专利名称：一种增加单位测试模块的可测器件Kelvin测试回路的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体技术领域，尤其涉及一种半导体前道工艺的电性测试的一个测试模型，进一步是提供一种增加单位测试模块的可测器件Kelvin测试回路。
背景技术：
Kelvin测试方法电阻测试中具有高精度的电性测试方法，它可以非常精准地测出各种阻值，并且极少受到导线电阻的影响。然而，由于一个Kelvin测试器件需要使用4个测试PAD，而测试PAD的数量有限，并且为了配合探针卡(Probe Card), PAD的面积需要设计得非常大，因此在一个Test Block的面积内能容纳的测试用器件相当有限。现在一般采用的Kelvin测试回路，即便采用共用某些PAD，所能搭载的器件依然很难增加。一般22PAD的测试模块中，能搭载最多10个Kelvin测试器件。

发明内容
本发明针对现有技术中存在的问题，提供一种增加单位测试模块的可测器件Kelvin测试回路。在不改变测试单元(PAD)的数量和面积的前提下，利用CMOS的开关效应，通过对单元(PAD)的切换利用，增加单位测试模块所能测试的器件数量。为了实现上述目的，本发明提供一种增加单位测试模块的可测器件Kelvin测试回路，包括若干个单位测试模块、若干个压力单元、若干个栅极控制单元、高感单元、低感单元和接地单元，在每一个所述单位测试模块的四个端分别通过串联一 CMOS器件连通至压力单元、高感单元、低感单元和接地单元；所述若干个单位测试模块共用同一个高感单元、低感单元和接地单元，所述CMOS器件的漏极端和栅极控制单元连通。在本发明提供的一优选实施例中，其中所述CMOS器件为NM0S。在本发明提供的一优选实施例中，每一个所述单位测试模块的电阻值计算方法如下

权利要求
1.一种增加单位测试模块的可测器件Kelvin测试回路，包括若干个单位测试模块、若干个压力单元、若干个栅极控制单元、高感单元、低感单元和接地单元，其特征在于，在每一个所述单位测试模块的四个端分别通过串联一 CMOS器件连通至压力单元、高感单元、低感单元和接地单元；所述若干个单位测试模块共用同一个高感单元、低感单元和接地单元，所述CMOS器件的漏极端和栅极控制单元连通。
2.根据权利要求I所述的测试回路，其特征在于，所述CMOS器件为NM0S。
3.根据权利要求I所述的测试回路，其特征在于，每一个所述单位测试模块的电阻值计算方法如下
全文摘要
本发明提供一种增加单位测试模块的可测器件Kelvin测试回路，包括若干个单位测试模块、若干个压力单元、若干个栅极控制单元、高感单元、低感单元和接地单元，其特征在于，在每一个所述单位测试模块的四个端分别通过串联一CMOS器件连通至压力单元、高感单元、低感单元和接地单元；所述若干个单位测试模块共用同一个高感单元、低感单元和接地单元，所述CMOS器件的漏极端和栅极控制单元连通。本发明提供的可测器件Kelvin测试回路的结构简单，方便layout的布线，便于实现。提高测试面积的使用率，无论对量产产品的WAT测试，还是对研发的试作芯片的开发设计，都具有相当实用的价值。
文档编号G01R27/08GK102769008SQ20121022867
公开日2012年11月7日 申请日期2012年7月3日 优先权日2012年7月3日
发明者周羽宇 申请人:上海华力微电子有限公司