离。通过激光在第二液晶显示器105中自动感应获取缺陷外形，并把数据信息通过 连接线(图中未画出)的传输显示在第一液晶显示器101的用户界面上，能解决手动操作 过程中的繁杂、高风险、低效能等缺陷。上文中，参照附图描述了本实用新型的具体实施方式
。但是，本领域中的普通 技术人员能够理解，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以对本实用新型 的具体实施方式
作各种变更和替换。这些变更和替换都落在本实用新型权利要求书所限 定的范围内。
权利要求1. 一种自动量测装置，包括载物台，其特征在于，所述自动量测装置还包括第一 液晶显示器、光源、光源控制开关、第二液晶显示器、连接线；所述光源位于所述第一 液晶显示器内部，所述光源控制开关位于所述第一液晶显示器上，所述第一液晶显示器 与所述第二液晶显示器平行，并且所述第一液晶显示器与所述第二液晶显示器之间用所 述连接线连接，所述载物台的载物面垂直于水平面并且与所述第二液晶显示器平行。
2.根据权利要求1所述的自动量测装置，其特征在于，所述光源发出的光是激光。
3.根据权利要求1所述的自动量测装置，其特征在于，所述光源位于所述第一液晶显 示器内部的中心。
4.根据权利要求1所述的自动量测装置，其特征在于，所述连接线安放在连接杆内部。
5.根据权利要求4所述的自动量测装置，其特征在于，所述连接杆的材料是塑料，并 且通过聚乙烯材料固定在所述第一液晶显示器与所述第二液晶显示器之间。
专利摘要本实用新型提供了一种自动量测装置，包括第一液晶显示器、光源、光源控制开关、第二液晶显示器、连接线、载物台。光源位于第一液晶显示器内部，光源控制开关位于第一液晶显示器上，第一液晶显示器与第二液晶显示器平行，并且第一液晶显示器与第二液晶显示器之间用连接线连接，载物台的载物面垂直于水平面并且与第二液晶显示器平行。该自动量测装置通过激光感应自动获取缺陷外形，并自动显示在液晶显示器的用户界面上，能解决手动操作过程中的繁杂、高风险、低效能等缺陷。
文档编号G01B11/28GK201795991SQ20102024646
公开日2011年4月13日 申请日期2010年6月30日 优先权日2010年6月30日
发明者黄臣 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司